СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО ГАЛОГЕНСЕРЕБРЯНОГО МАТЕРИАЛА ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ Советский патент 1998 года по МПК G03C1/05 

Изобретение относится к способам изготовления фотографических материалов на стеклянной подложке с галогенсеребряным желатиновым слоем для фотолитографии и может быть использовано в химико-фотографической промышленности.

Известен способ изготовления галогенсеребряного материала для фотолитографии путем введения в расплавленную аммиачную бромйодсеребряную эмульсию со средним размером микрокристаллов d_сp = 0,06 ± 0,02 мкм, pH 5,95 ± 0,15 и pBr 3,6 ± 0,2 сенсибилизатора - 1-β-оксиэтил-3-н-пропил-5-(3-β-карбоксиэтилбензоксазолинилиден-2-этилиден)имидазолидинтион-(2)-она-(4), стабилизатора - 1-фенил-5-меркаптотетразола, дубителей - 1,3,5-триакрилоилгексагидротриазина-1,3,5 и N, N'-тетраметилен-бис-(N'',N'''-этиленкарбамида), полива эмульсии на стеклянную подслоированную подложку, студенения, сушки, нанесения на обратную сторону подложки композиции противоореольного слоя, включающей противоореольные красители, 1,3-диэтил-2,5-диметилоксапиррол-(3)-диметинцианинтозилат и п-фуксин основной, сополимер метилметакрилата и метакриловой кислоты и органические растворители, сушки противоореольного слоя и влажного термодубления эмульсионного слоя [1].

Недостатком указанного способа является то, что фотоматериалы, изготовленные этим способом, обладают неудовлетворительно высокой микродефектностью: 4,8 шт/см² до химико-фотографической обработки, 22,8 и 21,6 шт/см² после обработки в негативном режиме и режиме с обращением соответственно. Коэффициент контрастности γ имеет величину лишь 7,4, что недостаточно для получения высококачественных фотошаблонов. Кроме того, необходимость нанесения на обратную сторону пластин противоореольного слоя и использование при этом органических растворителей усложняет технологию изготовления фотоматериала.

Целью изобретения является снижение микродефектности и повышение контрастности изображения, а также упрощение процесса изготовления материала.

Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления галогенсеребряного материала для фотолитографии с использованием противоореольного красителя путем введения в расплавленную аммиачную бромйодсеребряную эмульсию со средним размером микрокристаллов d_сp = 0,06 ± 0,02 мкм, pH 5,95 ± 0,15 и pBr 3,6 ± 0,2 сенсибилизатора - 1-β-оксиэтил-3-н-пропил-5-(3-β-карбоксиэтилбензоксазолинилиден-2-этилиден)имидазолидинтион-(2)-она-(4), стабилизатора - 1-фенил-5-меркаптотетразола, дубителей - 1,3,5-триакрилоилгексагидротриазина-1,3,5 и N, N'-тетраметилен-бис-(N'',N'''-этиленкарбамида), полива эмульсии на стеклянную подслоированную подложку, студенения, сушки и влажного термодубления эмульсионного слоя в качестве противоореольного красителя используют 1-окси-2-(фенилазо)-8-(ацетиламино)нафталин-3,6-дисульфокислоты динатриевую соль, которую вводят в эмульсию после дубителей в количестве 0,07 - 1,0 г/кг эмульсии.

Таким образом, отличием предложенного способа от способа-прототипа является то, что противоореольный краситель указанного выше строения (далее краситель I) вводят непосредственно в эмульсию в указанном количестве после введения в нее дубителей. Это позволяет снизить микродефектность до значений 2,8 - 3,2 шт/см² до химико-фотографической обработки и 12,7 - 16,1 шт/см² после обработки, повысить γ до 8,0 - 8,2, исключить необходимость приготовления и нанесения противоореольного слоя. Противоореольные красители, используемые в известном способе, нельзя вводить в эмульсию, поскольку они сильно влияют на фотографические свойства фотопластин (снижают чувствительность, повышают уровень вуали).

