Подложкодержатель Советский патент 1984 года по МПК C23C13/08 

2. Подложкодержатель по п. 1, отличающийся тем, что фиксаторы выполнены в виде цилиндра, установленного коаксиально полому цилиндру с наружной стороны. 1089 171 3. Подложкодержатель по п. 1, о тличающийся тем, что внутри полого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца.

Изобретение относится к получению покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий на подложки в цилиндрических распыпительных системах./ Известен Подложкодержатель, выпод ненный в виде полого незамкнутого тела, например, части цилиндра, на вну ренней поверхности которого с помощью элементов фиксации размещены подпожки таким образом, что они находятся на одинаковом расстоянии от оси распылительного устройства. Использование такого подложкодержателя позволяет получать равномерное по толщине покрытие на большем количестве неподвижных подложек lj . Недостатком данного подложкодержателя является низкое значение коэф фициента использования материала покрытия из-за малой степени упаковки. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является. Подложкодержатель, содержащий полый цилинда с фиксаторами для установки подпожек в несколько рядов внутри полого цилиндра 2, Недостатком указанной конструкции подложиодержателя является то, что значительная часть распыленного материала осаждается на масках (экранах) закрывающих участки подложек, не подлежащие напылению. В результате увели чивается расход материалапокрытия. Цель изобретения - экономия материала покрытия путем увеличения плотности упаковки подложек в подложкодержателе. Поставленная цель достигается тем что в подложкодержателе, содержащем полый цилиндр с фиксаторами для установки подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра, в стенке полого цилиндра вдоль образующих выполнены сквозные щели под углом наклона друг к другу о Ч с 90 . Фиксаторы выполнены в виде цилиндра, установленного коаксиально полому цилиндру с наружной стороны. Внутри йолого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца. На фиг. 1 изображен Подложкодержатель, продольный разрез; на фиг. 2разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 разрез Б-Б на фиг. 2. Подложкодержатель собирается в следующей последовательности. Полый ЦИЛИНДР 1 собирается из со ставных частей, при этом в кольцевые канавки, выполненные внутри его, помещают маскирующие кольца 2, затем с обоих торцов полый цили1 др . скрепляют фланцами 3 при помощи винтов 4. Б сквозные щели вставляют подложки 6 и на полый цилиндр надевают фиксатор 5 для установки подложек, после чего фиксатор, прикрепляют к полому цилиндру винтами. После этого Подложкодержатель готов к работе. Все детали подложкодержателя выполнены из немагнитного материала. Плоские подложки 6 касаются друг друга по линии, параллельной образующей цилиндра, и своими крайними прямоугольными участками, расположенными внутри полого цилиндра 1, образуют замкнутый многогранник, причем калщая подложка для предьщущей является маской, а в случае использования подложек, в которых прямоугольные участки отделены прорезями, кольца 2 являются экранами, закрывающими просвет, образованный этими прорезями. Причем, площадь, маскирующая кольцами 2, составляет 20% от всей запыляемой радиальным потоком материала плоскости. При таком размещении подложек и колец коэффициент использования материала, распыляемого внутри подлож3 , 10891714.

кодержателя, достигает 80%, что уве- , териала, имеющего низкую адгезию с маличивает безотходность производства. териалом покрытия, что облегчает опеКольца 2 вьшолняются сменными из ма- рацию утилизации последнего.

А-А