Устройство для управления технологическим процессом Советский патент 1984 года по МПК G05B11/01 

00

со Сл Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах управления технологическими процессами. По основному авт. св. № 924660 известно устройство, содержащее фотоэлемент, вых-.д которого подключен через усилитель к lepBOMy входу первого компаратора, первый и второй ключи, первую и вторую RC-цепочки, сумматор, генератор, второй компаратор элемент совпадения, блок выделения максимума и аттенюатор, вход которого подклю чен через блок выделения максимума к выходу усилителя и к входам первого и второго ключей, а выход - к второму входу первого компаратора, выход которого соединен с первым входом элемента совпадения, управляющие входы первого и второго ключей соединены соответственно с первым и вторым выходами генератора, а выходы - соответственно через первую и вторую RC-цепочки с первым и вторым входами сумматора, первый и второй входы второго компаратора соединены соответственно с выходами сумматора и источника опорного напряжения, а выход - с вторым входом элемента совпадения 1. Недостатком известного устройства является наличие ложных срабатываний, вызванных некоторыми особенностями процесса плазмохимического травления: запыление смотрового окна реакционной камеры, вызванное осаждением на поверхность стекла продуктов реакции; измерение степени разряженности в реакционной камере, вызванное нестабильностью натекания рабочих газов; изменение мощности ВЧ-генератора. Влиянием этих факторов на точность работы устройства в ходе одного цикла обработки полупроводниковых пластин можно пренебречь, ибо изменение интенсивности излучения продуктов реакции, на которое они влияют, достаточно мало. Однако при более длительном периоде работы влияние этих факторов приводит к появлению ложных срабатываний, т. е. к недостаточной точности работы устройства. Целью изобретения является повышение точности устройства. Эта цель достигается тем, что в устройство дополнительно введены два инвертора. второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго элемента совпадения и через один из инверторов - с входом третьего элемента совпадения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивного счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор - с вторым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор - с третьими входами второго и третьего элементов совпадения. На чертеже изображена структурная схема устройства. Устройство для управления технологическим процессом содержит фотоэлемент 1, первый усилитель 2, первый компаратор 3, схему 4 выделения максимума, аттенюатор 5, первый и второй ключи 6 и 7, первую и вторую RC-цепочку 8 и 9, сумматор 10, второй компаратор 11, первый элемент совпадения 12, первый генератор 13, первый инвертор 14, второй генератор 15, второй 16 и третий 17 элементы совпадения, реверсивный счетчик 18, цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 19, второй усилитель 20, третий компаратор 21, второй инвертор 22. Устройство работает следующим образом. После начала процесса на выходе фотоэлемента 1 повышается уровень сигнала, который через усилитель 2 поступает на входы блока 4 выделения максимума, первого компаратора 3 и аналоговый вход ЦАП 19, задачей которого является установление такого коэффициента усиления сигнала по аналоговому входу, который бы обеспечивал в момент времени срабатывания первого компаратора 3 равенство сигналов с выхода второго усилителя 20 и опорного сигна-ла на входе третьего компаратора 21. После ЭТОГО; полученное значение коэффициента усиления на ЦАП (который фиксируется с выхода реверсивного счетчика 18) фиксируется на постоянном уровне до окончания процесса. Происходит это следующим образом. В .момент начала процесса запускается второй генератор 15, сигналы с которого через второй элемент совпадения 16 подаются на вход пря.мого счета реверсивного счетчика 18, в то время как первый элемент совпадения 17 закрыт логическим «О с второго инвертора 22. Напряжение на выходе второго усилителя 20 увеличивается до момента равенства опорному сигналу на выходе третьего компаратора 21. В этот момент сработает компаратор 21 и импульсы с второго генератора 15 будут поступать на вход обратного счета реверсивного счетчика 18 через первый элемент совпадения 17. Это будет продолжаться до момента срабатывания первого компаратора 3, когда элементы совпадения 16 и 17 закрываются, фиксируя тем самым коэффициент усиления ЦАП на постоянном уровне, а на вход элемента совпадения 12 через первый инвертор 14 поступает сигнал, подготавливающий систему к срабатыванию. Сигнал с выхода второго усилителя 20 дифферен

УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ по авт. св. № 924660, отличающееся тем, что, с целью повышения точности устройства, в него дополнительно введены два инвертора, второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно .соединенные цифроаналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго элемента совпадения и через один из инверторов - с входом третьего элемента совпадения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивного счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор - с вторым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход цифроаналогового преобразователя соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор - с третьими входами второго и третьего элементов совпадения.