Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи Советский патент 1982 года по МПК G01M3/00 

Изобретение относится к технике испытания изделий на герметичность, в частности к технологии изготовления проницаемых элементов контрольных течей.

По основному авт. св. №879344 «известен способ изготовленияпроницаемого элемента контрольной течи, заключсцоцийся в том, что пластину с отверстием помещают в вакуумированный объем, осаждают на стенки отверстия слой металла, одновременно пропускают через отверстие индикаторный газ и при достижении заданной величи.ны пропускной способности отверстия по индикаторному газу прекращают осгшденйе металла 1.

Недостаток способа заключается в недостаточной стабильности пропускной спосббности проницаемых элементов вследствие засорения отверстия частицами пыли и коррозии его стенок под воздействием окружакхдей атмосферы.

Цель дополнительного изобретения повышение стабильности.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления проницаемого элемента контрольной течи заключающемуся в том, что пластину с отверстием помещают в вакуумированный объем, ос 1ждают на стенки слой металла, одновременно пропускают через отверстие индикаторйый газ и при достижении заданной величины пропускной способности отверстия по индикаторному газу прекращают осаждение метсшла, после осаждения метал;ла на стенки отверстия последнее

10 ;закрывсцот материалом, проницаемым :по индикаторному газу.

Способ осуществляется следуквдам образом.

пластину с отверстием 0,1 мм по15мещают в вакуумную камеру, откачиваемую до давления рт.ст. Через отверстие одновременно пропускают индикаторшяй газ, в качестве котсч ого используют гелий и пары ме20таллоорганического соединения, которое бсаждается на стенках отверстия нагретой пластины. Изменяющийся поток гелия регистрируют с помощью течеискателя и при достижении задан25ной пропускной способности отверстия прекращают подачу к пластине металлоорганического соединения.

После этого отверстие герметично закрывают с обеих сторон пластины

30 1утем проклейки и поджатия кольце-,

39741764

выми накладками полиэтилентерефталат- Формула изобретения ной пленки тол1191ной 20 мкм.

Пропускная способность полученной Способ изготовления проницаемого

таким образом контрольной течи ока-элемента контрольной течи по авт.

эывается наземной .после выдержки те-° 879344, отличающийчи во влагокамере в течение 10 мин. 5 я тем, что, с целью повышения стаНаиесёние проницаемого по индика-бильности, после осаждения металла

торному газу материала на пластину с стенки отверстия последнее закрыотверстием может быть выполнено так- ают материалом, проницаемым по индиже путем напыления соотвеггствукяцегокаторному газу, материала до достижения постоянной 10

пропускной способности отверстия.Источники информации,

т.е. до полного его закрытия.принятые во внимание при экспертизе

Изобретение позволяет уменьшить

число рекалибровок контрольной те- 1. Авторское свидетельство СССР

чи, что облегчает работу с ней, а 15№ 879344, кл. G 01 М 3/00, 1980 (протакже повысить точность испытаний.тотип).