Способ измерения толщины металлических пленок Советский патент 1984 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к контроль но-измерительной технике и может быть использовано для электромагнит ной толщинометри }. Известен способ измерения толщин неферромагнитных металлических пленок, заключающийся в том, что метал лическую пленку располагают на фиксированном расстоянии от катушек экраннох о преобразователя, и устройство для его реализации, содержа щее генератор переменного тока, вих ретоковый преобразователь экранного типа, измерительный усилитель, инди катор и систему ориентации. Для рас ширения пределов измеряемых параметров, например толщины металлических материалов, устройство снабжено четырьмя управляемыми ключами, образующими плечи мостовой схемы, в одну из диагоналей которой включен индуктивный возбудитель магнитного поля, а в другую - генератор намагничивающего тока, ключи противоположных плеч мостовой схемы попарно соединены между собой, включающий вход одной пары соединен с цепью сброса, выключающий вход - с включающим входом второй пары и выходом первой схемы временной задержки, а выключакяций вход второй пары соединен с выходом третьей .схемы временной задержки ClJ. Недостатками способа являются узкий диапазон измеряемых толщин металлических пленок и его сложност Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых толщин Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения толщины металлических пленок, заклю чающемуся в том, что измеряемые пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихретокового преобразователя, возбуждаю одну из них посредством генератора высокочастотных колебаний и по ампл туде напряжения на другой катушке преобразователя определяют толщину пленок, пленки толщинойh h перемещают к торцу катушки, где -ie к 2 «е - , j к - коэффициент связи между возбуждающей катушкой вихретокового преобразователя и ее зеркальным изображением при расстоянии от катушки до пленки, равном 0; f,u - радиус катушки и ее эквивалентная добротность; ш - частота питающего тока; - удельная электропроводность металлической пленки и ее магнитная проницаемость; Расстояния от иленки до катушек экранного вихретокового преобразователя. Способ реализуется с помощью устройства,, содержащего последовательно соединенные генератор высокочастотных колебаний, вихретоковый преобразователь экранного типа, амплитудный детектор и индикатор. Вихретоковый преобразователь содержит измерительную и возбуждающую катушки, включенные в контуры с трансформаторной связью. Измеряемую пленку располагают в зазоре между катушками резонансного экранного преобразователя, возбуждают одну из катушек переменным током и по амплитуде напряжения на другой судят о толщине измеряемой пленки. При этом металлическую пленку размещают посередине зазора между катушками и производят отсчет по шкале для толстых пленок вторичного прибора, а если указатель прибора расположен вначале шкалы, пленку перемещают к торцу одной из катушек преобразователя и производят отсчет по шкале для тонких пленок. Таким образом, способ измерений толщины металлических пленок позволяет расширить диапазон измеряемых толщин.

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩ1НЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся В ТОМ, что измеряемые пленки располагают посередине зазора между катушками экранного вихретокового преобразователя, возбуждают одну из них посредством генератора высокочастотных колебаний и по амплитуде напря- женин на другой катушке преобразователя определяют толщину пленок, о тличающийс я тем, что, с целью расширения диапазона измеряеЪ Ъ мых толщин, пленки толщиной перемещают к торцу катушки ьгRu)d,(v2,4l)() где -3.„ R S