Устройство для определения адгезии пленок к подложке Советский патент 1982 года по МПК G01N19/04 

Изобретение относится к испытательной тезшике, а, именно к устройствам для определения адгезии пленок к подложкам скрайбйрованием. Известно устройство для определения адгезии пленок к подложке скрайбйрованием, содержащее держатель, закрепленный в держателе резец с режущей кромкой и силоизмерительный механизм ll . Наиболее близким к предлагаемо у по технической сущности и достигаемо 4У результату является устройство для определения аДгезии пленок к подложке скра& бированием, содержащее подвижный стол для закрепления подло,жки, держатель, закрепленные в держателе два резца с параллельньшги режущими кромзшми и измерительный прибор, при этом режущие кромки резцов выполнены разными по ширине, а резцы установлены в одиц ряд с зазором между ними . Общим недостатком этих устройств является низкая точность определения адгезии при скрайбированни, поскольку он не позволяют исключить из величины нагрузки при скрайбировании сноы трешш режущих icpoMoK о поверхности поц ложки и покрытия к определить момшт касания резцами поверхаостя подложка. Цель изобретения - повышение точности определения адгеаин. Цель достигается тем, что в устройстве для определения адгезии плевок к подложке скрайбйрованием, бодержйпкём повдвижный .стол дл закреплений ки, держатель, закрепленные в деракателе два резца с параллельными режущими кромкш и и измерительный щжбор, режущие кромки резцов выполнены равными во Ширине, а резцы установлены в держателе один за другим с заходом одной режущей кромки за другую. При этом устройство снабжено связавным с измерительным прибором датчиков глубины погружения резцов, закрепленным на держателе за резцами. На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - подложка.

3 Q81S744

с покрьггием в момент .касания резцамикоторого поступает через преобразова-

подложки, вид сверху; на фиг. 3 - блок-тель 19 на регистратор 16. При этом

схема .измерительного прибора.сигнал с преобразователя 19 поступает

Устройство содержит основание 1, ус-на блок 18 управления обмоткой 17 тановленный на нем с возможностью пере- sэлектромагнитного нагружателя 4, и мещения стол 2, закрепленный на основа-дальнейшее перемещение держателя 6 с НИИ 1 кронштейн 3, связанный с послед-резцами 7 и 8 прекращается, а механиним через электромагнитаый нагружательческие нагрузки на режупгае кромки 9 4 и измерительный прибор 5, держательи 10 преобразуются тензометрическими 6, закрепленные в держателе 6 один за юдатчиками 13 и 14 усилия скрайбировадругим два резца 7 и 8 с равными пония и электрические импульсы, которые ширине режущими кромками 9 и 10 ичерез блок 15 обработки и индикации установленные с заходом одной режущейпоступают также на регистратор 16. Так кромки 9 за другую режущую кромку 10,как режущие кромки 9 и 1О резцов 7 и датчик 11 глубины погружения рездов 15и 8 вьшолнены равными по ширине, то 7 и 8, закрепленный на держателе 6 заусилия РТП , трения резцов 7 и 8 резцами 7 и 8 и связанный с измеритель-fo поверхность подложки 20 также равным прибором 5.ны, поэтому они практически полностью

Измерительный прибор 5 (фиг. 3) со-компенсируются в блоке 15 обработки стоит из источника 12 постоянного тока, 20и индикации. Так как .резцы 7 и 8 уста тензометрических датчиков 13 и 14 уси новлены с заходом одной режущей кромки ЛИЯ скрайбирования резцов 7 и 8, блока9 за другую режуй гю кромку 1О, то на 15 -обработки и индикации, регистраторарезец 8 воздействуют сила Г§ трения 16, обмотки 17 электромагнитного нагру-от двух боковых поверхностей режущей жателя 4 с блоком 18 управления и дат- 25кромки 9, а на резец 7 воздействует чика 11 глубины погружения с преобра-сила трения только от одной поверхзователем 19.ности режущей кромки 10. Поэтому сиУстройство работает следующим об-йы р§ В-2 трения режущих кромок разом.9 и 1О о пленку 21 наполовину компенНа столе 2 закрепляют подложку 2О зосируются.

с нанесенной на нее пленкой 21. Настра-На вькоде блока 15 обработки и ин- ивают датчик 11 глубины погружениядикации получают сигнал, состо5Ш1ий из резцов 7 и 8. от источника 12 посто.ян-разности адгезионной составляющей усиного тока на момент касания резцамилий FQ , а адгезии и составляющей поверхности подложки ,,20. Подводят ре- -,усилий бокового трення Fg Вежущие кромки 9 и 10 резцов 7 и 8 доличина составляющей усилий бокового касания их с поверхностью пленки 21.трения Fs Tg, на несколько порядков Сообщают движение столу 2 относительноменьше составляющей усилий Fa (Х резцов 7 и 8 и, постепетшо перемешая .адгезии, поэтому этой величиной при опдержатель 6 от нагружателя 4, погружают ределении адгезии пленок 21 к подложке резцы 7 и 8 в плешсу 21, которые свои-20 при скрайбировании пренебрегают и ми режущими кромками 9 и 10 скрайби-на выходе регистратора 16 получают веруют пленку 21. При этом режущие крем-личину адгезии пленки 21 к подложке 20, ки 9 и 10 резцов 7 и 8 воспринимаютравную разности усилий F , Fc2 скрайна себя усилия FC и FC скрайбирова- бирования режущих кромок 9 и 10 резния со стороны пленки 21, которые скла-цов 7 и 8.

дываются из усилий F. , а преодоле-Устройство позволяет повысить точвая адгезии, усилий . трения оность определения адгезии пленок к подповерхность подложки 20 и усилий Fgложке при скрайбировании, поскольку бокового трения режущих кромокисключает скрайбнфование резцами под9 я 10 о пленку 21. При скрайбирова-ложки и влияние величины трения режунии режущими кромками 9 и 10 пленки -щих кромок резцов о поверхность подлож21 с последоней удаляются слой опреде-ки я бокового трения о пленку, .ленной толщины до тех пор, пока датчик, 11 глубины погружения рездов 7 и 8 не

достигнет поверхности подложки 20, Формула изобретения

Момент достижения резцами 7 и 8 поверхности подложки 20 фиксируется дат-1, Устройство для определения адгезии

чиком 11 глубины погружения, сигнал спленок к подложке скрайбированием, содержашее ЛОДВИЖНЬЕЙ стоп дпя закрепления подложки, держатель, закрепленные в держателе два резоа с параллельными режущими кромками и измерительный прибор, отличающееся тем, что, ) с цепью повышения точности определения адгезии, режущие кромки резцов вьшолнены равными но ширине, а резцы установлены в держателе один за другим с заходом одной режущей кромки за другую. 10

2. Устройство по н. 1, о т л и ч а юа( е е с я тем, что оно снабжено связанным

с измерительным прибором датчиком глбины погружения резпов, закрепленным на держателе за резцами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент ФРГ № 1956О98, кл. а 01 N 19/О4, 1978.

2.Авторское свидетельство № 605155, кл.а 01 N 19/04, 1974 i(прототип).

г

21

X

Фиг.: