Резьбовой интерферометр Советский патент 1956 года по МПК G01B11/24 G01B9/02 

Лредметои 1иибрстения являсич; iitoi.бовоп интерферометр для пепосрсдстненЕого из.меренпя угла, тага, С;) Д1гаметра и чнетоты боковых noiscpxiioi-reu разл1г-П ых резьб п нарезо:.

Отянчие предлагаемого резьпо1-;)го интерферометра от известных riai-MioMaeTi i в том, что его отрал иощая iiuii.rixuniTb выполнена в BJ.ie двух зе;)1;а.:, уста.човленных под углом 60 одни ог-но;;п другого, что дает воз.мол;ност1 нил пнтерференцпю лучей при )1(мЪ;;,:;,т 110СТН хода лучей.

На фиг. 1 показана rxoii; pe.si. 1гптерферомстра, па фиг. 2 - in пА крення.

учок лучей белого сцета от ческой ламночкл (1) нап 1авляете;1 депсорг (2) неносредственно, нли через монох)оматическ и нптер| 1е)0)1Ц110)П1Ыг свстофнльтр (:i), на )азделительную плисконаоалл;льну |1 пластину (-1). Pa6o4cii поверхностью этой пластины свет jiaiLieляется на два пучка: один нан11:и ляе1ся через к-омпеис;1тар (5) на отранмющую поверхность, о разлн;11 лую двумя зеркалами (G). установленным нод утлом н 60 одно к Д1)уто}гу, вттрпй оег-гщаГТ резьбу объекта (7).

Пучк.и света, птра кенные HoiseixiiocT;:ии зеркал н резьбы, чагтпчно прохотят в микроскон (объекпп (8), окуляр (0), установленпыГг на этн поперхностн. н )ir)i якбольнюй разности хода лучей ннтР1)фрируют в н/:оскост1 сеткл (10). совнадаютцей г фокальной нлоекостыо окуляра зтк.роскопа.

Пветофпльтр (3)

слуялгт для оыстрото

нахои: ення 1 нтер ||еренц 1онных нол:ос. ;г);на нолис ретуллруется наклоном зеркал (tij, которые с атоГ; целью укренлены на шнплях.

Лзм 11е1шя на -чзьбовом интерферометре зак.лочаются в следуюнгем.

Объект устанавлнвают в центрах (или iuuiM нрлспособленшг) так. чтобы его ось была перпендикулярна онгнческзй осЗ )ферометра. При этом ось впад;1ны совпадать с продольным HiTpiixo t сетшг. Находят ннтсрференд-лонную ка 1тин 11 черные ахром;1тпческ1:е HiiTepi;iepenHHiiHHbie полосы белого с:;ета нод ;11дят к ijfjiTirKa.ibioMy BiTp;ixy ceTini.

Чистота буковых нг;верхиостеи )1 он)еделяется неирямолпОЙность: (нзгнба.мн иитсрфер 1гци;нных по.юс п оце}1;г 5ается по Н-макснмум в полосах с последуюнгпм пе 1есчето:т в г; Кро}1Ы.

огреигность полоп;;ны угла прзф; ля в но1)мальном сеч.еннн резьпьт относ;.тел1,по половины угла зеркал (30°) оп;)еделяется по раснол|;ке :ито HCjHuii: insте:;1| 1Ч); 1Ц1;онпой нолосы.

н С11еднлй резьбы онр делиются на ннте;;Феромет11е io отсчет1 Ы ; устройстплМ так ;ке. K:IK на i3 iiCTных приборах для Кзьб.

npeitMyHieCTiso п; сдлагае П1,| резьбового интерферометра по сравнению известн1)Тм;г нрнПо1)ам закл1о-1Л тс; в уксл;гЧ|нии точносгп отсчета ;1азмеров.

Пр

Д ГГ о т н 3 о о il f т 1 н II я

Резьбовой иг1терФе1)оме1р в виде м;;кi ;iCKona с пнтерФе1}еид1101Г11ей камерой, в 1;отоГ10Й светоп Й пучок осв т-;;тел;|

разделяется на два перпендикуларных пучка, отличающийся, тем, что, с целью получения ит ерферен-Чни при неболыпой разности хюда лучей.

отражающая поверянсють интерферометра выполнена в виде двух зеркал, установв 60° одпо отаюсиленных под углом тельно другого.

S

fc Черная полоса

Черная полоса /