Кассета Советский патент 1983 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовано при нанесении защитной Пленки на грани кристаллов с р-п-переходами, а также для внешнего контроля и транспортировки полупроводниковых кристаллов : Известна кассета, состоящая из кр шки в виде рамки с натянутыми проволоками и основание с ячейками, в дне ячеек выполнены крестообразно расположенные- выступы в виде клиньев, и полости образованные выступами, переходят в сквозные отверстия в центре ячейки tl. Кассета изготовлена таким образом, что любые верхние и нижние грани уложенных в них кристаллов располагаются параллельно основанию кассет. Такая ориентировка кристалл не позволяет осуществлять нанесение покрытий только на боковые грани. Наиболее близкой к предлагаемой является кассета, содержащая, основа ние с гнездами для кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент 2. V-образная форма йазов на дне это упаковки позволяет устойчиво ориенти ровать кристаллы для покрытия пленкой только двух боковых-граней, Однако из-за отсутствия у упаковки поперечных боковых стенок изолирующая пленка будет попадать на грани крайних кристаллов, не предназначенные для покрытия. Кроме того, такая кассета является малопроизводительной, так как для найесения защитной пленки на две другие боковые грани либо для проведения визуального контроля надо поштучно переворачивать ка дое изделие. Цель изобретения - улучшение-эксплуатационных возможностей. Эта цель достигается тем, что в кассете, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащей основание с гнездами для полупроводниковнх кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V-образной фор мы, съемную крышку и экранирующий элемент, выполненный в виде съемной , установленной по периметру ойнования, а на съемной крыике выпол йены продольные пазы V-образйой формы,ч при этом высота рамки экранирующего йлемента выполнена не меньше суммы высот продольного паза V-образной формы основания и продольного паза V-образной формы съемной крышки, кроме того, экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок, уст новлеиных перпендикулярно продольным пазам V-образной формы. На фиг. 1 показана кассета без крьлшки, вид в аксонометрии; на фиг. 2- то же, вид сбоку с крышкой; на фиг. 3 - то же, вид с торца , на фиг. 4 - кассета без крышки с вариантом экранирующего элемента, вид QBepxyj на фиг. 5 - то же, вид сбоку с . крышкой. Кассета содержит основание 1 с гнездами для полупроводниковых кристаллов , выполненными в виде продольных пазов 2 V-образной формы. По периметру основания выполнены опорные плоскости 3, например, в виде площадок , выступов, штырей для размещения на них экранирующего элемента 4, который может быть выполнен в виде рамки, или в виде планок. Рамка расположена по периметру кассету, а планки - перпендикулярно продольным пазам 2 V-образной формы. . При этом экранирующий элемент перекрывает по высоте кристаллы 5, установленные на ребро. Крышка кассеты выполнена идентично основанию кассеты и имеет также продольные пазы V-образной формы. Основание и крышка установлены навстречу друг другу поверхностями с пазами с об1эазованием загнутого контура для размещения кристаллов. Для транспортировки основание и крышка могут быть скреплены между собой любым известным зажимом. Кассета работает следующим образом. ; Для нанесения покрытий на боковые грани кристаллов с р-п-переходами последние располагаются в пазах 2, сверху на опорные плоскости 3 накладывается рамка,- а затем основание 1 с кристаллами помещается в камеру установки для нанесения защитной пленки. После покрытия пленкой двух боковых граней кассета выгружается из камеры, на рамку накладывается крышка, и кассета поворачивается на 180 . При этом происходит перемещение кристаллов, а пазы крышки и непокрытые грани кристаллов оказываются повернутыми вверх. Рамка, удерживающая и экранирующая крайние в пазах кристаллы, также перемещается на крышку. Далее производится нанесение защитной пленки на две другие боковые грани. I При проведении визуального контроля боковых граней вначале осуществляется осмотр видимых граней кристаллов, помещенных в пазы основания. Затем сверху накладывается крыька, и кассета поворачивается на 180. После перемещения кристаллов в пазы крышки проводится осмотр двух других боковых граней. Транспортировка полупроводниковых кристаллов осуществляется в закры-

той кассете, снабженной любым известным зажимом.

Использование кассеты для полупроводниковых кристаллов позволяет практически в 10 раз повысить производительность труда при нанесении защитной пленки на боковые грани кристаллов с р-п-переходами и проведем НИИ визуального контроля кристаллов за счет экономного использования, рабочей поверхности кассеты при укладывании изделий вплотную друг к другу г(аН51МНг ие подпёжапщми покрытию, а так1Ю за счет ликвидации операции поштучного переворачивания кристаллов. Эк ранирование контактных граней крайних в пазгис. кристёшлов осуществляет- ся рамкой или планками одновременно предотврснцапцимивыпадение кристаллов из пазов кассеты.

1. КАССЕТА, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащая основание с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов V-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, экранирующий элемент выполнен в виде съемной , установленной по периметру основания, а на съемной крышке выполнены продольные пазы V-образной формы, при этом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы высот продольного паза V-образной формы основания и продольного паза V-образной форлш съемной крьаики. 2. Кассета по п. 1, отличающая с я тем, что экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок, установленных перпендикулярно g продольным пазам V-образной формы. .И со -ч со оь 4