Кассета для химической обработки полупроводниковых пластин Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к микроэлек тронике и может быть использовано в оборудовании для жидкостной обработки изделий, например мик росхем. Известна кассета, выполненная в виде диска с кольцевой проточной и средствами удержания пластин. Диск имеет два ряда цилиндрических штырьков, расположенных по двум концентри ческим окружностям flj. Однако, несмотря на высокую эффек тивность обработки пластин, вследствие того, что пластины почти полностью всеми поверхностями взаимодействуют с реактивами, степень обработ ки пластин (особенно отмывки, обезжи ривания) в местах их контакта со шты рями и кольцевой канавкой недостаточ на. Средства удержания пластин в вид двух концентрических рядов цилиндрических штырей, расположенных по коль цевой проточке конической формы, не обеспечивают достаточно надежного крепления пластин, особенно вовремя пуска-и останова, тем более в случае разли ных размеров пластин, вследствие чего из-за неупорядоченного движения, струй реактива отдельные пластины выскакивают из своих гнезд.Все это снижает выход годных изделий при обработке. Наиболее близкой к предлагаемой является кассета для химической обработки полупроводниковых пластин, содержащая основание в виде диска с гнездами для полупроводниковых пластин и ступицу, соосную диску основания t 2 . Однако в этой кассете пластины обрабатываются только с одной сторо;ны. Цель изобретения - повышение производительности работы и качества об работки полупроводниковых пластин. Поставленная цель достигается тем что кассета, содержащая основание в виде диска с гнездами для полупровод никовых пластин и ступицу, соосную диску, снабжена .запорным кольцом, установленным на ступице, а гнезда для полупроводниковых пластин выполнены в виде кольцевых канавок на штырях, размещенных по периферии диска, и кольцевой канавки, выполненной на боковой поверхности запорного кольца. На фиг. 1 изображена предлагаемая кассета, .разрез; на фиг. 2 - то же, вид в плане. Кассета состоит из основания 1 в виде диска со ступицей, на которую- насажено запорное кольцо 2 звездообразной формы, ряда штырей 3 и двух рядов опорных штырей 4, расположенных по концентрическим окружностям. Запорное кольцо 2 имеет возможность ограниченного поворота ,и фиксации в нужном положении винтами 5. Ограниченный радиальный поворот и вертикальное смещение запорного кольца обеспечиваются закреплением на ступице диска фланцами 6. Запорное кольцо 2 имеет на наружной поверхности выступы, на которых выполнены кольцевые канавки клинообразного профиля. Штыри 3 на наружной окружности имеют кольцевые канавки, аналогичные канавкам на выступах запорного кольца. Верхние опорные торцовые поверхности штырей 4 расположены на MeHbujeM расстоянии от поверхности диска, чем плоскость, проходящая через наименьшее сечение штырей 3 и запорного кольца 2. Кассета работает следующим образом. Пластина 7 укладывается горизонтально на опорные штыри 4 в гнезда, образуемые штырями 3 с кольцевыми канавками и канавками запорного кольца 2.-При-повороте запорного кольца всепластины одновременно caNfoycTaнавливаются и фиксируются в кольцевыхканавках штырей 3 и кольцевых канавках кольца 2, приподнимаясь цри этом над верхними торцовые поверхностями опорных штырей, обеспечивая тем самым свободный доступ реактивс1 к обеим плоскостям. Предлагаемое устройство позволяет решить вопрос обработки полупроводниковых пластин с макс има7гьной эффективностью,т.е. обеспечить качественную обработку всей плс1стины, так как вся поверхность обрабатываемой полупроводниковой пластины легкодоступна обрабатываемым жидкостям.

КАССЕТА ДЛЯ ХИМИЧЕСМЭЙ ОБРАБОТКИ ГОЛУПРОВОДНИКОШХ nJIACOItH, содержащая основание в виде диска с гнездами для полупроводниковых и ступицу, соосную диску, о т личаюцаяся тем, , с целью повышения производительности работы и качества обработки полупроводниковых пластин, она снабжена запорным кольцом, установленным на ступице, а гнезда для полупроводниковых пластин выполнены в виде кольцевых канавок на штырях, размещенных по периферии диска, и кольцевой канавки, выполненной на боково й поверхности запорного кольца.