Подложкодержатель Советский патент 1984 года по МПК C23C13/08 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано при конструировании вакуумных установок в вакуумных напылительных линиях.

Известен подложкодержатель, выполненньй в виде прямоугольной плиты, имеющей элементы крепления подложек и выступы для транспортирования 1J . Однако этот подложкодержатель не позволяет загружать одновременно достаточное количество подложек. В вакуумной установке с таким подложко держателем нерационально использован объем камеры, так как дпя получения высокого качества напыляемого слоя такой подложкодержатель должен поступательно перемещаться относительно источника напыления, что влечет за собой увеличение длины вакуумной камеры в три и более раза по сравнению с размером подложкодержателя. Дополнительное увеличение количества одновременно загружаемых подложек влечет за собой, как правило, неоправданное увеличение объемов вакуумньк камер. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является подложкодержатель, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, причем каждая секция снабжена опорными площадками, смещенными относительно осей шарниров 2j.

Недостатком известного подложкодержателя является сложность конструкции, так как при передаче подложек из камеры в камеру к подложкодержателю требуется дополнительньй механизм, перекладывающий подпожку с одного подложкодержателя на другой.

Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.

Поставленная цель достигается тем. что в подложкодержателе, содержащем основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, каждая секция снабжена опорными площадками, смещенными относительно осей шарниров.

На фиг.1 изображен подложкодержатель, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Подложкодержатель содержит основание в виде расположенйых друг за другом секций 1. Противоположные торцевые поверхности секций по ходу транспортирования соединены между

o собой шарнирами 2, которые имеют оси 3. Выступаюш;ие части осей играют роль зацепов при транспортировании. Каждая секция подложкодержателя имеет опорные площадки 4, которые вы5полнены со смещением относительно осей шарниров и ограничивают разворот секций в одном из направлений вращения в шарнире.

В процессе напыления подложкодер-

0 жатель транспортируется по замкнутым направляющим камеры, при этом крайние секции подложкодержателя между собой зацепления не имеют. Благодаря замк- нутым направляющим камеры подложко5держатель образует бесконечньй конвейер, а вследствие шарнирного соеди нения секций между собой подпожкодержатель способен транспортироваться по радиусным участкам направляющих.

0

Подложкодержатель за счет олорных площадок может транспортироваться в безопорном пространстве (не имеющем направляюпщх) затворно-щлюзовых устройств и т.п., т.е. при посекционном вьщвижении подложкодержателя на направляющих секции 1 разворачиваются вокруг осей шарниров 2 до взаимодействия опорных площадок 4 смежных секций, образуя при этом жесткий

0 блок под действием силы тяжести. При достижении следующих направляющих подложкодержатель вновь образует бесконечный конвейер за счет замкнутых направляющих.

5 По сравнению с.известными в предлагаемом подложкодержателе можно разместить большее количество подложек, причем передача подложек с одной позиции на другую осуществляется без

0 дополнительных устройств, что значительно упрощает конструкцию подложкодержателя.

Фиг, I

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, от л йчающийся тем, что, с целью упрощения конструкции подложкрдержа-г теля, каждая секция снабжена опорными. площадками, смещенными относительно осей шарниров. (Л с