СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП (ВАРИАНТЫ), ЕГО ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ЮСТИРОВКИ КАНТИЛЕВЕРА Российский патент 1997 года по МПК G02B21/00 

1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, кантилевер и иглу сканирующего туннельного микроскопа, отличающийся тем, что кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа закреплены на дополнительно введенном столике, установленном в измерительной головке с возможностью перемещения, а канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микроскопа.

2. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа, отличающийся тем, что чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа выполнены в виде комбинированного зонда, включающего держатель кантилевера с закрепленным на нем кантилевером из магнитного или ферромагнитного проводящего материала и электромагнитной катушкой с магнитопроводом, соединяющим электромагнитную катушку и кантилевер, при этом канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение входа канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микросокпа.

3. Чувствительный элемент сканирующего зондового микроскопа, содержащий кантилевер, закрепленный на держателе, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде комбинированного зонда, включающего электромагнитную катушку и магнитопровод, установленные на держателе, при этом магнитопровод соединяет электромагнитную катушку с кантилевером, выполненным из магнитного или ферромагнитного проводящего материала.

4. Способ юстировки кантилевера, включающий подведение кантилевера с помощью двигательных элементов под луч лазера и подведение фотодатчика отклонения отраженного луча лазера, контроль сдвига фотодатчика по электрическому сигналу на основании данных предварительно проведенной калибровки, отличающийся тем, что после наводки луча лазера на кантилевер и перед проведением измерений двигательные элементы отводят от столика, на котором укреплены кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа, или от столика с комбинированным зондом, оставляя его в ненапряженном состоянии.