Изобретение относится к аналитическим приборам и может быть использовано при производстве датчиков влажности емкостного типа.
Известен датчик влажности, включающий диэлектрическую подложку, влагочувствительный элемент и электродные структуры [1] Эти датчики сложны в изготовлении и требуют специальных дорогостоящих материалов, а потому не находят широкого применения.
Наиболее близким к описываемому является датчик влажности [2] содержащий влагочувствительный слой, размещенный между двумя измерительными электродами. Известный датчик имеет простую конструкцию и несложную технологию производства. Однако из-за низкой сорбционной способности чувствительного элемента по отношению к водяным парам он обладает большой погрешностью измерений и низкой чувствительностью, что затрудняет его применение в условиях резкого изменения влажности, например, для измерения точки росы.
Таким образом, технический результат, получаемый при реализации описываемого изобретения, заключается в повышении точности измерений и расширении области использования датчиков влажности.
Указанный технический результат достигается тем, что в датчике влажности, содержащем влагочувствительный слой, размещенный между двумя измерительными электродами, влагочувствительный слой является электретом и выполнен в виде оксида материала, из которого изготовлен первый электрод, а второй электрод выполнен из проницаемого для паров воды материала, электропроводность которого выше электропроводности влагочувствительного слоя.
При этом первый электрод может быть выполнен в виде матрицы и является одновременно нагревателем.
Повышенная сорбционная способность чувствительного слоя по отношению к парам воды достигается благодаря использованию материала с выраженным электретным эффектом. Электретный эффект в общем случае проявляется в электрических полях внутри электрета, а также в окружающем его пространстве. В электрическом поле электрета возможна дипольная поляризация молекул воды, вследствие чего происходит их притяжение, а затем сорбция на поверхность электрета. Процесс сорбции происходит тем интенсивнее, чем выше напряженность электрического поля в окружающем пространстве.
Интенсификация процесса испарения с чувствительного слоя при капельном попадании влаги на его поверхность достигается за счет искусственного подогрева датчика электрическим током, протекающим через первый электрод.
Изобретение поясняется чертежом, где на фиг.1 представлена конструкция датчика, а на фиг.2 зависимость емкости датчика от относительной влажности воздуха.
Первый измерительный электрод 1 с одной стороны покрыт слоем 2 диэлектрика, а с другой стороны влагочувствительным слоем 3, на поверхности которого размещен второй измерительный электрод 4. Первый измерительный электрод 1 и второй измерительный электрод 4 посредством выводов 5 и 6 соответственно подсоединены к измерительной цепи. В случае использования первого измерительного электрода 1 в качестве нагревателя его подключают к нагревательной цепи посредством выводов 5 и 7.
Первый электрод 1 выполнен в виде металлической матрицы, например, из циркония. Влагочувствительный слой 3 является электретом и представляет собой пленку, в данном случае оксида циркония. Второй измерительный электрод 4 выполнен из проницаемого для паров воды материала, электропроводность которого выше электропроводности влагочувствительного слоя 3, например из оксида другого металла, удовлетворяющего этому условию.
Первый измерительный электрод 1 металлическая матрица, влагочувствительный слой 3 и второй измерительный электрод 4 представляют собой конденсатор, образующий датчик влажности.
Описываемый датчик влажности изготавливают следующим образом.
Первый измерительный электрод изготавливают в виде прямоугольной матрицы из циркония. К торцам матрицы, например, посредством сварки присоединяют выводы 5 и 7 и в таком виде матрицу подвергают нагреванию в окислительной среде, в качестве которой используют кислород, до температуры 500 600oC, после чего производят выдержку при этой температуре в течение 9 10 ч. На поверхности матрицы получают влагочувствительный слой 3 в виде пленки оксида циркония толщиной несколько мкм. Известно, что в этом случае разность потенциалов, возникающая между фазовыми границами "металл-оксид металла", составляет порядка 0,655 В. Напряженность собственного поля, возникающего в оксидной пленке в процессе термического окисления, составляет величину порядка 0,5•104 В/см, что сравнимо с напряженностью внешнего поля, формирующего электретный эффект в диэлектриках. Таким образом, полученный влагочувствительный слой 3 является электретом. На поверхность влагочувствительного слоя наносят второй измерительный электрод 4 в виде пасты, например оксида никеля, легированного литием, с последующим ее вжиганием, после чего к нему приваривают вывод 6 для снятия сигнала.
