СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК Российский патент 2014 года по МПК G01N19/08 

Описание патента на изобретение RU2515117C1

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве дифракционных микропрофилей.

Известен способ (А.С. №1260752, МПК G01N 13/02, опубл. 30.09.1986) определения чистоты поверхности подложки путем измерения величины краевого угла смачивания каплей жидкости, помещенной на плоскую подложку.

Однако такой способ определения чистоты поверхности очень трудоемкий, т.к. процесс растекания практически не прекращается в процессе измерения величины краевого угла. Кроме этого длительное взаимодействие жидкости с поверхностью подложки приводит к растворению в ее объеме чужеродных атомов, адсорбированных поверхностью подложки. Последнее изменяет свойство жидкости, а следовательно, и механизм растекания, изменяя этим величину краевого угла, т.е. увеличивает погрешность его измерения.

Известен способ (А.С. №1784868, МПК G01N 13/02, опубл. 30.12.1992) определения чистоты поверхности подложки по величине скорости растекания капли жидкости по поверхности плоской подложки.

Однако такой способ определения чистоты поверхности приводит к необратимому изменению свойств ее поверхности продуктами жидкости, т.е. приводит поверхность подложки в негодное состояние. Для устранения загрязнений, обусловленных водой, необходимо использовать после выполнения процесса измерения чистоты поверхности подложек жидкости особой чистоты. Выполнение этого требования значительно усложняет и удорожает процесс измерения.

Известен способ (Патент №2380684, МПК G01N 13/02, G01N 21/88, опубл. 27.01.2010) измерения чистоты поверхности подложек по параметрам растекания капли жидкости, нанесенной на расположенную под углом к горизонту подложку.

Однако такой способ определения чистоты поверхности также приводит к необратимому изменению свойств ее поверхности продуктами жидкости, т.е. приводит поверхность подложки в негодное состояние. Для устранения загрязнений обусловленных водой необходимо использовать после выполнения процесса измерения чистоты поверхности подложек жидкости особой чистоты. Выполнение этого требования значительно усложняет и удорожает процесс измерения.

Известен способ (А.С. №1821688, МПК G01N 13/02, 15.06.1993) определения чистоты поверхности подложек по величине скорости скольжения подложки-зонда (контртела) по поверхности исследуемой подложки.

Такой способ определения чистоты поверхности обладает высокой скоростью скольжения по всей поверхности подложки, что приводит к микронарушениям поверхности, которые ухудшают ее свойства и делают непригодной при использовании в микро- и наноэлектронике.

Наиболее близкий по технической сущности к предлагаемому, является способ (Патент №2307339, МПК G01N 19/08, 20.12.2006) измерения чистоты поверхности подложек по величине угла наклона поверхности исследуемой подложки относительно горизонтальной плоскости, при котором происходит скольжение подложки-зонда (контртела) по поверхности исследуемой подложки, при этом исследуемую подложку размещают относительно другой, идентичной исследуемой, под углом 5-10° между их плоскостями с касанием в точке. При увеличении угла между исследуемой подложкой и горизонтом под действием силы тяжести происходит сдвиг подложки-зонда (контртела) и по величине этого угла судят о чистоте поверхности подложки.

Недостатком данного способа является наличие механических разрушений на поверхности, что значительно снижает точность процесса измерения и затрудняет использование исследуемой подложки в технологическом процессе после операции измерения чистоты поверхности.

Расположение подложек относительно друг друга становится чрезвычайно важным при формировании точечного контакта между ними, т.к. поворот подложки-зонда относительно исследуемой подложки на угол 0-90° и установление ее на исследуемую подложку под острым углом приводит к образованию режущей кромки, срезающей микровыступы рельефа исследуемой поверхности.

В основу изобретения поставлена задача устранения механического разрушения поверхности и увеличения точности процесса измерения.

Данная задача решается за счет того, что в способе измерения чистоты поверхности подложки, заключающийся в том, что производят сдвиг подложки-зонда по поверхности исследуемой подложки, которые расположены в подложкодержателях под углом друг к другу, сдвиг подложки-зонда осуществляют путем увеличения угла между исследуемой поверхностью и плоскостью горизонта, по углу, при котором происходит сдвиг подложки-зонда, судят о чистоте поверхности подложки, согласно изобретению, угол между подложками создают в сторону движения, т.е. скольжение подложки-зонда происходит в положении, при котором она наклонена относительно исследуемой подложки в сторону противоположную направлению движения, при этом в процессе скольжения подложки-зонда выполняют неравенство γ≤±16°, где γ - угол между биссектрисой угла при вершине контактирующей грани подложки-зонда и траекторией скольжения.

На фиг.1 представлена схема расположения подложек, формирующая точечный контакт между поверхностями; на фиг.2 - след скольжения; на фиг.3 - схема расположения подложек, позволяющая полностью устранить механические разрушения поверхности; на фиг.4 - схема отклонения положения подложки-зонда от траектории движения; фиг.5 и фиг.6 - изображение следа скольжения и его профилограмма, полученные на сканирующем - зондовом микроскопе.

На фиг.3 приведена схема расположения подложек, позволяющая полностью устранить механические разрушения поверхности: подложкодержатель 1, в котором жестко крепится исследуемая подложка 2, подложка-зонд 3, с поверхностью идентичной поверхности подложки 2, также жестко крепится к подложкодержателю 4. Рычаг 5 одним концом крепится к подложкодержателю 4, а другим - к механизму, обеспечивающему установление рабочей точки 6 в исходное состояние на исследуемой поверхности подложки и обеспечивающему скольжение под действием силы тяжести рабочей точки 6 подложки-зонда по заданной траектории на исследуемой поверхности подложки 2, при условии, что сила тяжести, определяемая углом наклона поверхности исследуемой подложки относительно горизонтальной плоскости, превысит силу трения покоя.

