СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОДЕФОРМАЦИИ ОБРАЗЦА Российский патент 1994 года по МПК G01B11/16 

Изобретение относится к измерениям деформации твердых тел.

Известен способ определения деформации сплава, заключающийся в том, что на образец наносят координатную сетку путем травления поверхности кислотой, нагревают образец и с помощью координатной сетки измеряют деформацию [1] .

Недостаток способа заключается в его сложности и низкой точности.

Известен способ, заключающийся в том, что на поверхность образца наносят эмульсионный фотослой, формируют на образце координатную сетку путем экспонирования через шаблон, образец нагружают, с помощью микроскопа определяют размеры ячеек координатной сетки до и после нагружения образца и определяют микродеформацию по результатам измерений [2] .

Недостаток известного способа связан с его применимостью только для образцов с плоскими поверхностями, что обусловлено операциями формирования на образце координатной сетки, а именно невозможностью обеспечения для образцов сложной формы равномерности: толщины эмульсионного слоя, плотности прижатия шаблона к образцу и условий экспонирования. Все эти факторы раздельно и в совокупности не позволяют обеспечить равномерность размеров ячеек координатной сетки.

Цель изобретения - обеспечение возможности определения микродеформации образцов криволинейной формы, например крестообразных твэлов.

Указанная цель достигается тем, что на поверхность образца, наносят фотослой, формируют на него координатную сетку с помощью экспонирования через шаблон, измеряют микроскопом размеры ячеек координатной сетки до и после нагружения образца и по результатам измерений определяют микродеформацию образца. В отличие от известного способа, в качестве фотослоя используют светочувствительный слой фотопленки, например сухого пленочного фоторезиста, причем экспонирование фотослоя через шаблон с координатной сеткой производят до нанесения фотослоя на образец.

Применение фотопленки для нанесения фотослоя на образец криволинейной формы обеспечивает возможность перенесения координатной сетки на фотослой без искажений до нанесения фотослоя на образец, используя плоский шаблон и прижимая фотопленку к шаблону при экспонировании.

На фиг. 1 показана фотография части образца твэла крестообразной формы; на фиг. 2 - фотография фрагмента поверхности образца с координатной сеткой. Сетка содержит ребра 1 и впадины 2. Перед нанесением фотослоя на данный образец с фотопленки, например сухого пленочного фоторезиста марки СВП-ВЩ, заданных размеров, определяемых размерами образца, в условиях, предотвращающих засветку фотослоя, снимают защитный слой, затем прижимают поверхность фотослоя к плоскому шаблону с координатной сеткой и экспонируют освещением со стороны шаблона. После этого нагревают образец до 90-120^oC и приклеивают к нему основу пленки с фотослоем, прижимая фотослой к образцу так, что он охватывает всю поверхность ребер 1 и впадин 2. После этого образец охлаждают до комнатной температуры, затем снимают основу и производят проявление, промывку и сушку, в результате чего на поверхности образца формируется координатная сетка, идентичная координатной сетке шаблона. Измеряя с помощью микроскопа размеры ячеек сетки до и после нагружения образца, его микродеформацию определяют по результатам этих измерений.

Приведенные фотографии реального образца подтверждают эффективность предлагаемого способа. (56) 1. Авторское свидетельство СССР N 781538, кл. G 01 B 11/16, 1980.

2. Шагдыр Т. Ш. и др. Определение параметров распределения пластических деформаций зерен поликристаллов. М. : Металлургия, заводская лаборатория, N 8, 1976, с. 1008 и 1009.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерениям микродеформации образца. Цель изобретения - обеспечение возможности определения микродеформации образцов криволинейной формы, например крестообразных твэлов. На поверхность образца наносят фотослой, в качестве которого используют светочувствительный слой фотопленки, например сухого пленочного фоторезиста, который предварительно экспонируют через шаблон с координатной сеткой. Образец с сфотографированной на его поверхности координатной сеткой нагружают. При этом с помощью микроскопа измеряют размеры ячеек координатной сетки до и после нагружения и по результатам измерений определяют микродеформацию образца с криволинейной поверхностью, например крестообразного твэла. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.

1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОДЕФОРМАЦИИ ОБРАЗЦА, заключающийся в том, что наносят на поверхность образца фотослой, формируют на нем путем экспонирования через шаблон координатную сетку, измеряют микроскопом размеры ячеек координатной сетки до и после нагружения образца и определяют по результатам измерения микродеформацию образца, отличающийся тем, что, с целью определения микродеформации образцов криволинейной формы, например крестообразных твэлов, используют в качестве фотослоя светочувствительный слой фотопленки, а экспонирование фотослоя производят до нанесения фотослоя на образец. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют в качестве светочувствительного слоя фотопленки сухой пленочный фоторезист.