Насос для откачки водорода Советский патент 1979 года по МПК F04B37/14 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен насос для откачкЕ водорода, содержащий корпус с патрубком для подвода откачиваемого газа к прогреваемую диафрагму, выполненную в виде закреп- ленных на корпусе труб йз материала с высокой прошщаемостью по водороду, преимущественно палладия, прячем наружны поверхности труб сообщены с патрубком Ц).

НедЪстатком такого насоса является низкая быстрота действия.

Целью изобретения является повыше ние быстроты действия.

Это достигается тем, что полости труб сообщены с патрубком. При нспользов НИИ насоса в качестве иьюоковакуумного средства откачки отношение диаметра труб к их длине определяется формулой J .. d . vits

где d - диаметр Е - длина трубы; S- удельная быстрота откачки.

При использовании насоса в качестве форвакуумного средства откачки отяошвнне диаметра труб к их длине определяет с я формулой

d

1

-; б п

где d диаметр тру&.Г; 6 - длина трубы; S удельная быстрота откачкн; т среднее давление в трубе.

На чертеже показан предлагаемый насос, разрез.

Насос содержит корпус 1 в виде фланца, подсоединяемого к откачиваемому объему, с патрубком 2 для подвода от качнваемого газа, К корпусу прикреплена палладиевая диафрагма, выполненная в виде закрепленных на корпусе труб 3, Трубы 3 закреплены на корпусе 1 так, что нх полости сообщены с патрубком 2. Трубы 3 подключены к источнику пер&менного напряжения (на чертеже не по-