Устройство для контроля толщины гальванического покрытия в процессе осаждения Советский патент 1982 года по МПК G01B7/06 

НИИ и эталон выполнены в виде одной пластины, причем эталонная часть изолирована от воздействия электролита, а устройство снабжено электро ным коммутатором, включенным между выходом измерительного преобразователя и входами блока памяти и блока сравнения,управляющий вход коммутатора соединен с выходом генератора импульсфв, и блокомуправления, вход которого соединен с выходом блока сравнения, а выходы - с блоком памяти, генератором импульсов и задающим генератором. На фиг,1 приведена блок-схема устройства для контроля толщины гал ванического покрытия .в процессе осаждения; на,фиг.2 - формы лапряжений в различных точках устройства. Устройство для контроля толщины гальванического покрытия в процессе осаждения содержит соединенные последовательно задающий генератор 1 и измерительный преобразователь 2, в зазоре которого расположены элект род-свидетель 3 и эталон 4. Эталон 4 имеет необходимое покрытие требуемой толщины и изолирован от воздействия электролита. К выходу измерительного преобразователя 2 подключе ны соединенные последовательно элек ронный коммутатор 5, блок 6 памяти и блок 7. сравнения, причем второй выход электронного коммутатора 5 по ключен к второму входу блока 7 сравнения. Перемещение электрода-свидетеля 3 и эталона 4 осуществляется электромагнитом 8, обмотка которого через усилитель 9 мощности подключе на к генератору 10 импульсов. Второ выход генератора 10 импульсов соеди нён с управляющим входом электронног коммутатора 5. Работой устройства управляет блок 11 управления, вход которого соединен с выходом блока 7 сравнения, а выходы - с блоком 6 па мяти , задающим генератором 1 и 1енератором 10 импульсов. Устройство работает следующим об разом. При поступлении в момент времени IQ (фиг.2) на вход блока 11 управле ния сигнала и, осуществляется запус генератора 10 импульсов, задающего генератора 1 и подготовка к работе блока 6 памяти. При этом в зазоре между катушками преобразователя 2 устанавливается эталон 4, электронный коммутатор 5 соединяет вход измерительной катушки преобразователя со входом блока б памяти. Напрйжение и на выходе последнего будет .пропорционально толщине эталона. В момент времени t усилитель 9 мощности сигналом и с генератора 10 и пульсов подключает электромагнит 8, и пластина перемещается, вводя в преобразователь 2 электрод-свидетель 3. Одновременно с этим сигнал и с генератора импульсов поступает на электронный коммутатор 5, и последний по этому сигналу отключает выход преобразователя от блока 6. памяти и подсоединяет его к первому входу блока 7 сравнения. Величина сигнала и2. на входе блока 7 сравнения пропорциональна толщине электрода-свидетеля, и эта величина сравнивается с величиной заполне.нного сигнала и , который поступает на второй вход блока сравнения с выхода блока 6 памяти. При толщине электрода-свидетеля 3 меньшей, чем толщина, эталона 4, т.е. если и л и, через промежуток времени Т, определяемый колебаниями генератора 10 импульсов, отключается электромагнит Вив зазоре преобразователя 2 опять устанавливается эта-, лон 4. Процесс контроля и запоминания значения толщины эталона повторяется. Далее по сигналу U4 генератора 10 импульсов повторяется контроль толщины электрода-свидетеля 3. Процесс контроля продолжается до тех пор, пока толщина электрода-свидетеля не станет равной толщине эталона. При этом-условии на выходе блока 7 сравнения появляется сигнал Uj об окончании процесса электрросаждения, отключающий устройство контроля. Устройство позволяет проводить контроль толщины покрытия в процессе электроосаждения с большой точностью. Формула изобретения Устройство для контроля толщины гальванического покрытия в процессе осаждения содержащеесоединенные последовательно задающий генератор и измерительный преобразователь, эталон и электрод-свидетель, расположенные в измерительном пр)еобразователе, соединенные после.довательно блок памяти и блок сравнения, выход которого предназначен для подключения к индикатору, и соединенные по- следовательно, генератор импульсов, усилитель мощности и электромагнит, на якоре которого закреплен электрод-свидетель, отличающее с.я тем, что, с целью повышения точности контроля, электррд-свйдб-г тель и.эталон выполнены ввиде одной пластины, причем эталонная часть изолирована от воздействия электролита, а устройство снабжено эле1 тронным коммутатором,- включенным между выходом измерительного преобразователя и входами блока памяти и блока сравнения, управляющий вход коммутатора соединен с выходом генератора импульсов, и блоком управления, вход которого соединен с выходом бло

ка сравнения, а выходы - с блоком памяти, генератором импульсов и задающим генератором.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР it 326254, кл. С 25 D 17/12, 1969.

2.Авторское свидетельство СССР

773153,кл. G 01 В 7/06, 1979 (прототип) . .

2 Т «

(/;

из

(/2

л

ю

//

Uf

цпгр:

U:« if

/4

to

Фиг. 2.