ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА Российский патент 2004 года по МПК G01P15/08 

Описание патента на изобретение RU2231795C1

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах и микрогироскопах.

Известен чувствительный элемент интегрального акселерометра [1], который содержит маятник и упругие подвесы, соединяющие маятник с рамкой чувствительного элемента, которая крепится к основанию в нескольких точках.

Недостатком такого чувствительного элемента является низкая точность, связанная с возникновением контактных напряжений в местах крепления рамки чувствительного элемента.

Известен также чувствительный элемент интегрального акселерометра [2], содержащий кремниевый проводящий маятник, соединенный с помощью упругих подвесов с рамкой, которая одновременно выполняет роль жесткого каркаса чувствительного элемента, при этом опорные крепления для анодного соединения чувствительного элемента с неподвижным основанием акселерометра расположены на рамке.

Недостатком данного устройства является нестабильность смещения нулевого сигнала вследствие высокого уровня контактных напряжений, возникающих в местах расположения опор крепления, а следовательно, снижается точность прибора в целом.

Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является снижение контактных напряжений в рамке чувствительного элемента, как следствие, повышение точности акселерометра.

Для достижения поставленной задачи в чувствительный элемент интегрального акселерометра, содержащий кремниевый проводящий маятник, соединенный упругими подвесами с каркасной рамкой, согласно изобретению введена центральная опора крепления, жестко соединенная с неподвижным основанием акселерометра, помещенная в центре тяжести маятника и отделенная от него равномерным зазором, и консольная балка, одним концом жестко соединенная с центральной опорой крепления, а другим с каркасной рамкой, при этом неподвижное основание акселерометра отделено от каркасной рамки, маятника и консольной балки зазором.

Существенным отличием заявленного устройства по сравнению с известным является то, что крепление чувствительного элемента интегрального акселерометра к неподвижному основанию осуществляется не с помощью нескольких (три и более) опор, размещенных по контуру каркасной рамки, а только с помощью одной центральной опоры крепления, соединенной с каркасной рамкой консольной балкой и отделенной от маятника равномерным зазором. Исключение нескольких точек крепления каркасной рамки, по сравнению с прототипом, резко снижает чувствительность к различным вредным воздействиям, тем самым повышается точность прибора в целом.

Предлагаемый чувствительный элемент интегрального акселерометра иллюстрируется чертежами, представленными на фиг.1 и 2. На каркасной рамке 1 с помощью упругих подвесов 2 подвешен маятник 3 в виде прямоугольной пластины с вырезом в центре. Вырез в центре предназначен для размещения центральной опоры 5 крепления, соединенной с каркасной рамкой 1 консолью 4. От маятника 3 центральная опора 5 крепления и консольная балка 4 отделены равномерным зазором. Все перечисленные узлы представляют одну монолитную деталь, выполненную из проводящего кремния с помощью анизотропного травления по фотошаблонам. Центральная опора 5 жестко соединяется с неподвижным основанием 6 акселерометра (см. фиг.2). Центр тяжести маятника 3 при температурных расширениях чувствительного элемента всегда остается неподвижным относительно точки закрепления, поскольку удлинения со стороны подвесов 2 и со стороны консольной балки 4 направлены в разные стороны.

Устройство работает следующим образом. При действии ускорения вдоль оси, перпендикулярной к плоскости чертежа, маятник 3 поворачивается на угол, определяемый свойствами упругих элементов 2 и величиной измеряемого ускорения, и, измеряя отклонение маятника 3, можно судить о величине воздействующего ускорения.

Каркасная рамка 1 не имеет размещенных на ней опор крепления, напряжения в рамке 1 отсутствуют. Кроме того, поскольку каркасная рамка 1 соединена с опорой 5 крепления консольной балкой 4, то возможные напряжения, возникающие при изменении температуры, от точки крепления к упругим подвесам 2 не передаются. Отмеченные свойства подтверждают преимущества заявляемого изобретения перед известными решениями.

Источники информации

1. Патент России №2126161, М.кл. G 01 P 15/13, 27 июня 1994.

2. Паршин В.Ф., Харитонов В.И. Особенности технологии мультисенсорных датчиков с нелегированными упругими подвесками // Датчики и системы. 2002. №2. С.22-24.

