Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

977 Поставленная цель достигается тем, что ннтерферсжлетр для конроля формы вььпуклых сферап&ских. поверхностей снабжен дополнительной иммерсионной линзой, уотановленной между светоделительным эл&ментом в компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления основной иммерсионной линзы. На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля-формы выпуклых а})ерических поверхностей крупногабаритных линз. Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало 2, фокусирующий объектив 3 и светоотделительный элемент 4, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной из ветви и включающую фотопленку 5 и фотографический объектив 6, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, обра зованную жидкос2гью,заполняющей пр.остран сгво между контролируемой линзой 9 и ком- пенсатором 7,и эталонное сферическое зер-; кало 10, дополнительную имметрсионнукз линзу 11, установленную между светоотд лительным элементом 4 и компенсатором : 7 и образованную жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления основной иммерсионной линзы 8, линзу 12 и иммерсионную камеру 13. Контролируемая линза 9 устанавливается в верхней части иммерсионной камеры 13 таким образом, что ее контролируемая поверхность К концентрична эталонной поверхности Э эталонногр сферического, зерка ла 10, Линза 12 установлена в нижней части имерсионной камеры 13 и в месте с компенсатором 7 образует пространство которое заполнено иммерсионной жидкостью,, образ;ющей дополнительную иммерсионную линзу 11. Предлагаемый интерферометр работает следующим образом. Лучи света от монохроматического иоточника 1 света попадают на отклоняющее зеркало 2, которое отклоняет их на фоку- .. . . ...,... - сирующий объектив 3. Фокусирующий объектив 3 фокусирует лучи и направляет их на светоотделительный элемент 4 и далее на линзу 12, дополнительную иммерсио ную линзу 11, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, далее лучи света падают п6 нормали на контролируемую поверхносгь К конгролируемой линзы Ю, которая частично отражает их, а часть

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Пуряев Д. Т. Методы контроля оптических сферических поверхностей. М., Мащинострренне, 1976, с. 122-134.

2.Авторское свидетельство СССР по заявке Nb 2789981/28, ют. G 01,6 11/24; GOl.B 9/02, 1979 (прототип). 2 лучей падает на эталонную поверхность Э эталонного сферического зеркала 10. Исследуемый волновой фронт, созданный лучами, отраженными от поверхности К контролируемой линзы 9, интерферирует с эталонным фронтом, образованным лучами, отраженными поверхностью Э эта лонного орерического зеркала 10. По виду интерференционной картины, регистрируемой системой для регисгращш интерференционной картины, включающей фотопленку 5 и фотографический объектив 6, делают заключение о качестве конролируемой поверхности К линзы 9. При необходимости контроля качества поверхностей с различными значениями радиуса кривизны из существующего ряда иммерсионных жидкостей выбирают жидкости с показателями преломления, определяемыми расчетным путем с целью компенсации остаточной сферической аберрации, которые образуют основную иммерсионную линзу 8 и дополнительную иммер сионную линзу 11. Формула изобретения Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз соде эжащий монохроматический источник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало, фокусирующий объектив и светоотделительный элемент, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной , и компенсатор, иммерсионную линзу, образованную жидкостью, заполняющей пространство между контролируемой линзой лГ компенсатором, и эталонное сферическое зеркало, установленные в другой ветви, отличающийся тем, что, с целью расщирения диапазона контролируемых линз, он снабжен дополнительной иммерсионной линзой, установленной между светоотделйтельным элементом и компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления основной иммерсионной линзы.

Ю

/