Тара для полупроводниковых пластин Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть применено для хранения и транспортирования кремниевых пластин на различных oneрациях технологического процесса.

Известен контейнер для транспортирования концентратов цветных металло содержащий корпус, крышку, ручку и замок Ell .

Однако данный контейнер не приспособлен для перемещения тонких плоских изделий и в силу конструктивных особенностей не может быть исползован для транспортировки полупровод никовых пластин.

Наиболее близкой к предлагаемой является тара, состоящая из корпуса, крышки, замка и ручки, шарнирно соединенной с крышкой посредством. оси С . .

Известная тара предназначена для обеспечения герметизации помещенных внутри изделий и неудобна для размещения и транспортировки лодочек с полупроводниковыми пластинами, так как открывает доступ к ним только через отверстие в верхней части тары. Кроме того, она не позволяет механизировать загрузку и выгрузку лодочек из-за отсутствия торцовых отверстий.

Цель изобретения - расширение функциональных и эксплуатационных возможностей тары.

Указанная цель достигается тем, что тара для полупроводниковых пластин, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, снабжена подпружиненными крышками и фиксатором, рас положенным на оси ручки, причем замок выполнен в виде с выступом и Г-образным упором, установленным с возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.

На фиг.1 изображена тара с открытой крьплкой, общий вид; на фиг.2 то же, с закрытой крышкой; на фиг.З разрез А-А на фиг.2 (ручка поднята) на фиг.4 - узел I на фиг,2 ( ручка в поднятом положении); на фиг.5 то же,(ручка в опущенном положении К

Тара для полупроводниковых пластин фиг. 1-3 ) состоит из корпуса 1 и

крышки 2, изготовленных из листовой нержавеющей стали толщиной 0,4 мм и соединенных шарниром 3. С боков тары расположены подпружиненные крышки 4, которые удерживаются в закрытом или открытом положении пружинными механизмами 5. Ручка 6 для переноса тары жестко связана с осью 7, имеющей в центре фиксатор 8. Тара снабжена замком, представляющим собой соединенную с крышкой 2 защелку 9, выполненную в виде упругой металлической пластины, на одном конце которой расположен Г-образный упор 10,а на другом - выступ 11, заходящий при закрытии тары заскобу 12, прикрепленную к корпусу 1. Защелка 9 выполнена с прорезью 13, в которую входит прикрепленный к крышке 2 металлический стержень с пружиной 15, служащей для удержания защелки в закрытом положении. На дне тары закреплена штифтом 16 кварцевая защитная подложка 17, необходимая для того, чтобы предупредить появление задиров металла, возникающих на,внутренней поверхности тары при перемещении лодочки 18 с кремниевыми пластинами 19 во время загрузки вдиффузионную печь, и исключить возможность попадания металлических частиц на направляющие лодочки. Перемещение лодочки в печь осуществлется с помощью толкателя 20 соединенного со штоком 21. Тара установлена на ножках 22 и удерживается от передвижения в загрузочной камере направляющими 23.

Для размещения лодочки 18-с кремниевыми пластинами 19 внутри тары последняя устанавливается на ножках 22, опускается ручка 6, откидывап5тся назад подпружиненные крышки 4 и нажимается Г-образный упор 10 защелки 9. При нажатии на Г-образный упор 10 сжимается пружина 15, слегка приподнимается и выходит из-за скобы 12 выступ 11 защелки 9 и открывается верхняя крышка 2. После размещения на кварцевой подложке 17 лодочки 18 опускается верхняя крышка 2. тара запирается с помощью защелки 9,

закрываются подпружиненные крышки 4 и тара транспортируется за ручку 6 в загрузочную камеру диффузионной печи. Во время переноски, когда ручка 6 находится в поднятом положении, Г-образный упор 10 защелки 9 взаимодействует с фиксатором 8 оси 7 для предупреждения случайного нажатия упоpa 10 и последующего неожиданного отк|:)ываиия, крышки 2. Помещенная в загрузочную камеру тара открывается и толкателем 20 лодочка 18 передвигается .9 печь. По окончании процесса диффузии лодочка с помощью толкателя сноBct 1перемещаётся в тару.

Использо,вание предлагаемой тары значительно облегчает трансnopTtjpoBKy полупроводниковых пластин, позволяет за счет механизации процесса загрузки и выгрузки лодочек ускорить обработку пластин.

ТАРА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, отличающая с я тем, что, с ц1елью расширения функциональных и эксплуатационных возможностей, она снабжена подпружиненными крышками и фиксатором, расположенным на оси ручки, причём замок выполнен в виде защелки с выступом и Г-образным упором, установленным с . возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен, кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его доннойчасти. (Л оь 00

фиг. г

f4

/cf

0vg.J

J oSe/yf y/77O Т fJoSe/jMy/ло

Фг/f.S

Фг/г. 4

6