Криоадсорбционный насос Советский патент 1987 года по МПК F04B37/02 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криоадсорбционныхвакузтных насосов,

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей насоса путем обесце чения его дополни тельной защиты, а также запщты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов.

На чертеже представлен насос, проДольный разрез.

Криоадсорбционный насос содержит цилиндрический корпус I с верхней и нижней крышками 2 и 3 и осевым входным патрубком 4 на одной из них, на- пример на крышке 2, расположенный в корпусе I сосуд, вьтолненный в виде двух коаксиальных цилиндров 5 и 6, расположенных соосно входному патрубку 4 и образующих между собой полость 7,.заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра 6 адсорбент 8. Насос снабжен также расположенным в полости 7 вакуум-проводом 9, оги- баюшд1м внутренний цилиндр 6 и имеющим концы 0 и 11, герметично выведенные из корпуса 1 через крышки 2 и 3, прргчем вакуум-провод 9 имеет форму полувитка спирали и размеры, определяемые следующими неравенствами; R d;

.§,

где R - радиус полувитка спирали; d - диаметр вакуум-провода; h - шаг спирали.

Кроме того, на поверхности адсорбента 8 размещен пористьй газопроницаемый экран 12 из высокотеплопровод- Ного материала, и на торце внутреннего цилиндра 65 обращенном к входному патрубку 4, установлен шевронный экран 13.

Насос работает следующим образом.

В полость 7 между цилиндрами 5 и 6 заливается хладагент, и адсорбент 8 охлаждается до рабочей температуры при которой интенсивно поглощает откачиваемый газ, поступающий в насос через входной патрубок 4. Одновре ВНИИПИ Заказ 3938/30 Тираж 574Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

338332

но с охлаждением адсорбента В осуществляется охлаждение вакуум-провода 9, который используется либо в качестве коммутации, соединяющей насос с откачиваемым объемом,либо в ка- чествё коммутации, соединяющей откачиваемый объем с вспомогательным насосом. И в том и в другом случае ва10 куум-провод 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой происходит конденсация легко конденсируемых газов и паров, например паров воды. Форма и размеры ва15 куум-провода обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов 10 и 11 и надежности защитных свойств.

Таким образом, предлагаемый насос,

20 кроме функции собственно насоса, выполняет также функции ловушки, т.е. его функциональные возможности расширяются .

25 Формула изобретения

Криоадсорбционный насос, содержащий цилиндрический корпус с верхней и нижней крьш1ками и -осевым входным

30 патрубком на одной из них, расположенный в корпусе сосуд, вьтолненньй в виде двух коаксиальных цилиндров, расположенных соосно входному патрубку и образующих между собой полость,

3g заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра адсорбент, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможнос40 тей путем обеспечения защиты насоса от легкоконденсируемых газов, он снабжен расположенным в полости вакуум-проводом, огибакщим внутренний цилиндр и имеющим концы, герметично

45 выведенные из корпуса через крьш1ки, причем вакуум-провод имеет форму полувитка спирали и размеры, определяемые следующими неравенствами: R d;

50R R ,

где R - радиус полувитка спирали; d - диаметр вакуум-провода; h - шаг спирали.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности насоса путем обеспечения его дополнительной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов.В полости 7, образованной коаксиальными цилиндрами 5 и 6 и заполненной хладагентом, расположен вакуум-провод (ВП) 9, огибающий внутренний цилиндр 6 и имеющий форму полувитка спирали. Концы 10 и 11 ВП 9 герметично выведены из корпуса 1 через крьшки 2 и 3. Радиус полувитка спирали больше диаметра ВП 9 и больше 1/6 шага спирали. ВП 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой конденсируются легкоконденсируемые газы и пары. Форма и размеры ВП обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов. 1 ил. (Л с