Электронно-оптическая система Советский патент 1983 года по МПК H01J37/04 H01J37/14 

Изобретение относится к электронно-оптическим системам электроннозондовых приборов и может быть использовано для просвечивающих и .растровых электронных микроскопов, рентгеновских микроанализаторов и других устройств. . Известна электронно-оптическая система для формирования и фокусировки электронного пучка,содержаща электромагнитные линзыJ в которых внутренний магнитопровод снабжен Специальными полюсными наконечниками, требующими тщательной под-гонки при установке 1 . Такая конструкция электронно оптическойсистемы трудоемка в изготовлении и не обеспечивает точной к)стировки. Наличие большого числа резиновых уплотнителей усложняет Конструкцию и не обеспечивает высокой степени разряжения в системе. Наиболее близким к предлагаемой по технической сущности является электронно-оптическая система co-i держащая электромагнитные линзы, включающие обмотку, внешний и внутренний магнитопроводы -и полюса Ез. В известном устройстве имеет мес то большое число посадок,- что не по зволяет обеспечить соосность элект-ронно-оптической системы, а большое число резиновых вакуумных уплотнений и полных вакуумных соединений затрудняет получение необходимого разряжения в системе. Цель изобретения - упрощение кон струкции электронно-оптической сист мы„. Поставленная цель достигается те Что электронно-оптическая система Снабжена общим для электромагнитных Линз внутренним магнитопроводом, вы полненным в виде толстостенной труб ,с кольцевыми канавками на ее внешне поверхности в количестве, соответст аующем числу линз в системе. На чертеже 1представлена конструкция трехлинзовой электронно-оптической CHCTeN5J. Электронно-оптическая системасодержит внутренний магнитопровод 1, выполненный в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками 2, расположенными на внешней поверхности трубы, одну или несколько обмоток 3 линз, внешний магнитопровод 4, боковые фланцы 5 магнитопровода, которые в совокупности со стыковочными элементами образуют вакуумные уплотнения 6 по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на его концах. Электронно-оптическая система ра:ботает следующим образом. Электронный пучок подает в магнитное, поле первой линзы (первая по ходу пучка канавка),магнитное поле которой формирует изображение кроссовера электронной пушки, ниже средней плоскости первой канавки. Это. изображение является предметом для второй линзы (район второй канавки), которая формирует второе промежуточное изображение источника электронно-оптической системы, позволяет существенно упростить юсти-. ровку системы, так как внутренний магнитопровод всех входящих в систе.му линз выполняется из цельного куска материала, и коаксиальность внутренних отверстий магнитопровода ограничивается только точностью изготовления.. Применение вакуумного уплотнения по цилиндрической поверхности внутрен.него .магнитопровода на его концах упрощает конструкцию электронно-оптической системы и позволяет более точно состыковать электронно-оптическую систему с электронной пушкой, последующей электромагнитной линзой или рабочей камерой. .

ЭЛБКТРОННО-ОПТИЧЕСКА.Ч СИСТЕМА, содержащая электромагнитные линзы, включающие обмотку, вькгшний и внутренний магнитопроводы и полюса, от л. и чающаяся тем, что, с целью упрощения констру;-;ции системы, она снабжена общим для электромагнитных линз внутренним магнитопроводом, выполненным в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками на её внешней доверхности в количестве, соответствующем числу линз в системе.