Устройство для сортировки полупроводниковых приборов Советский патент 1983 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к производ ству изделий электронной техники и может быть использовано в технологическом оборудовании для контроля и сортировки полупроводниковых прн,tборов, например микросхем. Известно устройство для сортиров ки полупроводниковых приборов, соде жащее механизм подачи полупроводниковых приборов из кассет, блок сор тировки полупроводниковых приборов, и механизм загрузки полупроводников приборов в кассеты 1. Недостатком является то, что известное устройство не обеспечивает автоматической смены кассет в механизмах подачи и загрузки полупровод .риковых приборов в кассеты, а также требует частой смены кассет в связи с малой емкостью кассет, что снижает производительность сортировки полупроводниковых приборов. Наиболее близким к предлагаемому является устройство для сортировки полупроводниковых приборов, содержащее механизм подачи полупроводник вых приборов иэ кассетj блок сортир ки полупроводниковых приборов ,и ме ханизмы загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, причем механизм подачи и механизмы загрузки выполне ны с направляющими средствами для перемещения кассет по направляющим 2il. Данное устройство позволяет испол зовать кассеты большей емкости,,но требует раздельной загрузки кассет в механизм подачи полупроводниковых приборов и в механизмы для загрузки полупроводниковых приборов, причем загрузка кассет производится через неравномерные промежутки времени случайной величины, что требует постоянного присутствия оператора и снижает производительность сортировк полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение производительности в работе. Указанная цель достигается тем, что устройство для сортировки полупроводниковых приборов, содержащее механизм подачи полупроводниковых приборов из кассет, блок сортировки полупроводниковых приборов и меха низмы загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, причем механизмы подачи и механизкы загрузки выполнены с направляющими и средствами для перемещения кассет по направляющим, снабжено желобом и упорами для кассе при этом желоб установлен под направ ляющими механизма подачи полупроводвиковых приборов и выполнен зигзагообразной формы с окнами для кассет, расположенными напротив направляющих для кассет NuaxaHH3MOB загрузки полупроводниковых приборов, причем поверхности желоба, расположенные напротив окон для кассет, выполнены наклонными в сторону окон, а упоры для кассет установлены над направляющими для .кассет напрртив окон на расстоянии,меньшим длины кассеты. На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - Б-Б на фиг. 1. Устройство содержит механизм 1 подачи полупроводниковых приборов из многорядных кассет 2, размещенный в верхней части станины, который выполнен с направляющими 3 для кассет 2 и средством 4 для перемещения кассет по направляющим, механизм 1 подачи полупроводниковых приборов содержит также механизм 5 для выталкивания полупроводниковых приборов из ручьев кассеты 2, и механизм для загрузки кассет из стопы на направляющие 3. Блок б сортировки полупроводни,ковых приборов соединен с механизмом 1для подачи полупроводниковых приборов лотком 7 для приборов и содержит механизмы для транспортированияи подключения полупроводниковых прибрров к измерительному блоку. Устройство также содержит механизмы 8 для загрузки полупроводниковых приборов в кассеты 2, количество которых соответствует числу групп сортировки приборов. Механизмы 8 загрузки п элупроводниковых приборов устанЪвлены на станине на разной высоте под механизмом для подачи полупроводниковых приборов , из кассет и блоком 6 для сортировки приборов и соединены с блоком 6 для сортировки лотками 9 и 10 для полупроводниковых приборов . и выполнены с направляющими 11 и . средствами для перемещения кассет по направляющим 11 (не показаны/. Для транспортирования пустых -кассет 2из механизма 1 подачи полупроводниковых приборов в механизмы 8 загрузки полупроводниковых приборов предназначен желоб 12, установленные под направляющими 3 меха;низма 1 подачи полупроводниковых приборов и выполнен зигзагообразной формы, с окнами 13 для кассет, расположенными напротив направляющих 11 механизмов 8 загрузки полупроводниковых приборов, г оверхности 14 желоба 12 выполнены наклонными в сторону окон 13. Для фиксации кассет 2 относительно направляющих 11 механизмов 8 загрузки полупроводниковых приборов и желоба 12 устройство снабжено упорами 15 для кассет, уСтанойленных над напрггвляющими 11 напротив окон 13 на расстоянии, меньшем длины кассеты. Такое расположение упоров 15 позволяет фиксировать кассеты 2 часть кассеты выступает из

окон 13 в желобе 12. В направляющих 3 для кассет механизма для подачи полупроводниковых приборов над жело.бом 12 выполнен вырез 16 для кассет. Над направляющими 11 установлены планки 17 для фиксации кассеты 2.

