СПОСОБ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНСТРУКЦИИ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА НА ПОДЛОЖКЕ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКЕ Российский патент 1994 года по МПК H01J9/227 

Изобретение относится к способу электрофотографического изготовления экрана, в частности к изготовлению экрана для цветной электронно-лучевой трубки (ЭЛТ), в которой используются трибоэлектрически заряженные структурные материалы экрана на основе сухого порошка.

Обычная ЭЛТ с теневой маской содержит вакуумированный баллон, имеющий смотровой экран, содержащий решетку фосфорных элементов трех различных эмиссионных цветов, установленных в циклическом порядке, средство для создания трех сходящихся электронных лучей, направленных к экрану, и структуру выбора цвета или теневую маску, содержащую тонкий перфорированный лист металла, расположенный между экраном и средством для создания лучей. Перфорированный металлический лист затеняет экран, а за счет разницы в углах сходимости имеется возможность прошедшим через отверстие частям каждого луча селективно возбуждать фосфорные элементы необходимого цветового излучения. Фосфорные элементы окружены матрицей светопоглощающего материала.

В известном способе создания каждой решетки фосфорных элементов [1] на смотровой лицевой пластине ЭЛТ внутренняя поверхность лицевой пластины покрывается суспензией фоточувствительного связующего и фосфорных частиц, способных излучать свет одного из трех эмиссионных цветов. Суспензия просушивается, образуя покрытие, а световое поле направляется от источника через отверстия в теневой маске на высушенное покрытие так, чтобы теневая маска функционировала как фотографический оригинал. Экспонированное покрытие последовательно проявляется, создавая первые испускающие цвет фосфорные элементы. Процесс повторяют для вторых и третьих цветоиспускающих фосфорных элементов, используя ту же самую теневую маску, но переставляя источник света для каждого экспонирования. Каждое положение источника света примерно равно углу сходимости одного из электронных лучей, который возбуждает соответствующие цветоиспускающие фосфорные элементы.

Недостатком описанного выше влажного фотолитографического процесса является то, что процесс не может отвечать более высоким требованиям по разрешающей способности следующего поколения развлекательных устройств и более высоким требованиям по разрешающей способности мониторов, рабочих станций и применению, когда требуется, цветного алфавитно-цифрового текста. Кроме того, для влажного фотолитографического процесса (включая обработку матриц) требуется 182 основных этапа обработки (показаны на фиг.1 и 2, причем номер под каждым блоком указывает на количество требующихся установок) необходим разветвленный трубопровод и наличие чистой воды, требуются сбор отходов фосфора и их утилизация, а также используется большое количество электрической энергии для экспонирования и сушки фосфорных материалов.

В [2], [3] описаны способы элктрофотографического экранирования цветных электронно-лучевых трубок. Внутреннюю поверхность передней панели ЭЛТ покрывают слоем улетучивающегося фотопроводящего материала. Фотопроводящий слой затем равномерно заряжают, выборочно экспонируют светом через теневую маску для установления изображения скрытого заряда и проявляют с использованием несущей жидкости с высоким молекулярным весом, имеющей в суспензии количество частиц фосфора заданного излучающего цвета, которые выборочно нанесены на подходящие заряженные области фотопроводящего слоя для проявления скрытого изображения. Заряжение, экспонирование и нанесение повторяют для каждого из цветоизлучающих фосфоров, то есть для зеленого, синего и красного экрана.

Прототипом изобретения является способ электрофотографического изготовления конструкции люминесцентного экрана на подложке для использования в ЭЛТ, включающий покрытие подложки проводящим слоем, нанесение на него фотопроводящего слоя, последовательное нанесение структурных материалов, образующих матрицу светопоглощающего покрытия и/или решетки каждого из люминофоров различных цветов свечения. При этом для нанесения каждого из структурных материалов устанавливают электростатический заряд на фотопроводящем слое, экспонируют выбранные области фотопроводящего слоя видимым светом для создания на нем заряда и проявляют его заряженным структурным материалом с агентом контроля поверхностного заряда [4]. Адгезия частиц фосфора повышается за счет одинакового экспонирования светом частей фотопроводящего слоя, лежащего между нанесенным рисунком из частиц фосфора, после каждого этапа нанесения для снижения или разряда остаточного заряда и создания возможности более однородного перезаряда фотопроводника для последующих нанесений.

