Вакуумная установка Советский патент 1975 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к вакуумным установкам, в которых в качестве откачных средств применены адсорбционные насосы.

Известны вакуумные установки, содержащие ряд подключенных к реципиенту адсо)бционных насосов.

Однако в известных установках насосы соединены с реципиентом посредством трубопроводов и вентилей, и корпусы всех насосов воепринимают атмосферное давление. Это ириЁодит к ограничению скорости откачки насосов и повышению натекания в установку.

В предлага-емой установке рециниент помещается под рядом колпаков, в промежутках между которыми устанавливают охлаждаемые адсорбционные насосы.

На чертеже представлена вакуумная установка, продольный разрез.

Реципиент 1 расположен иод рядом колнаков 2, 3 и 4, между которыми установлены охлаждаемые адсорбционные насосы 5, 6 и 7. Подача хладагента в насосы и перемещение колпаков производится с помощью распределительно-подъемного устройства 8.

Процесс откачки реципиента осуществляется следующим образом.

На плиту 9 опускается колпак 2 вместе с распределительно-подъемным механизмом, и стык уплотняется с помощью прокладки 10. Все внутренние колпаки находятся в верхнем положении. В насос Б подается хладагент, и в установке достигается предельный вакуум этого насоса. Затем опускается колиак 3V и захолаживается насос 6. По достижении им предельного вакуума аналогичным образом запускается пасос 7, и реципиент 1 откачивается до предельного вакуума.

Предмет изобретения

1.Вакуумная установка, содержащая подключенные к реципиенту адсорбционные насосы, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения, натекапия и увеличения скорости откачки, насосы установлены один в другом и разделены колнаками, а рециниент размещен внутри наименьшего насоса.

2.Установка по п. 1, отличающаяся тем, что насосы снабжены распределительно-подъемным механизмом для подачи в насосы хладагента и перемещения колпаков.