Устройство для нанесения металлических покрытий Советский патент 1983 года по МПК C23C13/08 

00

сл ел 11 Изобретение огносигся к получению . покрыгий и может быгь использовано дл нанесения покрытий, повышающих эксплуатационные свойства деталей машин, инструментов, элементов и приборов. Известно устройство для нанесения покрыгий, работа которого основана аа электрическом взрыве проводников за счет пропускания импульса тока через проводник и конденсация продуктов разрушения его в виде жидких капель и па,ра на поверхности детали 1 . Недостатки устройства --низкая прочность сцепления покрытия с основой и низкий коэффициент использования материала проводника (отношение массы покрыгия к массе проводника). Наиболее близким к изобретению явля ся устройство, содержашее пару электродов для размешения испаряемого материала; соединенных с источниками импульс ного тока и служаших для размешения между ними наносимого материала L2J Недостатки устройства - недостаточная прочность сцепления покрытия с основой и низкий коэффициент- использования материала проводника. Цель изобретения - повышение качес1 ба покрытия и увеличение коэффициента использования материала покрытия. Псхзтавленная цель достигается тем, что устройство для нанесения металлических покрытий, содержашее пару элект родов для размешений испаряемого материала, соединенных с истоЙ1иками импул ного тока, и подложкодержатель, допол.нигельно снабжено парой электродов, рас положенных симметрично основной паре и соединенных с противоположными основной паре полюсами источников тока, причем электроды основной и дополнительной пары соединены между собой и устано лены с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси симметрии между парами электродов. На чертеже приведена схема устройства. Устройство содержит два импульсных источника тока 1 и 2, подключенных к взрываемым проводникам 3 и 4 через пары электродов 5 и 6 соответственно. .Взрываемые проводники и подложкодеружагель 7 помешены в камеру 8. Проводники расположены параллельно и напротив друг друга, их соседние концы сое- пинены с разноименными полюсами своих источников тока. Кроме того, два одно- именных полюса источника тока соеди15нены электрической связью через токо- проводящую шиНу 9. Устройство работает следующим образом.. . При пропускании импульсов тока через проводники 3 и 4 происходит разрыв проводников и выключение тока, зажигание электрического разряда на продуктах разрушения и, наконец, окончательное разрушение проводников за счет оставшейся в источнике питания энергии, когторая превращает его в результате взрыва в облако мелкодисперсных разлетакьшихся частиц, двигающихся по направлению к подложке. При взаимодействии встречных токов, протекающих по проводникам, между собой на образующиеся электрические разряды действуют силы, также направляющие продукты разрушения нроводников в сторону напыляемых деталей. Затем происходит перекрытие электрических разрядов и ток за счет электрической, связи противоположных элёкгрс)- цов начинает протекать по шине 9. В результате этого, при прекращении протекания тока по обычному пути материал, разрушенного проводника прекращает дальнейшее диспергирование (измельчение). Наибольщий эффект нанесения покрытия достигается при расположении проводников на расстоянии, равном (13 14)-R друг от друга ( R - радиус рабо-чего проводника), В результате дополнительного направленного движения пунктов разрушения проводника возрастает эффект взаимодействия покрытия с подложкой, что приводит к увеличению адгезионных качеств покрытия. Так же, из-за увеличения скоростей разлета частиц проводников, уменьшается время воздействия разряда на эти частицы, т.е. уменьшается время их испарения. В общей массе продуктов разрушения проводников преобладает жидкокапельная фаза, а количество паровой фазы значительно уменьшается. При проведении процесса на воздухе паровая фаза продуктов разрушения относится от поцложки ударной волной и ее уменьщение является фактором увеличения коэффициента использования материала проводника, и увеличение толщины покрь тия за один и-мпульс. Изобрегение позволяет получать высокоацгезионные покрытия из W -Со, Си , АЕ , 1и , РЬ высоким коэффициентом использования материала покрытия.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ, содержащее пару электродов для размещения испаряемого материала, соединенных с источниками импульсного тока, и подложкодержатель, о г л и ч а ю щ е е с :Я тем, что, с целью повышения качества покрытия и увеличения коэффициента ис пользования испаряемого материала, устройство снабжено дополнительней парой электродов, расположенных симметрично основной паре и соединенных с прогиво положными основной паре полюсами ш тючников тока, пртчем электроды оснсж ной и дополнительной пары соединены между собой и установлены с возможно стью перемещения в плоскости, авровт кулярной оси симметрии между парами электродов.