Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов, в частности к способам получения пленок, содержащих бор на поверхности полупроводниковых материалов.
Известны способы диффузии бора из твердого источника диффузии - окиси бора, борной кислоты, нитрида бора при температурах выше 1000°С [1].
Основным недостатком этого способа являются высокая температура и сложная технология процесса, которая требует применения материалов и оборудования с высокой термической устойчивостью.
Целью изобретения является снижение температуры процесса.
Поставленная цель достигается тем, что в качестве компонентов газа используют азот, кислород, водород при следующем расходе компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; Н2 - 7,5 л/ч; а температуру подложки поддерживают в интервале 700-800°С.
Сущность способа заключается в том, что на поверхности подложки формируют легированный бором слой двуокиси кремния при температурах 700-800°С. Твердые планарные источники (ТПИ) для диффузии бора создают в реакционной камере пары окиси бора В2O3, молекулы которой диффундируют к поверхности кремниевых пластин и взаимодействуют с кремнием, образуя на его поверхности пленку боросиликатного стекла.
Режимы проведения процесса обусловлены тем, что при температуре выше 800°С, на поверхности пластин появляются кристаллические дефекты, ухудшая качество образующейся пленки, и увеличивается разброс поверхностного сопротивления.
Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.
ПРИМЕР 1: Процесс проводят в реакторе, кремниевые пластины размещают в кварцевой лодочке совместно с твердым планарным источником. Эти пластины нагревают до температуры 700° в среде азота и кислорода, затем подают водород, с последующим расходом компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; Н2 - 7,5 л/ч.
Все опыты проводились при атмосферном давлении. При этом на подложке формируется легированный бором слой двуокиси кремния. Плотность слоя двуокиси кремния составляет 2,18…2,24 г/см3, показатель преломления 1,43…1,44.
ПРИМЕР 2: Способ осуществляют аналогично условию примера 1. Процесс проводят при следующем соотношении компонентов: N2 - 240 л/ч; O2 - 120 л/ч; H2 - 7,5 л/ч; при температуре 750°С. При этом получают легированный бором слой двуокиси кремния с плотностью 2,16…2,23 г/см3 и показателем преломления 1,44…1,46.
Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипом позволяет снизить температуру получения слоев двуокиси кремния легированных бором без ухудшения основных показателей и существенно упрощает технологию процесса.
Литература
1. Технология микроэлектронных устройств. Готра З.Ю. М.: Радио и связь, 1991 г., стр.527.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА | 2006 |
|
RU2361316C2 |
СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ Р-ОБЛАСТИ | 2013 |
|
RU2524151C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ | 1982 |
|
SU1111634A1 |
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАТВОРНОЙ ОБЛАСТИ СИЛОВОГО ТРАНЗИСТОРА | 2014 |
|
RU2594652C1 |
МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ | 2010 |
|
RU2449413C2 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ АВТОЭМИССИОННЫХ ТРУБЧАТЫХ КАТОДОВ НА ОСНОВЕ ЛЕГИРОВАННЫХ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК | 2022 |
|
RU2784410C1 |
СПОСОБ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА ИЗ ТВЕРДОГО ПЛАНАРНОГО ИСТОЧНИКА | 2008 |
|
RU2359355C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОАКТИВНОЙ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 2013 |
|
RU2599769C2 |
Способ получения боросиликатных слоев в производстве изготовления мощных транзисторов | 2020 |
|
RU2786376C2 |
ДИФФУЗИЯ ФОСФОРА ИЗ НИТРИДА ФОСФОРА (PN) | 2013 |
|
RU2524140C1 |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов, в частности к способам получения пленок, содержащих бор на поверхности полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: в способе получения боросиликатных пленок, включающем осаждение пленок на нагретые кремниевые подложки из газовой фазы, содержащей соединения бора, в качестве источника бора используют твердый планарный источник - нитрид бора, пленку осаждают из газовой фазы дополнительно содержащей азот, кислород и водород при следующем расходе указанных компонентов: N2 - 240 л/ч, О2 - 120 л/ч, Н2 - 7,5 л/ч, а температуру подложек поддерживают в интервале 700-800°С. Техническими результатом изобретения является снижение температуры процесса.
Способ получения боросиликатных пленок, включающий осаждение пленок на нагретые кремниевые подложки из газовой фазы, содержащей соединения бора, отличающийся тем, что в качестве источника бора используют твердый планарный источник - нитрид бора, пленку осаждают из газовой фазы дополнительно содержащей азот, кислород и водород при следующем расходе указанных компонентов: N2 - 240 л/ч, О2 - 120 л/ч, H2 - 7,5 л/ч, а температуру подложек поддерживают в интервале 700-800°С.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК | 1994 |
|
RU2129321C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОФОСФОРСИЛИКАТНЫХ ПЛЕНОК | 1999 |
|
RU2173912C2 |
RU 2003118535 A, 10.12.2004 | |||
US 6812162 B2, 02.11.2004 | |||
US 4944784 A, 31.07.1990 | |||
US 4891247 A, 02.01.1990. |
Авторы
Даты
2010-01-10—Публикация
2006-06-14—Подача