Целью изобретения является повышение разрешающей способности, а также сокращение операций способа и уменьшение энергозатрат.

Способ электрофотографического изготовления экрана на подложке для использования в ЭЛТ в соответствии с изобретением содержит этапы последовательного покрытия подложки проводящим слоем и нанесения сверх фотопроводящего слоя, установления электростатического заряда на фотопроводящем слое, экспонирования выборочных областей фотопроводящего слоя видимым светом для создания на нем заряда. Затем фотопроводящий слой проявляют заряженным экранным структурным материалом. В способе используется экранный структурный материал на основе сухого порошка, имеющий по меньшей мере агент контроля поверхностного заряда на нем для управления трибоэлектрическим заряжением экранного структурного материала.

На фиг. 1 показана блок-схема обычного влажного фотолитографического процесса нанесения черной матрицы; на фиг.2 - блок-схема основных этапов обычного влажного фотолитографического процесса нанесения на экран люминофоров; на фиг.3 - цветная электронно-лучевая трубка, вид сверху частично с осевым сечением; на фиг.4 - конструкция экрана трубки; на фиг.5 - часть лицевой панели ЭЛТ, имеющей проводящий слой и фотопроводящий слой; на фиг.6 - заряжение фотопроводящего слоя на лицевой панели ЭЛТ, показанной на фиг.5; на фиг.7 - лицевая панель ЭЛТ и часть теневой маски во время последовательного этапа экспонирования в процессе изготовления экрана; на фиг.8 - лицевая панель ЭЛТ во время этапа проявления в процессе изготовления экрана; на фиг.9 - частично законченная лицевая панель ЭЛТ во время последующего этапа фиксирования в процессе изготовления экрана; на фиг.10 - блок-схема сухого электрофотографического нанесения черной матрицы; на фиг.11 - блок-схема данного сухого электрофотографического нанесения люминофоров и сборки экрана.

Известный влажный фотолитографический процесс нанесения черной матрицы, представленный на фиг.1, включает следующие этапы (а также требуемое обоpудование и материалы): 1 - 12 - каустическая промывка (промывочная панель - нагреватель кислоты, вода); 15, 16 - наложение фоторезиста (метанол); 17-36 - сушка и охлаждение (нагреватель); 37, 38 - экспонироание оптикой 3 в 1 (шесть) 3 в 1 (маяк); 39-41 - проявление (водный проявитель - метанол-плюроник); 42 - 49 - сушка (нагреватель); 51 - наложение графитовой дисперсии; 52 - 57 - сушка (нагреватель); 61, 62 - травление перекисью (перекись - плюроник); 63 - 72 - водное проявление (вода); 73-82 - промывка торца и сушка.

На фиг. 2 представлены следующие основные этапы влажного процесса люминофорного экранирования; 1 - 12 - промывка и предварительное покрытие; 13 - наложение зеленой суспензии; 14-20 - очистка боковой стенки отходами суспензии; 21-27 сушка с нагревом и охлаждение; 28, 29 экспозиция (зеленая оптика); 30 - 33 - проявление зеленого цвета; 34 - 39 - сушка зеленого цвета; 40 - наложение синей суспензии; 41 - 45 отходы суспензии синего цвета и очистка боковой стенки; 46 - 53 - сушка нагревом и охлаждение; 56 - 59 - экспозиция (синяя оптика); 54, 55 - проявление синего цвета; 60 - 68 - сушка синего цвета; 69 - наложение красной суспензии; 70 - 73 - отходы суспензии и чистка боковой стенки; 74 - 82 - сушка красного цвета и охлаждение; 83 - 84 - экспозиция (красная оптика); 85 - 91 - проявление красного цвета; 92 - 100 - сушка красного цвета.

