СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК Российский патент 2010 года по МПК H01L21/316 

Описание патента на изобретение RU2378739C2

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов, в частности к способам получения пленок, содержащих бор на поверхности полупроводниковых материалов.

Известны способы диффузии бора из твердого источника диффузии - окиси бора, борной кислоты, нитрида бора при температурах выше 1000°С [1].

Основным недостатком этого способа являются высокая температура и сложная технология процесса, которая требует применения материалов и оборудования с высокой термической устойчивостью.

Целью изобретения является снижение температуры процесса.

Поставленная цель достигается тем, что в качестве компонентов газа используют азот, кислород, водород при следующем расходе компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; Н2 - 7,5 л/ч; а температуру подложки поддерживают в интервале 700-800°С.

Сущность способа заключается в том, что на поверхности подложки формируют легированный бором слой двуокиси кремния при температурах 700-800°С. Твердые планарные источники (ТПИ) для диффузии бора создают в реакционной камере пары окиси бора В2O3, молекулы которой диффундируют к поверхности кремниевых пластин и взаимодействуют с кремнием, образуя на его поверхности пленку боросиликатного стекла.

Режимы проведения процесса обусловлены тем, что при температуре выше 800°С, на поверхности пластин появляются кристаллические дефекты, ухудшая качество образующейся пленки, и увеличивается разброс поверхностного сопротивления.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.

ПРИМЕР 1: Процесс проводят в реакторе, кремниевые пластины размещают в кварцевой лодочке совместно с твердым планарным источником. Эти пластины нагревают до температуры 700° в среде азота и кислорода, затем подают водород, с последующим расходом компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; Н2 - 7,5 л/ч.

Все опыты проводились при атмосферном давлении. При этом на подложке формируется легированный бором слой двуокиси кремния. Плотность слоя двуокиси кремния составляет 2,18…2,24 г/см3, показатель преломления 1,43…1,44.

ПРИМЕР 2: Способ осуществляют аналогично условию примера 1. Процесс проводят при следующем соотношении компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; H2 - 7,5 л/ч; при температуре 750°С. При этом получают легированный бором слой двуокиси кремния с плотностью 2,16…2,23 г/см3 и показателем преломления 1,44…1,46.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипом позволяет снизить температуру получения слоев двуокиси кремния легированных бором без ухудшения основных показателей и существенно упрощает технологию процесса.

Литература

1. Технология микроэлектронных устройств. Готра З.Ю. М.: Радио и связь, 1991 г., стр.527.

Похожие патенты RU2378739C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА 2006
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шангереева Бийке Алиевна
  • Шахмаева Айшат Расуловна
RU2361316C2
СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ Р-ОБЛАСТИ 2013
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шангереева Бийке Алиевна
  • Шангереев Юсуп Пахрутдинович
  • Муртазалиев Азамат Ибрагимович
RU2524151C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ 1982
  • Манжа Н.М.
  • Ячменев В.В.
  • Кокин В.Н.
  • Сулимин А.Д.
  • Шурчков И.О.
SU1111634A1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАТВОРНОЙ ОБЛАСТИ СИЛОВОГО ТРАНЗИСТОРА 2014
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шахмаева Айшат Расуловна
  • Захарова Патимат Расуловна
RU2594652C1
МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ 2010
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Гаджиев Хаджимурат Магомедович
  • Гаджиева Солтанат Магомедовна
  • Шангереева Бийке Алиевна
RU2449413C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ АВТОЭМИССИОННЫХ ТРУБЧАТЫХ КАТОДОВ НА ОСНОВЕ ЛЕГИРОВАННЫХ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК 2022
  • Вихарев Анатолий Леонтьевич
  • Богданов Сергей Александрович
  • Охапкин Андрей Игоревич
  • Ухов Антон Николаевич
  • Филатов Евгений Александрович
RU2784410C1
СПОСОБ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА ИЗ ТВЕРДОГО ПЛАНАРНОГО ИСТОЧНИКА 2008
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шангереева Бийке Алиевна
  • Шахмаева Айшат Расуловна
RU2359355C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОАКТИВНОЙ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ 2013
  • Чеботарев Сергей Николаевич
  • Пащенко Александр Сергеевич
  • Ирха Владимир Александрович
RU2599769C2
Способ получения боросиликатных слоев в производстве изготовления мощных транзисторов 2020
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шангереева Бийке Алиевна
  • Шахмаева Айшат Расуловна
RU2786376C2
ДИФФУЗИЯ ФОСФОРА ИЗ НИТРИДА ФОСФОРА (PN) 2013
  • Исмаилов Тагир Абдурашидович
  • Шангереева Бийке Алиевна
  • Шангереев Юсуп Пахрутдинович
  • Муртазалиев Азамат Ибрагимович
RU2524140C1

Реферат патента 2010 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов, в частности к способам получения пленок, содержащих бор на поверхности полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: в способе получения боросиликатных пленок, включающем осаждение пленок на нагретые кремниевые подложки из газовой фазы, содержащей соединения бора, в качестве источника бора используют твердый планарный источник - нитрид бора, пленку осаждают из газовой фазы дополнительно содержащей азот, кислород и водород при следующем расходе указанных компонентов: N2 - 240 л/ч, О2 - 120 л/ч, Н2 - 7,5 л/ч, а температуру подложек поддерживают в интервале 700-800°С. Техническими результатом изобретения является снижение температуры процесса.

Формула изобретения RU 2 378 739 C2

Способ получения боросиликатных пленок, включающий осаждение пленок на нагретые кремниевые подложки из газовой фазы, содержащей соединения бора, отличающийся тем, что в качестве источника бора используют твердый планарный источник - нитрид бора, пленку осаждают из газовой фазы дополнительно содержащей азот, кислород и водород при следующем расходе указанных компонентов: N2 - 240 л/ч, О2 - 120 л/ч, H2 - 7,5 л/ч, а температуру подложек поддерживают в интервале 700-800°С.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2010 года RU2378739C2

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК 1994
  • Саркаров Т.Э.
  • Хаспулатов Х.А.
  • Исабеков И.М.
RU2129321C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОФОСФОРСИЛИКАТНЫХ ПЛЕНОК 1999
  • Шахмаева А.Р.
  • Исмаилов Т.А.
  • Саркаров Т.Э.
  • Гаджиев Х.М.
  • Гаджиева С.М.
RU2173912C2
RU 2003118535 A, 10.12.2004
US 6812162 B2, 02.11.2004
US 4944784 A, 31.07.1990
US 4891247 A, 02.01.1990.

RU 2 378 739 C2

Авторы

Исмаилов Тагир Абдурашидович

Шахмаева Айшат Расуловна

Шангереева Бийке Алиевна

Даты

2010-01-10Публикация

2006-06-14Подача