Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к вакуумным установкам, в которых в качестве откачных средств применены адсорбционные насосы.
Известны вакуумные установки, содержащие ряд подключенных к реципиенту адсо)бционных насосов.
Однако в известных установках насосы соединены с реципиентом посредством трубопроводов и вентилей, и корпусы всех насосов воепринимают атмосферное давление. Это ириЁодит к ограничению скорости откачки насосов и повышению натекания в установку.
В предлага-емой установке рециниент помещается под рядом колпаков, в промежутках между которыми устанавливают охлаждаемые адсорбционные насосы.
На чертеже представлена вакуумная установка, продольный разрез.
Реципиент 1 расположен иод рядом колнаков 2, 3 и 4, между которыми установлены охлаждаемые адсорбционные насосы 5, 6 и 7. Подача хладагента в насосы и перемещение колпаков производится с помощью распределительно-подъемного устройства 8.
Процесс откачки реципиента осуществляется следующим образом.
На плиту 9 опускается колпак 2 вместе с распределительно-подъемным механизмом, и стык уплотняется с помощью прокладки 10. Все внутренние колпаки находятся в верхнем положении. В насос Б подается хладагент, и в установке достигается предельный вакуум этого насоса. Затем опускается колиак 3V и захолаживается насос 6. По достижении им предельного вакуума аналогичным образом запускается пасос 7, и реципиент 1 откачивается до предельного вакуума.
Предмет изобретения
1.Вакуумная установка, содержащая подключенные к реципиенту адсорбционные насосы, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения, натекапия и увеличения скорости откачки, насосы установлены один в другом и разделены колнаками, а рециниент размещен внутри наименьшего насоса.
2.Установка по п. 1, отличающаяся тем, что насосы снабжены распределительно-подъемным механизмом для подачи в насосы хладагента и перемещения колпаков.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Криогенный конденсационный насос | 1975 |
|
SU553357A2 |
ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХПРИБОРОВ | 1971 |
|
SU321871A1 |
Линия для изготовления групповых пакетов монолитных керамических конденсаторов | 1986 |
|
SU1406653A1 |
Вакуумная установка и способ ее работы | 1987 |
|
SU1495500A1 |
АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1994 |
|
RU2094656C1 |
Форвакуумная криогенная ловушка | 1986 |
|
SU1462912A1 |
Установка для откачки галогеносодержащих агрессивных газов и паров | 1981 |
|
SU964223A1 |
Адсорбционный криогенный рефрижератор непрерывного действия | 1980 |
|
SU918724A1 |
УСТАНОВКА ДЛЯ СУБЛИМАЦИОННОЙ СУШКИ | 1993 |
|
RU2067735C1 |
Устройство для адсорбционной очистки газов | 1984 |
|
SU1233921A1 |
Авторы
Даты
1975-03-15—Публикация
1972-09-06—Подача