На фиг.3 показана цветная ЭЛТ 10, имеющая стеклянный баллон 11, содержащий прямоугольную лицевую панель 12 и трубчатую горловину 14, соединенную с прямоугольным раструбом 15. Раструб 15 имеет внутреннее проводящее покрытие (не показано), которое соприкасается с анодной кнопкой 16 и проходит в горловину 14. Панель 12 содержит смотровую лицевую панель или подложку 18 и периферийный фланец или боковую стенку 20, которая запаяна с раструбом 15 стеклянным фриттом 21. Трехцветный фосфорный экран 22 наносится на внутреннюю поверхность лицевой панели 18. Экран 22, показанный на фиг.4, представляет собой линейный экран, который содержит множество экранных элементов, составленных из излучающих красный, зеленый и синий цвета фосфорных полосок соответственно R, G и В, расположенных цветовыми группами или элементами изображения на трех полосок или триад в циклическом порядке и выступающих в направлении, которое является нормальным к плоскости, в которой вырабатываются электронные лучи. В нормальном положении фосфорные полоски вытянуты в вертикальном направлении. Предпочтительно фосфорные полоски отделены друг от друга светопоглощающим матричным материалом 23. В альтернативном варианте экран может быть точечным. Тонкий проводящий слой 24, предпочтительно из алюминия, перекрывает экран 22 и создает средство для подачи равномерного потенциала на экран, а также отражающего света, излученного от люминофорных элементов, через лицевую панель 18. Экран 22 и перекрывающий алюминиевый слой 24 составляют конструкцию экрана.

Как показано на фиг.3, многодырочный электрод выбора цвета или теневая маска 25 установлены съемно с помощью обычных средств в заданном пространственном отношении к конструкции экрана. Электронная пушка 26, показанная схематически пунктирными линиями на фиг.3, установлена по центру в горловине 14 для выборки и направления трех электронных лучей 28 по сходящимся траекториям через отверстия в маске 25 на экран 22. Пушка 26 может содержать бипотенциальную электронную пушку типа описанной в патенте США N 4620133, или другую пушку.

Трубка 10 предназначена для использования с наружной магнитной отклоняющей системой типа системы 30, расположенной в области стыка раструба и горловины. При возбуждении магнитная система 30 подвергает три луча 28 воздействию магнитных полей, которые заставляют лучи развертываться по горизонтали и вертикали, в прямоугольном растре по экрану 22. Первоначальная плоскость отклонения (при нулевом отклонении) показана линией Р-Р примерно на середине системы 30. Для простоты не показаны действительные величины кривизны траекторий отклоняющих лучей в зоне отклонения.

Экран 22 изготовлен посредством нового электрофотографического пpоцесса, который схематически представлен на фиг.5 - 9 и на блок-схемах фиг. 10, 11. Первоначально панель 12 моют каустическим раствором, полощут в воде, протравливают в буферизированной плавиковой кислоте и снова промывают водой. Затем (фиг. 5) внутреннюю поверхность смотровой лицевой панели 18 покрывают слоем 32 из электропроводящего материала, который создает электрод для перекрытия фотопроводящего слоя 34. Проводящий слой 32 может быть неорганическим проводником типа окиси олова или окиси индия или смешанным оксидом индия - олова или улетучивающегося органического проводящего материала, состоящего из полиэлектролита, известного под названием полибрина (1,5-диметил-1,5-диаза-ундекаметилен полиметобромид, гексадиметрин бромид) или другой четырехкомпонентной солью аммиака. Полибрин, получаемый от фирмы Олдрич, Кемикал Ко, г.Милуоки, штат Висконсин наносят на внутреннюю поверхность смотровой лицевой пластины 18 в виде водного раствора, содержащего около 10 мас.% пропанола и около 10 мас.% растворимого в воде способствующего адгезии полимера типа поливинилового спирта, полиакриловой кислоты, некоторых полиамидов и аналогичных веществ. Проводящая грунтовка накладывается на лицевую пластину 18 как при спиновом покрытии и высушивается для создания слоя, имеющего толщину 1-2 мкм и поверхностную удельную проводимость менее 10⁸ Ом/кв.

Проводящий слой 32 покрывают фотопроводящим слоем 34, содержащим улетучивающийся органический полимерный материал, фотопроводящий краситель и растворитель. Полимерный материал является органическим полимером типа поливинилкарбазола или органическим мономером типа этилкарбазола, винилкарбазола или тетрафенилбутатрина, растворенного в полимерном связующем типа полиметилметакрилата или полипропиленкарбоната.

