Способ улавливания высокодисперсных частиц Советский патент 1984 года по МПК B01D47/05 

Изобретение относится к очистке -газов от дисперснь х частиц двуокиси кремния и может быть использовано в металлургической промьшшенности при производстве полупроводниковых материалов.

Известен способ улавливания пыли газового потока, включакяций инжекционное контактирование жидкости с газом с последующим образованием пены газожидкостнБш потоком f1 .

Способ не применим к улавливанию высокодисперсных частиц.

Наиболее близким к предлагаемому является способ улавливания высокодисперсньк аэрозолей путем насыщения запьшенного газового потока парами воды с последующими конденсационным укрупнением и осаждением аэрозольных частиц в зоне с температурным градиентом 14-20 град/мм .23.

Известньй способ обеспечивает 99%-ну10 степень улавливания частиц двуокиси кремния с размерами 0,05 мкм, однако степень улавливания более мелких частиц снижается до 20%

Цель изобретения - повьшение степени улавливания частиц двуокиси крения с размерами менее 0,05 мкм.

Поставленная цель достигается Согласно способу улавливания высокодисперсных частиц, включающему насыщние газового потока парами воды с последующим укрупнением и осаждением частиц в зоне с температурным градиентом, в очищаемый поток перед подачей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и температурный градиент поддерживают в интервале 3-8 град/м.

Оптимально температурный градиент поддерживают в интервале 5-7 град/м и насьщение парами воды ведут до 150200 г/мз.

Отличие этого способа от известного состоит во введении в очищаемый поток хлористого водорода перед подачей его в зону с температурным градиентом в интервале 3-8 град/м. Другое отличие состоит в том, что этот инл тервал используют равным 5-7 град/м и насьщение парами воды ведут до 150200 г/мз.

На поверхности частиц двуокиси кремния образуется адсорбционный слой хлористого водорода, который как бы притягивает влагу, улучшая смачиваемость частиц двуокиси кремния. При

пропускании газового потока в поле с температурным градиенфом, куда одновременно подают пары, происходит конденсация влаги на поверхности частиц и их укрупнение.

При температурном градиенте более 8 град/м и менее 3 град/м падает степень улавливания.

Пример. При паровом гидролизе в низкотемпературной плазме получили газовый поток, содержащий частицы двуокиси кремния, 75% которых имели размер 0,02 мкм.

После создания в атмосфере потока 150 г/м и вьщержки в атмосфере хлористого водорода загрязненный поток подавали в трубопровод с температурным полем, имеющим градиент 6 град/м. На этом участке частицы укрупнялись. Когда их размеры достигали, более.5 мкм, газовый поток подавали в антициклон.

В табл.1 и 2 приведены результаты опытов с иными значениями температурного градиента и влажности.

Как следует из табл.1 и 2 предлагаемый способ позволяет повысить степень улавливания мелкодисперсных частиц до 40-92% против 20% в известном способе. При оптимальных режимах степень улавливания составляет 8992%.

Т- а б л и ц а 1

150

Увеличиваютсягабариты установки

63

150 150

92 90 45 20 150 150 150

59

40

92

150

6 6

89 54

Происходит конденсация влаги в объеме, аппарат захлебывается

1. СПОСОБ УЛАВЛИВАНИЯ ВЫСОКОДИСПЕРСНЫХ ЧАСТИЦ, вкл бчаюпщй насыщение газового потока парами воды с последующим укрупнением и осаждением частиц в зоне- с температурным градиентом, отличающийся VeM, что, с целью повышения степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм, в очищаемый поток перед подачей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и .температурный градиент поддерживают в интервале 38 град/м. 2. Способ ПОП.1, отличающ и и с я тем, что температурный градиент поддерживают винтервапе57 град/м и насыщение парами воды ведут до 150-200 г/мз. о $ (Л с