Краситель I в эмульсию вводят обычно в виде водного раствора с содержанием красителя от 0,5 до 2,5 г/л. При содержании красителя менее 0,07 г/кг эмульсии не достигают достаточного эффекта снижения плотности микродефектов. Содержание красителя более 1,0 г/кг эмульсии нецелесообразно из-за неполного вымывания красителя из эмульсионного слоя при химико-фотографической обработке материала.

Пример 1 (прототип). Листовое стекло обрабатывают раствором эпоксипропоксипропилтриэтоксисилана для придания ему сродства с желатиной, сушат при 120^oС 4 мин, ополаскивают водой и сушат нагретым до 40^oС воздухом. В качестве эмульсии используют аммиачную бромйодсеребряную эмульсию с содержанием галогенидов серебра 56 ± 2 г/кг эмульсии, в том числе иодида серебра 2,7 ± 0,1, с размером микрокристаллов 0,06 ± 0,02 мкм, содержанием желатины 83 ± 3 г/кг эмульсии, pH 5,95 ± 0,15 и pBr 3,6 ± 0,2. Для нанесения на подложку эмульсию плавят при 40^oС и последовательно вводят в расчете на 1 кг эмульсии 250 мл воды, 0,16 ± 0,01 г (81 мл метанольного раствора с концентрацией 2 г/л) спектрального сенсибилизатора - 1-β-оксиэтил-3-н-пропил-5-(3-β-карбоксиэтилбензоксазолинилиден-2-этилиден)имидазолидинтион-(2)-она-(4), 0,041 ± 0,007 г (8,1 мл водно-этанольного раствора с концентрацией 5 г/л) стабилизатора - 1-фенил-5-меркаптотетразола, 0,20 ± 0,03 г (41 мл водно-метанольного раствора с концентрацией 5 г/л) дубителя - 1,3,5-гексагидротриакрилоилтриазина-1,3,5' 0,6 ± 0,1 г (12 мл метанольного раствора с концентрацией 50 г/л) дубителя - N,N'-тетраметилен-бис-(N'',N'''-этиленкарбамида).

Для улучшения растекаемости эмульсии по поверхности подложки в нее вводят поверхностно-активное вещество, например 0,1 г/кг эмульсии динатриевой соли диэтилового эфира N-(γ-децилоксипропил)-N-[β-(карбокси)-β-(сульфопропионил)] аспарагиновой кислоты. Эмульсию наносят на подложку в количестве 0,22 л на 1 м² подложки, студенят при 6^oС, сушат нагретым до 40^oС воздухом, в результате чего получают светочувствительный слой толщиной 5,5 мкм. На обратную сторону подложки наносят противоореольный слой для устранения бликов отражения, рабочий раствор которого в 1 л спиртового раствора содержит 3,5 ± 0,5 г красителя - 1,3-диэтил-2,5-диметилоксапиррол-(3)-диметинцианинтозилата, 3,7 ± 0,5 г красителя - п-фуксина основного, 40 ± 7 г сополимера метакриловой кислоты и метилметакрилата (в соотношении 2 : 1) и 60 ± 10 г метилцеллозольва. Нанесенный в количестве 17 мл на 1 м² подложки раствор сушат при 20^oС. Эмульсионный слой материала подвергают влажному термодублению путем выдерживания материала 17 ч при 55^oС и относительной влажности 65% и затем в течение 7 ч при 55^oС и относительной влажности 55%.

Химико-фотографическую обработку фотографического материала осуществляют в соответствии с техническими условиями на высокоразрешающие фотопластинки (ТУ 6-17-927-83) в режимах, указанных в табл.1, и с использованием приведенных в табл.2 обрабатывающих растворов. Обрабатывающие растворы перед использованием фильтруют через фильтр с диаметром пор 0,5 мкм. Фотографические характеристики материала определяют после экспонирования (100 лк) сенситометрического клина (прибор ФСР-4) и химико-фотографической обработки. Разрешающую способность находят путем впечатывания миры и определения группы линий, разрешаемых под микроскопом с увеличением 1000х. Плотность дефектов (в шт/см²) определяют как среднее из числа микродефектов размером более 1,5 мкм, обнаруживаемых на пяти фотопластинках под микроскопом при увеличении 100х и скорости перемещения фотопластинки под объективом микроскопа 1 см/мин. Исследовали дефектность фотопластинок без химико-фотографической обработки, а также дефектность на светлых и темных полях ("проколы") фотопластинок после обработки в негативном режиме и режиме с обращением изображения. Результаты испытаний фотопластинок приведены в табл.3.

