Кассета для полупроводниковых кристаллов Советский патент 1977 года по МПК H01L21/68 

Кассета содержит основание /, на рабочей поверхности которого .имеются ячейкиуглубления 2 для кристаллов, и крышку 3, представляющую собой .рамку 4 с натянутыми проволоками 5. Дно ячеек углублений имеет жрестообраено расюоложеиные угловые выступы 6, которые образуют .полости 7, аереходящие в сжвоз-иое отверстие 5 в це-нлре ячейки i2.

Кассета работает следующим образом.

При иодаче кассеты для укладки кристаллов снимается крышка 3 ,и кристаллы уклады:ваются iB ячейки-углубления 2 на четыре выстуша 6, обеспечивающие устойчивое положение 1кристаллов. При этом ие происходит нарушения ориентации ранее уложенных кристаллО|В, так как погрещность кристалла в ячейке 2 определяется только гарантированным зазором между ним и поверхностью ячейки.

После зап.олиения ячеек 2 кассеты основание / закрывается крышкой 3 проволоки 5 которой, прилегая к поверхиости основания, удерживают кристаллы от выпадания, и кассета передается на операцию очист1ки.

Каооета .помещ-аетоя в пр01мы:вочную жидкость, и при ее колебании жидкость проходит через центральное отверстие 8 полости 7, с.мывает кристалл и выходит в 1свободиые пространства между ироволоками 5 или соверщает обратное движение.

Затем кассета передается 1иа операцию визуального контроля, снимается крышка 3,

производится осмотр кристаллов, выбор|Ка негодных и дозаполнение ячеек 2 очищенными годными (кристаллами.

После этого кассета передается на Операцию выборки и монтажа кристаллов, ори этом леред выборкой кристаллы сохраняют свое положение, определяемое только размер1ами ячеек. После окончания выборки кассету возвращают на операцию укладки. Цикл повторяется.

Формула изобретения

Кассета для /полупроводниковых кристаллов, содержащая крыщку в виде рамки с натянутыми проволоками и основ ание с ячейками, 1несущ(ими сквазные отверстия, отличающаяся тем, что, с целью расширения ее технологических возможностей, в дне ячеек основания вылолнены крестообразно расположенные выступы в виде клиньев, причем полости, образованные выступами, переходят в сквозные отверстия в центре ячейки.

Источники Информации, принятые во внимание ири экапертизе изобретения:

1. Авторское свидетельство СССР

Afo 1314254, кл. Н01 L 7/68, 1969.

2. Авторское свидетельство СССР

Я 1802878/25, кл.Н 0,1 L 7/68, 1972 - проTOTHin.

Узел I

Фиг. 3

Л-А

Vui.ft