На фиг.2 приведена зависимость емкости датчика влажности, изготовленного описанным выше способом, от относительной влажности воздуха, измеренная при температуре 30oC на частоте 100 кГц. В качестве сред с известной влажностью использовались насыщенные растворы солей. В качестве влагочувствительного слоя 3 использовалась пленка оксида циркония площадью 1 см2, не содержащая сквозных локальных участков проводимости.
В диапазоне относительной влажности 12 63 график имеет значительную крутизну и хорошо сглаживается экспоненциальной функцией вида:
C C0 exp/af/,
где C0 и a параметры уравнения,
f относительная влажность /%/.
При капельном увлажнении поверхности чувствительного слоя происходит десятикратное увеличение емкости по сравнению с соответствующим значением для влажности 63%
Описываемый датчик влажности прост в изготовлении, не требует дорогостоящих материалов и обладает высокой чувствительностью, что позволяет с достаточной степенью точности измерять относительную влажность воздуха, содержание влаги в твердых телах, а также определять точку росы. Датчик может быть использован в качестве реле-регулятора для управления включением/выключением стеклоочистителей.
Литература, принятая во внимание
Патент ЕПВ N 0241761, кл. G 01 N 27/22, опубл. 1987.
Измерения в промышленности. Справочник под ред. проф. П. Профоса. М. Металлургия, 1990, т.3, с.139 140.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ГАЗОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК | 1995 |
|
RU2092828C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ КИСЛОРОДА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1995 |
|
RU2092827C1 |
СПОСОБ ПОСЛОЙНОГО ЛАЗЕРНОГО СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА | 1997 |
|
RU2110777C1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКЛОННОСТИ ЦИРКОНИЕВЫХ СПЛАВОВ К НОДУЛЬНОЙ КОРРОЗИИ | 1990 |
|
RU2036465C1 |
ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ | 2023 |
|
RU2826793C1 |
ЕМКОСТНЫЙ СЕНСОР ВЛАЖНОСТИ ГАЗООБРАЗНОЙ СРЕДЫ | 2015 |
|
RU2602489C1 |
АВТОНОМНАЯ МАЛОГАБАРИТНАЯ СТАНЦИЯ ДЛЯ РЕГЕНЕРАЦИИ КСЕНОНА ИЗ ОТРАБОТАННЫХ ГАЗОНАРКОТИЧЕСКИХ СМЕСЕЙ | 2000 |
|
RU2181604C1 |
СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ КСЕНОНА ИЗ ГАЗОНАРКОТИЧЕСКОЙ СМЕСИ НАРКОЗНЫХ АППАРАТОВ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1997 |
|
RU2149033C1 |
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЦИРКОНИЕВЫХ СПЛАВОВ | 2000 |
|
RU2199607C2 |
УСТРОЙСТВО НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА СТЕНОК ТРУБ | 1990 |
|
RU2037815C1 |
Использование: в аналитических приборах для измерения относительной влажности газов и твердых материалов. Сущность изобретения: датчик влажности конденсаторного типа содержит два измерительных электрода, между которыми размещен влагочувствительный слой в виде пленки оксида материала, из которого изготовлен первый измерительный электрод, являющийся электретом. Второй измерительный электрод выполнен из материала, проницаемого для паров воды, и его электропроводность выше электропроводности влагочувствительного слоя. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ ПИРГЕЛИОМЕТР | 0 |
|
SU241761A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Измерения в промышленности / Справочник под ред | |||
проф | |||
П.Профоса | |||
- М.: Металлругия, 1990, т | |||
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. | 1921 |
|
SU3A1 |
Авторы
Даты
1997-11-20—Публикация
1996-06-14—Подача