Кассета для обработки деталей вжидКОй СРЕдЕ Советский патент 1981 года по МПК H01L21/00 C25D17/06 

(54) КАССЕТА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ В ЖИДКОЙ СРЕДЕ тин, выполненные в виде валков с кол цевыми канавками, снабжена размещенными в основании ползунами и мех низмами их перемещения, при этом ва ки попарно связаны с ползунами, а один из валков выполнен откидным, при этом валок, вьшолненный откидным снабжен запирающим механизмом в виде подпружиненного стержня с фиксирующим элементом. На фиг. 1 изображена йредпагаема кассета для обработки деталей в жид кой среде, общий вид ; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1 ;на фиг. 3.вид В на фиг. 2 ; на фиг. 4 - разрез Г-Г на фиг. 3 i на фиг. 5 - сечение Д-Д на фиг. 2. Кассета содержит основание 1 с выступом 1 а на верхней плоскости основания в виде так назьгоаемого ла сточкиного хвоста для фиксации кассеты в загрузочном устройстве и агрегата для жидкостной обработки (не показаны). На нижней плоскости основания выполнены четыре выступа 16, в которых жестко зафиксированы направляющие 2, по которым перемещаются ползуны 3 и 4. В ползунах закреплены оси 5, на которых установлены валки 6 с кольцевыми ка навками, выполненными в обкладке 7 из химически инертного материала, например фторопласта (кольцевые канавки служат для удержания обрабатываемых пластин). На концах осей 5 установлены резьбовые втулки 8 и 9, служащие для регулировки положения валков 6 по высоте. Нижние концы осей 5 для большей жесткости попарно .связаны с планками 10 и 11 и закреплены гайками 12. Планка 11 выполнена разъемной с фиксирующим механизмом 13, состоящим из подпружиненного стержня 14 с кнопкой 15 расфиксирования и з репленной на стержне фиксирующей планкой 16, выполненной с двумя фиксирующими штырями 17, В основании 1 установлена свободно вращающаяся ось 18, один конец которой связан кинематически с приводом (не показан), а другой с двумя кулачками 19, развернутыми один относительно другого по оси на некоторый угол и установленными в прорезях ползунов 3 и 4 для обеспечения -воэвратно-поступательного движения ползунов с закрепленными н них валками Соотносительно направляю 4 щих 2, причем кинематическая связь с приводом вьшолнена, например, в виде зубчатой пары, один из элементов 20 которой установлен на верхнем конце оси 18. Один из валков 6 выполнен откидным относительно направляющей 2 и установлен на проушине 21, входящей в прорезь ползуна .4 и перемещающийся вместе с ползуном. Устройство работает следующим образом. Кассета своим основанием 1 вставляется в приемное устройство (не показано) автомата загрузки пластин в кассеты с помощью ласточкиного хвоста и-фиксируется в нем. Нажатием кнопки 15 фиксирующего механизма 13 утапливается стержень 14 с планкой 16, на которой укреплены фиксирующие штыри 17, вьжодящие из своих гнезд. В этом случае разъемная планка 11 разомкнута, валок 6 с кольцевой канавкой откидывается вокруг направляющей 2, проушина 21 также поворачивается вокруг направляющей 2. Доступ в пространство между роликами открытый, происходит загрузка пластин в кассету, т.е. в прорези валков 6 каждая пластина оказьшается зафиксированной в трех точках, затем откидной ролик возвращается в исходное положение, срабатывает фиксирующий механизм 13, замыкая пластины с четвертой стороны. Кассета готова к дальнейшему циклу. Для регулировки положения валков 6 по высоте служат две резьбовые втулки 8 и 9, установленные на оси 5. Кассета вынимается из приемного устройства на операции загрузки пластин и поступает в агрегат жидкостной обработки пластин (не показан), где крепится в приемном устройстве с помощью того же ласточкиного хвоста основания 1, одновременно входя в зацепление зубчатым элементом 20 со вторьм элементом зубчатой пары. Связанной с приводом. Кассета запирается в агрегате. Вращательное движение элемента 20 передается через ось 18 кулачкам 19, которые, поворачиваясь в прорезях ползунов 3 и 4, передвигают |ix в двух взаимно перпендикулярных, плоскостях по направляющим 2, сообщая ползунам возвратно-поступательное движение, тем самым сообщая такое же движение и валкам 6, меткду которыми зажаты пластины. Поскольку валки имеют сво бодное вращение относительно оси 5, то они просто обкатываются по кромкам .обрабатываемых пластин, давая доступ реактивам взаимодействовать со всеми поверхностями пластины без исключения. Предлагаемое устройство позволяе решить вопрос обработки пластин с максимальной эффективностью, т. е. обеспечить качественную обработку всей пластины, в том числе эффектив ное удаление продуктов реакции, шлама и пр. с поверхности, так как вся поверхность обрабатываемой пластины легко доступна струям моющих и. других составов, исключается обра зование каких бы то ни было застойных зон, конструкция кассеты позволяет легко механизировать и автоматизировать известными средствами как процесс загрузки пластин в кассеты, так и жидкостную обработку пластин, причем в любом режиме с лю бой скоростью, так как имеется один и тот же узел крепления как в процессе загрузки, так и в процессе об работки. Кассета предназначена для пластин различных размеров, для чего валки могут быть передвижными, но целесообразнее выполнять кассеты на свой тип пластин, так как при массовом производстве полупроводниковых и других микрозлектронных приборов они слзокат межоперационной тарой. Надежность закрепления пластин в предлагаемой кассете такова, что только разрушение пластины может привести к ее выпадению из кассеты. Формула изобретения К Кассета для обработки деталей в жидкой среде, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащая установленные на основании средства крепления полупроводниковых пластин, выполненные в виде валков с кольцевыми канавками, отличающаяся тем, что, с целью повьш1ения качества обработки деталей, она снабжена размещенными в основаНИИ ползунами и механизмами их перемещения, при этом валки попарно связаны с ползунами, а один из валков выполнен откидным. 2. Кассета по п. 1, отличаю щ а я с я тем, что валок, выполненный откидным, снабжен запирающим механизмом в виде подпружиненнДго стержня с фиксирующим элементом.. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 457125, кл. Н 01 L 21/00, 1973. 2.Авторское свидетельство СССР № 445709, кл. С 25 D 17/06, 1973 (прототип).

j

го

Pue. г

Г-Г

15

16

фиг. 4

D-D

Vui. 5