Кроме того, устройство содержит механизмы 18 для укладки в стопы эагружных кассет из направляющих 11 механизмов для загрузки полупрюводниковых приборов (не показаны).

Устройство работает следующим ; образом.

Кассеты 2 Отделяются от стопы и укладываются на направляющие 3 механизма 1 подачи полупроводниковых приборов.

Средством 4 кассеты перемещаются на шаг, равный расстоянию между ручьями кассеты 2 и после .совмещения каждого руч.ъя кассеты механизмом 5, полупроводниковые приборы выталкиваются из кассеты и по лотку 7 перемещаются в блок б сортировки полупроводниковых приборов, в соответе ствии с результатами измерения из Ьлока б сортировки, полупроводниковы приборы по лоткам 9 или. 10 подаются в один из механизмов 8 для загрузки полупроводниковых приборов в кассеты которые по мере заполнения их ручьев перемещаются на шаг, равный расстоянию межлу ними, средствами для перемещения кассет по направляющим- 11. Первоначально до поступления пустых кассет 2 из механизма 1 для подачи полупроводниковых приборов, приборы загружаются в кассеты 2 в механизмах 8 для загрузки оставшиеся после разбраковки предыдущей партии приборов .

По мере выгрузки полупроводниковыХ приборов кассеты 2, находящиеся в направлякнцих 3 мехаиизма 1 подачи полупроводниковых приборов, кассета перемещается средством 4 для перемещения кассет к вкрезу 16 направлящих 3 .и после того, как кассета полностью выгружена, она, под действием сил тяжести подает через вырез 16 в желоб 12 и по поверхностям 14 желоба 12 напоавляется в окна 13 и через окна 13 поступает в направляющи 11 одного из механизмов 8 для загру ки полупроводниковых приборов, если на направляющих 11 находится еще незагружающая кассета, то следующая кассета фиксируется над ней упором 15 и планками 17. Если в механизме 8 для загрузки- кассет находятся две кассеты, то следующая кассета перемещается по желобу 11 второй кассеты и соскальзывает вниз к другому (нижнему) механизму 8 для загрузки полупроводниковых приборов. По мере загрузки кассеты в механизмах 8 для загрузки полупроводниковы приборов нижняя кассета смещается относительно планок 17 и верхняя кассета занимает ее место. Таким образом, по желобу 12 .пустые кассеты 2 транспортируются в -направляющие 11 механизмов 8 для загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, т.е. количество загруженных полупроводниковыми приборами кассет в механизмах 8 загрузки равно количеству разгруженных кассет в механизмах .1 подачи, полупроводниковы приборов.

Если устройство включаетс я впервы то перед началом работы необходимо через желоб 12 загрузить несколько пустых кассет, в дальнейшем загрузка кассет осуществляется автоматически . .

Предлагаемое устройство позволяет повысить производительность сортировки полупроводниковых приборов за счет автоматической подачи кассет в механизмы для загрузки полупроводниковых приборов.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее механизм подачи полупровод|никовых приборов из кассет, блок сортировки полупроводниковых приборов и механизмы загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, причем механизмы подачи и механизмы загрузки выполнены с напра:эляющими и средствами для перемещения кассет по на- , правляюищм, о тличающе е с я Тем, что, с целью повышения производительности и работе , оно снабжено желобом и упорами для кассет, при этом желоб установлен под направляющими механизма подачи полупроводниковых приборов и выполнен зигзагообразной формы с окнами для кассет, расположенными напротив направляющих для кассет механизмов загрузки полупроводниковых приборов, причем поверхности желоба, расположенные напротив окон для кассет, выполнены наклонными в сторону окон, а упоры для кассет установлены над направляю-1 щими для кассет напротив окон на .расстоянии, меньшем длины кассеты.. СП О) ю ел