СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА Советский патент 1995 года по МПК H01J9/20 

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов и может быть использовано при изготовлении люминесцентных экранов электронно-оптических преобразователей.

Целью изобретения является увеличение выхода годных за счет уменьшения проницаемости пленки алюминия в результате увеличения ее плотности, механической прочности и коэффициента отражения, а также за счет более полного удаления органической пленки. Весь технологический цикл осуществляют последовательно за один прием вакуумирования.

Способ реализуется следующим образом.

При достижении в рабочем объеме с помощью средств откачки давления 1,33˙10^-4 Па на подложку термическим напылением наносят слой алюминия толщиной 5˙10^-2 мкм, что равно толщине второго наносимого слоя. Экспериментально подобранный режим напыления обеспечивает необходимую для получения оптической структуры скорость осаждения алюминия 1,3х10^-3 мкм/с. После нанесения первого слоя алюминия удаляют органическую пленку при 4-кратном чередовании вакуумной термообработки и обработке в плазме тлеющего разряда активной газовой среды. Нагревают подложку при давлении 3,99˙10^-3 Па со скоростью 25-35 град/мин до 360^оС, при которой следует выдержка в течение 6 мин. Затем в рабочий объем напускают сухой чистый воздух до давления 66,5 Па и возбуждают тлеющий разряд при напряжении 850 В и плотности тока 65 мА/см² в течение 3 мин. Температура подложки при этом 270-350^оС.

После удаления органической пленки рабочий объем откачивают до давления 66,5˙10^-3 Па. Температура подложки в результате охлаждения понижается, и при достижении 120^оС производят нанесение второго слоя алюминия со скоростью осаждения 4˙10^-3 мкм/с.

В случае нанесения второго слоя алюминия в среде инертного газа в рабочем объеме с помощью натекателя создают приток гелия при давлении 6,65 Па с расходом 4,5˙10^-2 л/Па˙с.

Данный способ позволяет повысить производительность труда на 30% при увеличении выхода годных в 2 раза, он прост в реализации и может быть осуществлен на стандартном оборудовании при введении необходимой оснастки.

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов. На подложку люминофора наносят первый слой алюминия со скоростью (1,0-1,5)·10^-3мкм/c при давлении остаточных газов 6,65·10^-4-6,65·10^-3Па. Удаляют органическую пленку при 1 5-кратном чередовании термообработки при температуре 300 380°С и давлении остаточных газов 1,33·10^-3-1,1·10^-2Па в течение 2 9 мин с обработкой в плазме тлеющего разряда с удельной мощностью на поверхности заготовки 25-100 Вт/см² и при давлении остаточных газов 6,65 133 Па в течение 1 5 мин. Наносят второй слой алюминия со скоростью (3-5)·10^-3мкм/с при температуре подложки 100 140°С и давлении остаточных газов 1,33·10^-3-1,33·10^-4Па или в инертном газе при давлении 1,33-1,33·10^-4Па например в протоке гелия с содержанием примесей 5·10^-4-5·10^-8об.%. Способ дает увеличенный выход годных. 2 з. п. ф-лы.

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА, включающий нанесение на подложку слоя люминофора, органической пленки, нанесение первого слоя алюминия в вакууме, удаление органической пленки, нанесение второго слоя алюминия в вакууме, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, первый слой алюминия наносят со скоростью 1,0 · 10^-3 1,5 · 10^-3 мкм/с при давлении остаточных газов 6,65 · 10^-4 6,65 · 10^-3 Па, при этом толщину первого слоя алюминия выбирают равной 0,6 1,5 толщины второго наносимого слоя алюминия, органическую пленку удаляют при 1 5-кратном чередовании термообработки при температуре 300 380^oС и давлении остаточных газов 1,33 · 10^-3 1,1 · 10^-2 Па в течение 2 - 9 мин с обработкой в плазме тлеющего разряда с удельной мощностью на поверхности заготовки 25 100 Вт/см² и при давлении остаточных газов 6,65 133 Па в течение 1 5 мин, а нанесение второго слоя алюминия осуществляют со скоростью 3,0 · 10^-3 5 · 10^-3 мкм/с при температуре подложки 100 140^oС давлении остаточных газов 1,33 · 10^-3 1,33 · 10^-4 Па или в инертном газе при давлении 1,33 1,33 · 10^-1 Па. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что нанесение второго слоя алюминия осуществляют в притоке гелия с содержанием примесей 5 · 10^-9 5 · 10^-8 об. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве плазмообразующего газа используют воздух или кислород.