Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей Советский патент 1982 года по МПК G01M3/02 

(54) СПОСОБ ИЗГОТСеЛЕНИЯ ПРОНИЦАЕМЫХ ЭЛЕМЕНТОВ КОНТРОЛЬНЫХ ТЕЧЕЙ

1

Изобретение относится к технологии изготовления одноканальных проницаемых элементов контрольных теЧей, используемых для контроля герметичности.

Известен способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что наружщто поверхность стеклянного капилляра покрывают слоем токопроводяшего материала путем напыления его в вакууме или осаж-, дения химическим путем и, при непрерывной продувке полости капилляра газом, на полученный токопроводящнй слой электролитически осаждают вакуумноплотный слой металла Cl .15

Недостаток способа заключается в ограниченности диапазона пропускной способности получаемых контрольных течей, поскольку для изготовления проницаемых елементов на . потсжи газа меньше20

1О Лмкм/с при перепадах давления от 0,1 до нескольких атмосфер, необходимо для щюдувки капилляра создавать в его полости давление, которое превьпыает предел прочности стекла и разрушает капилляр.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ изготовления про;{ицаемых элементов контрольных течей, заключакицийся в том, что на нарул ную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводящий слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаждают на токопроводящий слой ва- куумноплотный слой металла. Концевой участок капилляра герметизируют путем установки капилляра в специальную onpaieку и касания концом капилляра капли предварительно загустевшего эпоксидного клея. После электролитического осаждения герметязированный конец капилляра отрьтают усилием, превьпиающим предел прочности стенки стеклянного капилляра С2 .

Недостатком способа является сложность процесса герметизации капилляра. 394 требующего применения специальной точной оснастки, а также сложность обеспечения надежного контакта тонкого то- копроводящего слоя с источником питания при электролитическом осаждении. Цель изобретения - упрощение про- цесса изготовления. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заклюМающемуся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопровод5иций слой, гер метизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаждают на токопроводящий слой вакуумноплотный слой металла, герметизируют коноевой участок капилляра непосредственно в процессе электролитического осаждения путем погружения его в жидкий металл, несмачивающий материал капилляра. Причем в качестве жшхкого металла используют сплав Вуда. На чертеже изображено устройство для осуществления способа. Устройство содержит зажим 1 для стеклянного капилляра 2, гальваническую ванну 3, размещенную в ней термостатированную ячейку 4, в .которой расположена кювета 5, заполненная жидким сплавом руда 6, и микрометрическую головку 1 . для перемещения зажима Г. Способ осуществляется следующим образом. Стеклянный капилляр с диаметром вы- ходного канала О,О8 мкм закрепляют в маятниковом устройстве универсального вакуумного поста под углом 45° к напра лению напыления токопровод$пцего материала из испарителя (чтобы исключить металлизацию выходного канала капилляра), и, вращая капилляр вокруг его оси, напыляют медь на наружную поверхность капилляра до толщины напыленного слоя (жоло 0,5 мкм. После этого капилляр 2 с металлизированной поверхностью закрет1Л5пот в зажиме 1. На дно ванны 3 в термостатированную ячейку 4 помещаю кювету 5, заполненную жидким сплавом Вуда б.несмачивающйм стекло. Перемещая капилляр при помощи головки 7, по наличию электрического контакта фиксируют момент касания сужающейся час94та капилляра с поверхнсх;тью сплава Вуда, Затем гальваническую ванну 3 заполняют пирофосфатным электролитом и при температуре раствора наращивают слой меди толщиной около 1 мм. В проовссе электролитического осаждения электрический контакт источника питания с тонким токопроводяшим :лоем капилляра осуществл$йЬт через сплав Вуда, на поверхности которого выделился при заливе электролита тонкий слой контактной меди, механически связанный с токопроводящим слоем капилляра. В некоторых случаях выступающий над развитой поверхностью конец стеклянного капилляра перед калибровкой отрывают. Изобретение позволяет получать проницаемые элементы контрольных течей с развитой имитирующей поверхностью из однородного материала на потоки газа до 1-1СГ л.мкм/с при перепадах давления от 0,1 до нескольких атмосфер. Формула изобретения 1. Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводящий слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаждают на токопроводящий слой вакуумноплотный слой металла, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления, герметизируют концевой участок капилляра непосредст венно в процессе электролитического осаждения путем погружения его в жиду, металл, несмачивающий материал капилляра. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве жидкого металла используют сплав Вуда. Источники информахши, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР ° заявке № 2776531/25-28, кл. CSi 01 М 3/02, 1979. 2. Авторское свидетельство СССР по заявке Me 2896896/25-28, кл. Q01 М 3/02, 1980 (прототип).

fx VjUlUiUUl/