УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Российский патент 1995 года по МПК C23C14/50 

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения покрытий ионно-плазменным напылением защитно-упрочняющих и декоративных покрытий на изделиях из различных материалов и может быть использовано в различных отраслях народного хозяйства.

Известна установка [1] состоящая из вакуумной камеры со шлюзом и рядом рабочих камер с герметизационными приспособлениями между ними, каждая из которых соединяется с вакуумной камерой герметизационными отверстиями.

Однако такая камера сложна в изготовлении и эксплуатации.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению техническим решением является установка [2] состоящая из загрузочной камеры, двух шлюзовых затворов, четырех камер напыления с затворами между ними и выгрузочной камеры.

Недостатками этой установки являются также сложность конструкции и эксплуатации и большая материалоемкость.

Цель изобретения повышение производительности, упрощение конструкции и эксплуатации.

Для этого в кольцевой вакуумной камере на направляющих с возможностью перемещения на катках установлен ряд шарнирно соединенных между собой подложкодержателей с подложками, образующих замкнутый конвейер, механизмы его цикличного передвижения и механизм вращения подложек, причем камера снабжена дополнительными вертикальными и горизонтальными люками с заглушками, а ее крышка выполнена цельносъемной.

На фиг. 1 изображено устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, вид сверху; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1 (ионно-плазменные источники условно не показаны).

Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме состоит из вакуумной камеры 1 в виде кольца коробчатого сечения, цельносъемной крышки 2, подложкодержателей 3 с подложками 4, установленными на катках 5, размещенных на направляющих 6 и соединенных между собой шарнирами 7 в виде замкнутого конвейера, механизма 8 циклического передвижения, механизма 9 вращения подложек, ионно-плазменных источников 10, системы 11 вакуумной двухступенчатой откачки, вертикальных и горизонтальных люков 12 с заглушками, загрузочных 13 и выгрузочных 14 люков со смотровыми окнами 15, натекателей 16 газа и источников 17 подогрева.

Устройство работает следующим образом.

После установки необходимого количества в люках 12 ионно-плазменных источников 10 из различных компонентов в крышке 2 и боковой стенке камеры 1 через загрузочный люк 13 со смотровым окном 15 устанавливаются подложки 4, циклично передвигая с помощью механизма 8 передвижения замкнутый конвейер, образованный соединенными с помощью шарниров 7 между собой подложкодержателями 3 на катках 5 по направляющим 6.

После достижения с помощью системы 11 двухступенчатой вакуумной откачки разрежения и напуска необходимого газа через натекатели 16 включаются подогреватели 17, против часовой стрелки циклично передвигается замкнутый конвейер и производится напыление поочередно каждым из ионно-плазменных источников 10, одновременно вращая во время остановки конвейера и напыления механизмом 9 вращения подложек 4. Выгрузка производится через выгрузочный люк 14.

Профилактический осмотр и ремонт устройства производится при снятой цельносъемной крышке 2.

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения ионно-плазменным напылением защитно-упрочняющих и декоративных покрытий на изделиях. Устройство содержит кольцевую вакуумную камеру, в которую через вертикальные и горизонтальные люки введены источники ионно-плазменного напыления. Подложки загружаются на кольцевую направляющую на катки, шарнирно соединенные в виде замкнутого конвейера, и поочередно, циклично передвигаются с помощью пульта управления мимо загрузочных люков. Выполнение крышки кольцевой камеры цельносъемной позволяет быстро открыть доступ к любому механизму, не разбирая всего устройства, что обусловливает простоту эксплуатации и позволяет проводить производительную обработку изделий и наносить качественные покрытия. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

1. УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащая вакуумную камеру с крышкой и размещенные в ней ионно-плазменные источники наносимого материала, механизм транспортирования подложек по направляющим, систему двусторонней вакуумной откачки, натекатели рабочего газа, механизм вращения подложек и нагреватели подложек, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности, упрощения конструкции и эксплуатации, вакуумная камера выполнена цилиндрической с кольцевым поперечным сечением, направляющие имеют форму кольца, подложки установлены на катках, размещенных на направляющих и шарнирно соединенных между собой с образованием замкнутого конвейера, а механизм транспортирования подложек выполнен в виде механизма циклического передвижения конвейера катков. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что, с целью нанесения многокомпонентных покрытий, вакуумная камера снабжена вертикальными и горизонтальными люками с заглушками для размещения в каждом из них ионно-плазменного источника. 3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что крышка камеры выполнена цельносъемной.