Насос для откачки водорода Советский патент 1981 года по МПК F04B37/02 

(54) НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА

Изобретение относится к области вакуумной техники. Известен насос для откачки водорода,содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель Ц. Из-за недостаточной механической прочности мембраны, насос обладает малой надежностью, недостаточным сроком службы. Целью изобретения является повышение надежности. Указанная цель достигается тем, что на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма выполненная из пористого металла. На чертеже схематично изображен описываемый насос. Насос для откачки водорода содеркит корпус 1, закрепленную в нем палладиегую мембрану 2 и нагревател 3, На мембране 2 со стороны откачив емого объема закреплена диафрагма 4 выполненная из пористого метгшла. Насоо работает следуквдим образом После подсоединения к откачиваемому объему с парциальным давлением водорода -10 торр., палладиевую мембрану 2 нагревают при помощи на ревателя 3 до температуры 400-500 С Водород проникает через нагретый металл и на обратной стороне связывается кислородом воздуха. Благодаря наличию механически прочной диафрагмы 4 на палладневой мембране 2 не наблюдается заметных прогибов и деформаций при температуре мембраш 2-50О С и перепсще давлений атмосфера - вакуум. Таким образом, предлагаемая конструкция обеспечивает существейное увеличение механической прочности мембраны, что повышает срок службы насоса и его надежность. Существенным является тот факт, что положительный зффект достигается при сохранении быстроты откачки насоса. Формула изобретения Насос для откачки водорода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель отличающийся тем, что, с целью повышения надежиости, на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, выполненная из пористого металла. Источники ииформации, принятые во внимание при зкспертязе I. Патент Великобритании 905405 кл. F 1 N ЗА, опубл. 1962.

0