СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ Российский патент 1997 года по МПК H01J9/22 

Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности, к производству люминесцентных экранов для электронно-оптических преобразователей.

Известен способ изготовления катодолюминесцентного экрана, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия методом вакуумного напыления и выжигание органической пленки (Берковский А.Г. Гаванин В.А. Зайдель Н.Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы, М. Энергия, 1976 г. с. 270 273). Недостатком известного способа изготовления экрана является то, что проводящий слой алюминия не обладает стойкостью к температурным воздействиям в высоком вакууме.

Известен также способ изготовления катодолюминесцентного экрана, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия методом термического распыления в вакууме, выжигание органической пленки (Шехмейстер Е.И. Общая технология электровакуумного производства, М. Высшая школа, 1984 г. с. 104 109, 124 - 132, прототип).

Недостатком известного способа изготовления катодолюминесцентного экрана является невысокое качество экрана из-за низкой стойкости проводящего слоя алюминия к температурным воздействиям в высоком вакууме, что в итоге приводит к браку по чистоте поля зрения и разрешающей способности экрана электронно-оптического преобразователя.

Техническое решение направлено на улучшение качества катодолюминесцентного экрана за счет повышения стойкости проводящего слоя алюминия к температурным воздействия в высоком вакууме.

Предлагаемый способ изготовления катодолюминесцентного экрана включает нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, прогрев органической пленки в вакууме и нанесение проводящего слоя алюминия, выжигание органической пленки. Предлагаемый способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно-оптического преобразователя отличается от прототипа тем, что проводящий слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 9,0)•10^-6 мм рт.ст. методом магнетронного распыления на предварительно прогретый в той же камере до температуры (170 180)^oC экран с нанесенной органической пленкой. Таким образом, заявляемый способ соответствует критерию "новизна". Сравнение заявляемого способа не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники, не позволило выявить в них признаки, отличающие заявляемый способ от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "изобретательский уровень".

Способ изготовления катодолюминесцентного экрана реализован следующим образом.

На стеклянную подложку наносят слой люминофора, например, методом осаждения. Затем люминесцентное покрытие дополнительно закрепляют двухпроцентным раствором силиката калия. Потом на слой люминофора наносят органическую пленку, которую отверждают облучением ультрафиолетовым светом. Источником ультрафиолета служит лампа ртутная ЛУФ4-1 со светофильтром УФС-2 толщиной 3 мм. Оптимальное время выдержки 10 минут, расстояние поверхности экрана от лампы 20 см. После облучения органической пленки экран алюминируют. Проводящий слой алюминия наносят на предварительно прогретый экран с органической пленкой в установке магнетронного распыления "Оратория-5". Распыление алюминия ведут на магнетроне в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 9,0)•10^-6 мм рт.ст. Люминесцентный экран с нанесенной органической пленкой перед распылением прогревают в той же камере до температуры 170 180^oC. В процессе напыления ток магнетрона поддерживают на уровне (4,0 ± 0,1) A. Время напыления 85 90 с. Ток магнетрона и время напыления определяют толщину проводящего слоя алюминия. Распыление на магнетроне дает более плотные, прочные и равномерные пленки алюминия. Предварительный прогрев экрана с нанесенной органической пленкой обеспечивает нанесение алюминия на подогретую поверхность, что улучшает адгезию пленки алюминия и позволяет повысить ее устойчивость к дальнейшим температурным воздействиям в высоком вакууме. Нижний предел 170^oC прогрева люминесцентного экрана с нанесенной органической пленкой ограничен получением необходимой устойчивости пленки алюминия к температурным воздействиям в высоком вакууме, а прогрев экрана до температуры свыше 180^oC приводит к выгоранию органической пленки. Предварительный прогрев экрана с нанесенной органической пленкой ведут со скоростью 8 град/мин. После нанесения на экран проводящего слоя алюминия органическую пленку выжигают на воздухе при температуре 360^oC в течение 20 мин.

Предлагаемый способ изготовления катодолюминесцентного экрана может быть использован и в производстве электронно-оптических преобразователей II и III поколений и позволяет получать более плотные и прочные проводящие слои алюминия, а главное, повысит стойкость экрана к повышенным температурным воздействиям в высоком вакууме, что в итоге позволяет снизить брак по чистоте поля зрения, повысить светоотдачу экрана на 15 20% и улучшить контраст изображения.

Использование: электровакуумная техника, в частности производство люминесцентных экранов для электронно-оптических преобразователей. Сущность изобретения: на подложку наносят слой люминофора, закрепляют его и наносят органическую пленку с последующим ее прогревом в вакууме, а затем - слой алюминия, после чего органическую пленку выжигают. Слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 - 9,0)•10^-6 тор методом магнетронного распыления на предварительно прогретый до 170 - 180^oC экран.

Способ изготовления катодолюминесцентного экрана электронно-оптического преобразователя, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, нанесение проводящего слоя алюминия, выжигание органической пленки, отличающийся тем, что проводящий слой алюминия наносят в атмосфере аргона при давлении в камере (7,0 9,0) • 10^- 6 мм рт.ст. методом магнетронного распыления на предварительно прогретый в той же камере до температуры 170 180^oС экран с нанесенной органической пленкой.