Электродуговой испаритель Советский патент 1988 года по МПК C23C14/36 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для получения геттерных слоев в испарительных ионногеттерных насосах. Известен электродуговой испаритель, используемый в испарительных геттерных насосах, выполненный в виде расходуемого катода, размещениого на фланце к изолированного от него с помошью изолятора, и электростатического экрана, окружающего расходуемый катод и изолятор. Недостатком известного испарителя является недостаточная надежность работы испарителя, обусловленная возможностью переброса катодШ)1х пятен . на нерабочую часть расходуемого катода. . . . . Наиболее близким техническим решением к изобретению является электродуговой испаритель, содержащий расходуемый катод, окруженный- прикатодным электроизолйрованным экраном, и заземленный фланец. Недостатком известного испарителя является низкая надежность работы ис парителя вследствие закорачивания зазора между расходуегФ1М катодом и электростатическим экраном материа-м лом расходуемого катода в процессе работы испарителя, что приводит к пе реходу катодных пятен дУги на экран, запыпенй.10 изолятора и ;:как следствие k авари тому выходу электродугового испарителя из строя. Цель изобретения - повышение надежности работы испарителя, .Указанная цель достигается те14, что электродугрвой ,испаритель, содержащий pacxoдye Iый катод, окруженный прикатоднын электроизолированным экраном, и заземленный фланец, снабжен дополнительным прианодным экраном и изолятором, размещенными между прикатодным экраном и фланцем испари теля. , На чертеже представлена конструкция электродугового испарителя. Испаритель содержит расходуемый катод I с рабочей зоной испарителя материала, ограниченный прикатодньлм экраном 2, который с помощью изолято ра 3 электрически отделен от дополни тельного прианодного экрана А, укреп ленного на изоляторе 5 испарителя, электрически изолирующего катод 1 от заземленного фланца б испарителя. 107 Электродуговой испар1 тель работает с.ледутощим образом. Катодные пятна, являющиеся истопником испаряемого материала, перемещаются по рабочей торцовой поверхности расходуемого катода , ограниченной пРНКатодным экраном 2. В процессе работы испарителя зазор между каг тодом и экраном постепенно уменьшается за счет напыления испаряемого материала на часть прикатодного экрана , расположенную вблизи зоны испарения. После возникновения короткого замыкания между катодом и экраном катодные пятна переходят на прикатодный эйран. Под воздействием собственного магнитного поля испарителя, возникающего за счет его рабочего тока, катодные пятна перемещаются по поверхности прикатодного экрана в сторону места подвода тока к испарителю, т.е. .в сторону изолятора 5, Однако испарение материала прикатодного экрана не может привести к выходу изолятора 5 изза наличия прианодного экрана 4. Для запыпения изолятора 5 необходим переход катодных пятен на прианодный эк.ран, который возможен только при наличии короткого замыкания между при- ; катодным и анодным экранами. Можно : считать, что сопротивление этого ко- ррткого замыкания не превышает сопро-; тивления вакуумной дуги, . должно быть ниже } Ом. Для нормальной работы электродугового испарителя необхо-, димо, чтобы сопротивление его изолятора 5. превьлпалО величину 10 Ом, поэтому время работы испарителя пос- . ле возникновения короткого замыкания до момента его аварийного выхода из строя из-за запыпения изолятора 5 увеличивается примерно в 10 раз.Это позволяет, в частности, устранять случайные мостиковые контакты между катодом и электростатическим экраном без разборки испарителя за счет прожигания этих контактов рабочим то(ом дуги. Кроме того, предложенная конструкция электродугавого испарителя позволя.ет не только сигнализировать аварийное состояние работы испарителя (короткое замыкание между расходуемым катодом и электроизолированным экраном), но и производить отключение источника питания. Дпя этого прикатодный электроизолнрованный экран подсоединяется к. пп.пожителыюму полюнормально разомкнутый контакт которого установлен в цепи сигнализаций

но замкнзггый контакг - в цепи источника питания испарителя.

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном,- и заземленный фланец, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы он снабжен дополнительным прианодкым экраном и изолятором, размещенными прикатодным экраном и фланцем испарителя.