Красящий компонент может быть любым фотопроводящим красителем, который растворим в растворителях, устойчив при обработке и чувствителен к свету в видимом спектре, предпочтительно 400 - 700 нм. Красители включают в себя кристаллический фиолетовый цвет, хлоридииновый синий, родаминовый ЕГ и т.п. Краситель обычно присутствует в фотопроводящем составе в количестве 0,1 - 0,4 мас. %. Растворитель для фотопроводящего состава является органическим типа хлорбензола или циклопентанона и т.п., которые создают как можно меньшее поперечное загрязнение между слоями 32 и 34. Фотопроводящий состав накладывают на проводящий слой 32 как при спиновом покрытии и высушивают до образования слоя, имеющего толщину 2 - 6 мкм.

В соответствии с изобретением (фиг.6) фотопроводящий слой 34, перекрывающий проводящий слой 32, заряжают в темноте с помощью устройства 36 положительного коронного разряда, которое перемещается поперек слоя 34 и заряжает его в диапазоне от +200 до +700 В (предпочтителен интервал от +200 до +400 В). Теневая маска 25 (фиг.7) вставлена в панель 12, и положительно заряженный фотопроводник облучается через теневую маску светом от ксеноновой лампы-вспышки 38, распложенной в пределах обычного строенного маяка, представленного линзой 40. После каждой экспозиции лампу перемещают в другое положение для дублирования угла падения электронных лучей от электронной пучки. Требуются три экспозиции из трех различных положений лампы для разряда областей фотопроводника, где светоизлучающий люминофор будет последовательно наноситься с целью образования экрана. После этапа экспонирования теневую маску удаляют с панели 12 и панель перемещают к первому проявителю 42 (фиг.8), содержащему соответственно подготовленные частицы сухого порошка светопоглощающего материала черной матрицы структуры экрана и несущие изолирующие несущие кромки с обработанной поверхностью (не показаны), которые имеют диаметр 100 - 300 мкм и которые придают трибоэлектрический заряд частицам материала черной матрицы.

Материал черной матрицы обычно содержит черные пигменты, которые являются устойчивыми при трубочной обработке с температурой 450^оС. Черные пигменты, подходящие для изготовления материала матрицы, содержат марганцево-кислое железо (Бейферро Блэк ЗОЗТ, поступает от Мобей Кемикал Корп., Питтсбург, Пенсильвания), железо-кобальтовый окисел, цинковый сульфид железа и изолирующую угольную сажу. Черный материал матрицы подготавливают путем плавки-смешивания пигмента, полимера и агента с управляемым зарядом, который управляет величиной трибоэлектрического заряда, приданного матричному материалу. Материал осаждается до средней величины частиц порядка 5 мкм. Полимер выбирают из группы, состоящей из бутилакрилата, сополимера стирол-бутилакрилата, сополимера метилметакрилата - бутилметакрилата поливинилового спирта, полиэстера (поли- [полиэтилен 1,4-циклогександикарбоксилат-терефталат-1,4-оксибензоат]) и полиамидов (Юнион Капм Ко., Юнирез 2205, 2209, 2218, 1548). Агенты, которые могут использоваться для контроля отрицательного заряда на частицах матрицы, содержат органические кислоты типа нафталиновой серной кислоты, бисбензол сульфонамида или р-толуол серной кислоты и красители и пигменты типа хромовых комплексов 1-фенилазо-2-нафтолов.

Черный материал и несущие кромки с обработанной поверхностью, покрытые тонкой пленкой агента с контролируемым зарядом, смешивают в проявителе 42 с использованием 1 - 2 % от массы черного матричного материала. Материалы смешивают так, чтобы окончательно разделенные матричные частицы соприкасались и заряжались отрицательно несущими кромками с обработанной поверхностью. Отрицательно заряженные частицы материала матрицы вытесняются из проявителя 42 и притягиваются к положительно заряженной неэкспонированной области фотопроводящего слоя 34 для прямого проявления этой области. Затем (фиг. 9) используют инфракрасное излучение для фиксирования материала матрицы путем сплавления или теплового связывания полимерной составляющей материала матрицы с фотопроводящим слоем при формовании матрицы 23.

Фотопроводящий слой 34, содержащий матрицу 33, равномерно заряжается заново до положительного потенциала 200 - 400 В для подачи первого из трех цветоиспускающих люминофорных материалов в виде сухого порошка структуры зерна. Теневая маска 25 вставляется в панель 12, а выборочные области фотопроводящего слоя 34, соответствующие местам, где будет наноситься люминофорный материал, испускающий зеленый цвет, экспонируют видимым светом из первого места в пределах маяка для выборочного разряда экпонированных областей. Первое положение света примерно равняется углу сходимости электронного луча зеленого цвета, падающего на люминофор. Теневая маска 25 удаляется с панели 12 и панель смещают к второму проявителю 42, содержащему соответственно подготовленные частицы сухого порошка материала экранной структуры люминофора, излучающего зеленый цвет. Частицы люминофора подвергают поверхностной обработке материалом, контролирующим заряд.