Похожие патенты RU2231795C1

название год авторы номер документа
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2008
  • Тимошенков Сергей Петрович
  • Чаплыгин Юрий Александрович
  • Миронов Сергей Геннадьевич
  • Шилов Валерий Федорович
  • Рубчиц Вадим Григорьевич
  • Морозова Елена Сергеевна
RU2379693C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2003
  • Былинкин С.Ф.
  • Вавилов В.Д.
  • Миронов С.Г.
RU2246734C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОСИСТЕМНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2009
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
  • Вавилов Иван Владимирович
RU2426134C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2013
  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • Прилуцкая Светлана Владиславовна
RU2526789C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ УГЛОВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2011
  • Былинкин Сергей Федорович
  • Шипунов Андрей Николаевич
RU2489722C1
Чувствительный элемент углового акселерометра 2018
  • Гаврилов Александр Александрович
  • Шипунов Андрей Николаевич
  • Былинкин Сергей Федорович
RU2710100C1
Чувствительный элемент углового акселерометра 2022
  • Гаврилов Александр Александрович
  • Шипунов Андрей Николаевич
RU2800399C1
Микромеханический акселерометр с низкой чувствительностью к термомеханическим воздействиям 2020
  • Косторной Андрей Николаевич
  • Миронов Сергей Геннадьевич
  • Аксенов Константин Сергеевич
  • Брыкало Сергей Сергеевич
  • Ткачев Александр Вячеславович
  • Кашаев Александр Александрович
  • Малыгин Сергей Владимирович
RU2746762C1
МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР 2012
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
RU2490650C1
Микромеханический акселерометр с высокой устойчивостью к термомеханическим напряжениям 2021
  • Косторной Андрей Николаевич
  • Аксенов Константин Сергеевич
  • Брыкало Сергей Сергеевич
  • Ткачев Александр Вячеславович
  • Кашаев Александр Александрович
  • Малыгин Сергей Владимирович
  • Большаков Дмитрий Сергеевич
RU2774824C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 231 795 C1

Реферат патента 2004 года ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА

Изобретение относится к измерительной технике. Чувствительный элемент интегрального акселерометра, выполненный из проводящего монокристаллического кремния, содержит маятник 3, соединенный с помощью упругих подвесов 2 с каркасной рамкой 1, и центральную опору 5 крепления с неподвижным основанием 6, которая соединена с каркасной рамкой 1 с помощью консоли 4. Техническим результатом является снижение влияния температурных напряжений на нулевое положение маятника. 2 ил.

Формула изобретения RU 2 231 795 C1

Чувствительный элемент интегрального акселерометра, содержащий кремниевый проводящий маятник, соединенный упругими подвесами с каркасной рамкой, отличающийся тем, что в чувствительный элемент введена центральная опора крепления, жестко соединенная с неподвижным основанием акселерометра, помещенная в центре тяжести маятника и отделенная от него равномерным зазором, и консольная балка, одним концом жестко соединенная с центральной опорой крепления, а другим - с каркасной рамкой, при этом неподвижное основание акселерометра отделено от каркасной рамки, маятника и консольной балки зазором.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2004 года RU2231795C1

КОМПЕНСАЦИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР 1994
  • Коновалов С.Ф.(Ru)
  • Новоселов Г.М.(Ru)
  • Ли Чжон О
  • О Чжун Хо
  • Полынков А.В.(Ru)
  • Ли Кван Суп
RU2126161C1
ПАРШИН В.А
и др
Особенности технологии мультисенсорных датчиков с нелегированными упругими подвесами
Датчики и системы, 2002, №2, с.22-24
ДАТЧИК ИНЕРЦИАЛЬНОЙ ПЕРВИЧНОЙ ИНФОРМАЦИИ 1992
  • Соловьев В.М.
  • Баженов В.И.
RU2119645C1
Прибор для определения вязкости пластических и тестообразных масс 1929
  • Оржеховский В.В.
SU22331A1
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1

RU 2 231 795 C1

Авторы

Былинкин С.Ф.

Вавилов И.В.

Миронов С.Г.

Даты

2004-06-27Публикация

2002-12-10Подача