При таком расположении подложек возможно отклонение биссектрисы угла при вершине контактирующей грани подложки-зонда (контртела) от траектории скольжения на угол γ (фиг.4). Для определения диапазона допустимого отклонения, при котором отсутствуют разрушения, угол γ увеличивался с шагом 1° до появления следа скольжения. Изображение поверхности в месте скольжения и ее профилограмма при γ=17°, полученные на силовом - зондовом микроскопе, приведены на фиг.5 и фиг.6. На фиг.6 видно, что высота профиля следа скольжения при данном угле соизмерима с высотой шероховатости поверхности, следовательно, γ=17° является порогом начала разрушений.

Способ осуществляется следующим образом.

Подложку-зонд (контртело) 3 наклоняют в сторону, противоположную направлению скольжения, на острый угол и располагают на исследуемой подложке 2, причем угол между биссектрисой угла при вершине контактирующей грани подложки-зонда (контртела) и траекторией скольжения должен лежать в диапазоне 0°≤γ≤6°.

При увеличении угла между исследуемой подложкой и горизонтом под действием силы тяжести происходит скольжение подложки-зонда (контртела) и по величине этого угла судят о чистоте поверхности подложки.

Похожие патенты RU2515117C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК 2005
  • Казанский Николай Львович
  • Колпаков Всеволод Анатольевич
  • Кричевский Сергей Васильевич
  • Ивлиев Николай Александрович
RU2307339C2
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК 2008
  • Сойфер Виктор Александрович
  • Казанский Николай Львович
  • Колпаков Всеволод Анатольевич
  • Колпаков Анатолий Иванович
  • Подлипнов Владимир Владимирович
RU2380684C1
ДАТЧИК ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН 2016
  • Арутюнян Зорий Робертович
  • Деулин Евгений Алексеевич
  • Поляков Владимир Борисович
RU2617891C1
СПОСОБ ФРАКТАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 2014
  • Абульханов Станислав Рафаелевич
  • Казанский Николай Львович
  • Подлипнов Владимир Владимирович
RU2601531C2
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК 2006
  • Казанский Николай Львович
  • Волков Алексей Васильевич
  • Бородин Сергей Алексеевич
RU2331870C2
СПОСОБ ФРАКТАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 2016
  • Абульханов Станислав Рафаелевич
  • Казанский Николай Львович
  • Ивлиев Николай Александрович
RU2710483C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК 2010
  • Изотов Павел Юрьевич
  • Глянько Марк Семенович
  • Волков Алексей Васильевич
  • Казанский Николай Львович
  • Суханов Сергей Васильевич
RU2448341C1
СПОСОБ ФРАКТАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 2016
  • Абульханов Станислав Рафаелевич
  • Казанский Николай Львович
RU2702925C2
Устройство контроля чистоты поверхности подложек 1990
  • Рафельсон Леонид Львович
  • Волков Алексей Васильевич
  • Бородин Сергей Александрович
  • Иванова Вера Алексеевна
SU1741032A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ 2013
  • Пестов Алексей Евгеньевич
  • Барышева Мария Михайловна
  • Салащенко Николай Николаевич
  • Чхало Николай Иванович
RU2524792C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 515 117 C1

Реферат патента 2014 года СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве дифракционных микропрофилей. Способ заключается в том, что производят сдвиг подложки-зонда по поверхности исследуемой подложки, которые расположены под углом друг к другу. Этот угол создают в сторону движения подложки-зонда. Сдвиг подложки-зонда осуществляют путем увеличения угла между исследуемой поверхностью и плоскостью горизонта, по углу, при котором происходит сдвиг подложки-зонда, судят о чистоте поверхности подложки, при этом в процессе скольжения подложки-зонда выполняют неравенство γ≤±16°, где γ - угол между биссектрисой угла при вершине контактирующей грани подложки-зонда и траекторией скольжения. Техническим результатом является обеспечение возможности устранения механических разрушений поверхности и увеличение точности процесса измерения. 6 ил.

Формула изобретения RU 2 515 117 C1

Способ измерения чистоты поверхности подложки, заключающийся в том, что производят сдвиг подложки-зонда по поверхности исследуемой подложки, которые расположены в подложкодержателях под углом друг к другу, сдвиг подложки-зонда осуществляют путем увеличения угла между исследуемой поверхностью и плоскостью горизонта, по углу, при котором происходит сдвиг подложки-зонда, судят о чистоте поверхности подложки, отличающийся тем, что угол между подложками создают в сторону движения, т.е. скольжение подложки-зонда происходит в положении, при котором она наклонена относительно исследуемой подложки в сторону, противоположную направлению движения, при этом в процессе скольжения подложки-зонда выполняют неравенство γ≤±16°, где γ - угол между биссектрисой угла при вершине контактирующей грани подложки-зонда и траекторией скольжения.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2014 года RU2515117C1

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК 2005
  • Казанский Николай Львович
  • Колпаков Всеволод Анатольевич
  • Кричевский Сергей Васильевич
  • Ивлиев Николай Александрович
RU2307339C2
RU 2007108635 A 20.09.2008
US 5080484 A 14.01.1992
JP 2005114615 A 28.04.2005

RU 2 515 117 C1

Авторы

Казанский Николай Львович

Колпаков Всеволод Анатольевич

Ивлиев Николай Александрович

Даты

2014-05-10Публикация

2012-09-10Подача