Установка для откачки галогеносодержащих агрессивных газов и паров Советский патент 1982 года по МПК F04B37/02 

(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЛОГЕНСШЕРЖАШИХ АГРЕССИВНЫХ ГАЗОВ И ПАРСе

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для от- качки агрессивных газов и паров.

Известна откачка установка, содер- №1шая механический вакуумный насос, вход которого подключен к реципиенту через фильтрующее устройство, выполненное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбционных ловушек, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой, с приводами fl .

Недостатком известной установки являются невысокая экономичность и возможность загрязнения окружающей среды галогенердержащими газами и парами при насыщении ловушек,

Цель изобретения - повышение эконо- М1Р1НОСТИ и исключение загрязнения окружающей среды.

Указанная цепь достигается тем, что на входе насоса установлен индикатор галогенов, связанный с приводами запорной

apNiaTy n i, при этом индикатор выполнен в виде платинового диода.

На фиг. 1 представлена схема установки ; на фиг. 2 - блок-схема управления приводами запорной арматуры.

Установка для откачки галогенсодержацщх агрессивных газов и паров содержит механический вакуумный насос 1, вход которого подключен к реципиенту через

Q фильтрующее устройство 2, выполненное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбционных ловушек З.н 4, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой 5 - Е2.

)5 с приводами, расположенной на трубопроводах фильтрующего устройства 2, причем на входе насоса 1 установлен индикатор 13 галогенов, связанный с приводами запорной арматуг. В случае использования

20 в качестве индикатора галогенов платинового диода 14 связь осуществляется электpifHecKH согласно блок- :хеме, включающей блок 15 питания системы автоматики. двухпозишонное распределительное устройство 16 (например, триггер), усилитель- Ьормирователь 17 сигнала платиноБо го диода и приводь 18 и 19 fe арматуры. Установка работает следующим образом. В начальный момент распределительно устройство находится в одном из двух возможных положений. При &гом запорная арматура 5, 6, Ю и 12 открыта, 7, 8, 9 и 11 закрыта. Откачка газов механическим насосом 1 осуществляется через ловушку 3. Ловушка 4 проходит регенерацию, например, нагревом при помощи продувки горением воздухом. При насыщении адсорбента в ловушке 3 галоген- содержащие газы попадают на вход насоса 1. Индикатор 13 галогенов (в част ности, платиновый диод 14) реагирует на содержание галогенов путем изменения своих характеристик (ток диода 14 резко возрастает). Это изменение через усилитель-формирователь 17 вызывает переход распределительного устройства 16 во второе устойчивое состояние, что приводит к закрытию вентилей 5, 6, 1О, 12 и открытию - 7, 8, 9, 11. Далее откачка происходит через ловушку 4. а ловуш96галогене од ержащие газы практически не пбпадают в атмосферу, а установка работает в автоматическом режиме. Формула изобретения 1. Установка йля откачки галогенео- держащих агрессивных газов и паров, содержащая механический вакуумный насос, вход которого подключен к реципиенту через фильтрующее устройство, выполненное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбционных ловушек, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой с приводами, отличающаяся тем, что, с целью повьппения экономичности и исключения загрязнения окружающей среды, на входе насоса установлен индикатор галогенов, связанный с приводами запорной арматуры. 2. Установка по п, 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что индикатор галогенов вьтолнен в виде платинового диода Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Волчкевич А. И. Высоковакуумные дсобционные насосы. М., Машинострое

Фиг 2