Предпочтительным материалом покрытия является желатин или аналогичное полимерное покрытие. Желатин герметизирует частицы люминофора и создает амидную функциональную группу, которая трибоэлектрически является положительной, когда смешивается с обработанными органофторсиланом несущими кромками. 1000 г поверхностно обработанных несущих кромок комбинируют с 15-25 г поверхностно обработанных частиц люминофора во втором проявителе 42. Положительно заряженные частицы люминофора, испускающие зеленый цвет, изгоняются из проявителя, отталкиваемые положительно заряженными областями фотопроводящего слоя 34 и матрицы 23 и наносятся на разряженные светоэкспонированные области фотопроводящего слоя во время процесса, известного под названием обратного проявления. Нанесенные частицы люминофора, излучающие зеленый свет, фиксируются на фотопроводящем слое, как это описано выше.

Фотопроводящий слой 34, матрица 23 и зеленый люминофорный слой единообразно перезаряжаются на положительный потенциал порядка 200-400 В для нанесения люминофорного экранного структурного материала, излучающего синий цвет. Теневую маску вставляют в панель 12 и выборочные области фотопроводящего слоя 34 облучают видимым светом из второго положения в пределах маяка, которое примерно равно углу сходимости сталкивающегося с синим люминофором электронного луча для выборочного разряда облученных областей. Теневая маска 25 удаляется из панели 12 и панель перемещают к третьему проявителю 42, содержащему соответственно подготовленные частицы сухого порошка экранного структурного материала, излучающего синий цвет люминофора. Частицы люминофора поверхностно обрабатывают подходящим материалом с контролируемым зарядом типа желатина, который создает положительный заряд на частицах люминофора при смешивании посредством соответственно подготовленных несущих кромок с обработанной поверхностью. Трибоэлектрически положительно заряженные испускающие синий цвет частицы люминофора в виде сухого порошка извлекаются из третьего проявителя 42, отталкиваются положительно заряженными областями фотопроводящего слоя 34, матрицей 23 и материалом зеленого люминофора и наносятся на разряженные светоэкспонированные области фотопроводящего слоя. Нанесенные частицы испускающего синий цвет люминофора фиксируются на фотопроводящем слое.

Процесс заряда, экспонирования, проявления и фиксирования повторяют снова для испускающих красный цвет поверхностно обработанных частиц люминофора экранного структурного материала в виде сухого порошка. Экспонирование видимым светом для выборочного разряда положительно заряженных областей фотопроводящего слоя 34 производится из третьего положения в пределах маяка, который примерно равен углу сходимости красных электронных лучей, попадающих на люминофор. Трибоэлектрически положительно заряженные испускающие красный цвет частицы люминофора в виде сухого порошка смешивают с поверхностно обработанными несущими кромками в пропорции, описанной выше, и вытесняют из четвертого проявителя 42, так как они отталкиваются положительно заряженными областями предварительно нанесенных экранных структурных материалов, и наносят на разряженные области фотопроводящего слоя 34.

Люминофор фиксируется за счет экспонирования каждого последующего нанесения светоизлучающего люминофорного материала инфракрасным излучением, которое плавит или термически связывает полимерную составляющую с фотопроводящим слоем. Вслед за фиксированием испускающего красный цвет люминофорного материала распыленная пленка лака накладывается обычными средствами на экранные структурные материалы, а затем тонкая алюминиевая пленка наносится в парообразном виде на лаковую пленку.

Лицевую панель 12 отжигают в воздушной атмосфере при температуре 425^оС примерно в течение 30 мин для отвода испаряющихся ингредиентов экрана, включая проводящий слой 32, фотопроводящий слой 34 и растворитель, присутствующий как и экранных структурных материалах, так и в пленочном лаке. Полученная экранная конструкция обладает высокой разрешающей способностью (до 0,1 мм может быть ширина линии, полученная с использованием мишени разрешения), более высокой степенью освещенности, чем при обычной влажной обработке экрана, и более высокой чистотой цвета ввиду меньшей перекрестной загрязненности люминофорных материалов.

