Абразивный круг для разделения полупроводниковых пластин Советский патент 1983 года по МПК B24D5/00 

(Л

с

I/

АБРАЗИВНЫЙ КРУГ ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, выполненный в, виде диска с жестко соединенными с ним упрочняющими элементами с наружным диаметром, меньшим чем диаметр диска, о т л и ч а гоод и и с я тем, что, с целью повышения производительности и качества обработки путем повышения скорости резания, свойства материала .определены неравенством

00 ю

X

4:

s| Изобретение относится к области обработки неметаллических материалов, а именно к инструментам для ра деления полупроводниковых пластин. Известен отрезной алмазный круг в виде диска, соединенного с торцев с элементами, массовая плотност которых больше плотности диска fl . Недостатком этих кругов является невозможностьработы на скоростях более 150-175 и/с, что обусловлено недостаточной прочностью конструкции круга. Целью изобретения является повышение прочности и продольной устойчивости Круга для .создания возможности повьшения скорости резания и, как следствие, повышение производительности и качества обработки. Поставленная цель достигается тем, что на алмазный диск с обеих Сторон крепятся известным сцособом напайкой, склеиванием и др. ) одинаковые по толщине упрочняющие элементы толщиной .от 5 до 10 толщин г полотна алмазного круга из материа ла .со свойствами, определяемыми неравенствоми Е. модуль Юнга соответс. венно.материалов упр няющего элемента и ал мазного круга; Рэ Рк массовая плотность соответственно матери лов упрочняющего элемента и алмазного кру га. . Допустимый предел прочности мате риала упрочняющих элементов должен обеспечить их прочность на скоростях олее 175 м/с. Так как величина деформации вращающегося диска прямо пропорциональна его массовой плотности и обратно пропорциональна модулю Юнга, то в gjicKe алмазного круга вследствие его жесткой связи с упрочняющими элементами с указанным неравенством свойствами при вращении будут возникать напряжения, обратные по знаку напряжениям от центробежных сил. что и приводит к увеличению его прочности . При этом создается возможность повышения скорости резания до 1,52 раз. Симметричность констру| ции относительно плоскости вращения, про- ходящей через середину алмазного круга, исключает появление деформаций изгиба, что повышает устойчивость его режущей кромки. Выполнение упрочняющих элементов толщиной не менее 5 толщин диска гарантирует дастаточный по величине . упрочняющий эффект,, а выполнение их толщиной более 10 толщин диска нецелесообразно, так как не приводит к- дальнейшему существенному росуу упрочняющего эффекта. На чертеже показан предложенный абразивный круг. К торцам алмазного диска 1 прикреплены упрочняющие элементы 2, имеющие внутреннее отверстие такое .. же, как и у алмазного диска, а наружную поверхность меньшего радиуса на .величину выступающей части 3 алмазного диска. Абразивный круг устанавливается на станке во фланцах и работает аналогично известным разрезным кругам, но при этом скорость резания может быть значительно повышена, что позволяет повысить производительность разрезания пластин и улучшить качество образукнцейся при резе поверхности. Предложенный абразивный круг рекомендован к внедрению в радиоэлектронной, радиотехнической и др. отаслях промышленности.