Устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов Советский патент 1982 года по МПК H01L21/66 

(5) УСТРОЙСТВО для АВТОМАТИЧЕСКОЙ СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении приборов для сортировки по электрическим параметрам интеграль ных схем, помещенных в технологические спутники, предназначенных для контрольно-измерительного оборудования . Известен рычажный сортирующий механизм, содержащий вертикальную шахту с толкателями, подпружиненными заслонками С 1 3. Недостатком известного устройства является низкий КПД, обусловленный тем,.что для загрузки каждого изделия, выгружаемого в последующую группу, должны сработать все предыдущие толкатели. Это особенно снижает КПД и производительность сортировщика при большом числе групп. Кроме того,, снижается надежность работы сортировщика из-за ежецикличности срабатываний электромагнитов и толкателей. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов, В частности интегральных схем в плоском корпусе. Известное устройство для сортировки содержит механиз «а загрузки и траиспортирования изделий в зону контактирования , где происходит механический контакт изделия с измерительной системой, осуществляющей контроль параметров полупроводниковых приборов и формирующей сигнал разбраковки их на соответствующие группы, блок сортировки, включающий толкатели по числу групп сортировки, выг|олненные в виде пневмопривода со штоком Т-образной формы, и отсекатели элeктpoиaгниfного типа по числу сортировочных групп. Измерительное устройство по результа3983там проверки устанавливает сортировоч ную rpyrtny и формирует сигнал, подаваемый, на катушку электромагнита соответствующего отсекателя. По окончании проверки изделие попадает в вертикальный транспортирующий канал, где оно под действием силы тяжести перемещается до соответствующего электромагнитного отсекателя, срабатывающего от сигнала измерительного устройства, т. е. перемещающегося относительно своего исходного положения и препятствующего тем самым перемещению изделия по вертикальному каналу. Затем под действием толкателя изделие заталкивается ,в соответствующую сортировочную группу Г2 . Однако известное устройство для сортировки имеет недостаток, обусловленный наличием отсекателей по числу групп сортировки с приводными механиз мами (в данном случае электромагнитного типа), поскольку необходимость конструктивной компоновки отсекателей наряду с толкателями значительно усложняет конструкцию.устройства для сортировки, его электрическую схему и делает его работу менее надежной :вследствие наличия пары электромагнит - собственно отсекатель. Это особенно критично при большом числе груп сортировки, необходимость которых обусловлена многочисленными измерениями электрических параметров полупроводниковых приборов, например больших и сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности. Поставленная цель достигается тем что в устройстве для автоматической сортировки полупроводниковых приборов преимущественно закрепленных в технологических спутниках, содержащем механизмы загрузки и транспортирования блок контактирования, подключенный к электрической схеме управления, блок сортировки, включающий канал подачи спутников, пеналы-накопители по числу групп сортировки, толкатели и от секатели, конец каждого толкателя вы полнен Г-образным и снабжен пластиной размещенной в плоскости основания пенала-накопителя с возможностью отсекания канала подачи спутников. На фиг. 1 показано устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов, общий вид; на фиг. 2 - блок сортировки. Предлагаемое устройство для автоматической сортировки содержит механизм 1 загрузки полупроводниковых приборов, например больших интегральных схем, закрепленных в Технологических спутниках 2, механизм 3 транспортирования, блок контактирования, блок 5 сортировки, канал 6 подачи спутников. Механизм 1 загрузки приборов предназначен для цикличной подачи приборов, закрепленных в спутниках 2 из пенала 7.загрузки в механизм 3 транспортирования, которым осуществляется подключение приборов к измерительной системе (не показано) посредством блока 4 контактирования. Блок 5 сортировки предназначен для выгрузки приборов в соответствующей группе сортировки пенал-накопитель 8. Направляющая 9 предназначена для выгрузки спутников 2 из механизма транспортировки направляющей в канал 6 блока 5 сортировки. Блок 5 сортировки содержит толкатели 10 прямоугольной формы, служащие одновременно и отсекателями предыдущей группы сортировки за счет того, что верхняя часть толкателя выполнена в виде плоской пластины 11.Толкатели приводятся в движение пневмоцилиндрами 12. Конец каждого толкателя снабжен Г-образным (фиг. 2) вырезом для захвата технологических спутников, при этом верхняя часть толкателя выполнена в виде плоской пластины 11 для отсекания канала подачи спутников 2. Устройство работает следующим образом. Из пенала 7 загрузки приборы, закрепленные в спутниках 2, поступают в подвижную часть механизма 3 транспортирования и подаются на подключение к измерительной системе. Происходит механический контакт изделия с блоком k контактирования, и после процесса измерения изделие выгружается механизмом 3 транспортирования в направляющую 9, по которой спутник 2 поступает в канал подачи спутников блока сортировки. По сигналу от измерительной системы срабатывает один из пневмоцилиндров 12, последующий за группой сортировки данного спутника 2. Толкатель 10, жестко связанный со штоком соответствующего пневмоцилиндра 12,выдвигается в направлении пеналовнакопителей 8 и своей плоской пласти598383ной 11 перекрывает путь движению издалия. Благодаря тому, что толкатели расположены друг от друга на расстоянии, соизмеримом с размером спутников с за- 5 крепленными в них приборами вдоль канала, подами спутников 2 приборы занимают положение против соответствующего группе сортировки пенала-наколителя 8. Затем срабатывает пневмоцилиндр

12 и, следовательно, толкатель 10 против данной сортировки и спутник 2 подается в соответствующий своей группе пенал-накопитель 8, и «щий основание, на которое опирается спут- ник 2.

Таким же образом совершается выгрузка в любую группу сортировки, т. е. по сигналу от измерительной системы ена чала срабатывает последующий за группой сортировки пневмбцилиндр , вы двигая соответствующий толкатель, а затем пиевмоцилиндр, находящийся против данной группы. Один и тот JKS толкатель играет роль элемента выгрузки изделия в пенал и отсекателя. Это упрощает конструкцию сортировщика и увеличивает надежность его ра&эты, особенно при большом числе группы сортировки (в данном случае 12 групп).

спутников, пеналы-накопители по числу групп сортировки, толкатели и отceKaTejvi, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструк-. ции и повышения надежности, конец кайг дого толкателя выполнен Г-образным и снабжен пластиной, размещенной в плоскости основания пенала-накопителя с возможностью ее отсекания канала по6Формула изобретения Устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов, преимущественно закрепленных в техно логических спутниках, содержащее ме(ханизмы загрузки и транспортирования, блок контактирования, подключенный к ;электрической схеме управления, блок сортировки, вкгночающий канал подачи ачи спутников. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Артоболевский А.И. Механизмы в современной технике. М., Наука, 1976, т. 5, с. 661. 2.Авторское свидетельство СССР f 535859, кл. Н 05 К 7/00, 1976 (прототип).

0i/e.1

IZDtD