Представленная на фиг.10 блок-схема сухого электрофотографического процесса нанесения черной матрицы включает следующие этапы (указаны также устройства и материалы): 1 - 12 промывка (нагреватель - вода) промывочная панель - Кислота Каустик); 13 - 20 - наложение полимерного проводника и фотопроводника; 21, 22 - сушка и охлаждение (нагреватель); 23 - заряд пульсирующим током; 24 - экспонирование (оптика 3 в 1 для черной матрицы - маяк (один)); 25, 26 - проявление черной матрицы; 27 - фиксирование (устройство инфракрасного расплавления).

На фиг. 11 приведены этапы блок-схемы сухого электрофотографического процесса нанесения люминофоров: 1-2 - зарядка (устройство заряда пульсирующим током); 3 - экспонирование (зеленая оптика); 4 - 6 - проявление (проявитель зеленого цвета); 7 - фиксирование (инфракрасное расплавление); 8 - зарядка (устройство заряда пульсирующим током); 9 - экспонирование (синяя оптика); 10, 11 - проявление (проявитель синего цвета); 12 - фиксирование (устройство инфракрасного расплавления); 13, 14 - зарядка (устройство заряда пульсирующим током); 15 - экспонирование (красная оптика); 16 - 19 - проявление (проявитель красного цвета); 20 - фиксирование (устройство инфракрасного расплавления); 21 - наложение лака; 22 - алюминирование; 23 - спекание панели.

Время изготовления, необходимое для проведения электрофотографической сухой обработки экранов, меньше, чем при обычной влажной обработке. При сухом процессе не требуются этапы просушки, а фотопроводящий слой на порядок более чувствительный, чем материалы, используемые при влажном процессе, так что требуются только миллисекунды экспозиции ксеноновой лампой-вспышкой для проведения этапов экспонирования. Кроме того, для маяка не требуется дополнительное охлаждение, так как время экспонирования короткое. Таким образом, способ позволяет получить более высокую производительность изделия с использованием более чистого, эффективного процесса и значительно снизить стоимость.

Данный способ может быть модифицирован в пределах объема данного изобретения. Например, фотопроводящий слой может быть заряжен отрицательно и после экспонирования под тремя цветовыми полями отрицательно заряженная картинка может быть проявлена положительно заряженным черным матричным материалом в виде сухого порошка. Частицы люминофора также могут быть заряжены отрицательно в зависимости от используемого материала на несущих кромках и частиц люминофора, управляющих трибоэлектрическим зарядом. В качестве альтернативы может применяться обычный процесс влажного нанесения для образования светопоглощающей черной матрицы, а затем может использоваться новый электрофотографический процесс для нанесения трибоэлектрически заряженных люминофорных материалов в форме сухого порошка.

Использование: электронная техника, технология изготовления люминесцентных экранов для цветных электронно-лучевых трубок. Сущность изобретения: способ содержит этапы последовательного покрытия подложки электропроводящим слоем и наложения на него фотопроводящего слоя, установления электростатического заряда на фотопроводящем слое и экспонирования выбоърочных областей фотопроводящего слоя видимым светом для наведения на нем заряда. Затем фотопроводящий слой проявляют заряженным экраном структурным материалом в виде сухого порошка, имеющим по меньшей мере контрольный агент поверхностного заряда для управления трибоэлектрическим зарядом экранного структурного материала. 11 ил.

СПОСОБ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНСТРУКЦИИ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА НА ПОДЛОЖКЕ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКЕ, включающий покрытие подложки электропроводящим слоем, нанесение фотопроводящего слоя на этот электропроводящий слой, затем последовательное нанесение матрицы светопоглощающего покрытия и/или каждого из люминофоров различных цветов свечения, включающее для каждого из структурных материалов установление электростатического заряда на фотопроводящем слое, экспонирование выбранных областей фотопроводящего слоя видимым светом для создания на нем заряда и проявление фотопроводящего слоя заряженным структурным материалом с агентом контроля поверхностного заряда, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности конструкции люминесцентного экрана, структурный материал для проявления используют в виде сухого порошка, а в качестве агента контроля поверхностного заряда используют агент для контроля трибоэлектрического заряда.