Пример 2. Для изготовления фотографического материала используют эмульсию, описанную в примере 1. При подготовке к поливу на 1 кг эмульсии вводят 300 г воды и добавки, перечисленные в примере 1. После введения дубителей в эмульсию дополнительно вводят 0,07 г (28 мл водного раствора с концентрацией 2,5 г/л) на 1 кг эмульсии противоореольного красителя (I), после чего прибавляют поверхностно-активное вещество, указанное в примере 1. Эмульсию наносят в количестве 0,23 л на 1 м² подложки. При этом получают фотографический материал с толщиной эмульсионного слоя 5,5 мкм. Влажное термодубление эмульсионного слоя и исследование свойств фотографического материала осуществляют так, как описано в примере 1. При этом получают результаты, представленные в табл.3.

Из данных, приведенных в табл.3, видно, что предлагаемый способ изготовления фотографического материала позволяет уменьшить плотность микродефектов материала и полученного изображения. Аналогичные результаты получают при разбавлении 1 кг эмульсии 250 или 70 г воды, уменьшая нанос эмульсии до 0,22 или 0,19 л на 1 м² подложки соответственно.

Пример 3. Поступают аналогично тому, как описано в примере 2, однако для введения в эмульсию используют 0,51 г (204 мл водного раствора с содержанием 2,5 г/л) на 1 кг эмульсии противоореольного красителя I. При различном разбавлении эмульсии водой (70, 250 или 300 г на 1 кг эмульсии) и наносе эмульсии (0,22, 0,25 и 0,26 л на 1 м² подложки соответственно) получают фотографический материал, по свойствам аналогичный описанному в примере 2 (см. табл.3).

Пример 4. При изготовлении фотографического материала поступают так, как описано в примере 2, увеличив содержание противоореольного красителя I до 1,0 г (200 мл водного раствора с содержанием 5,0 г/л) на 1 кг эмульсии. После изготовления фотографического материала и исследования его свойств получают результаты, приведенные в табл.3.

Таким образом, применение предлагаемого способа изготовления фотографического галогенсеребряного материала для фотолитографии вместо известного способа обеспечивает уменьшение плотности микродефектов материала и фотографического изображения, что улучшает качество фотошаблонов для фотолитографии, повышение γ и упрощение процесса изготовления материала.

Способ изготовления фотографического галогенсеребряного материала для фотолитографии с использованием противоореольного красителя путем введения в расплавленную аммиачную бромйодсеребряную эмульсию со средним размером микрокристаллов ^-d_ср = 0,06 ± 0,02 мкм, pH 5,95 ± 0,15 и pBr 3,6 ± 0,2 сенсибилизатора - 1-β-оксиэтил-3-н-пропил-5-(3-β-карбоксиэтилбензоксазолинилиден -2-этилиден)имидазолидинтион-(2)-она-(4), стабилизатора - 1-фенил-5-меркаптотетразола, дубителей - 1,3,5-триакрилоилгексагидротриазина-1,3,5 и N, N'-тетраметилен-бис-(N'', N'''-этиленкарбамида), полива эмульсии на стеклянную подслоированную подложку, студенения, сушки и влажного термодубления эмульсионного слоя, отличающийся тем, что, с целью снижения микродефектности и повышения контрастности изображения, а также упрощения процесса изготовления материала, в качестве противоореольного красителя используют 1-окси-2-(фенилазо)-8-(ацетиламино)-нафталин-3,6-дисульфокислоты динатриевую соль, которую вводят в эмульсию после дубителей в количестве 0,07 - 1,0 г/кг эмульсии.

Способ изготовления фотографического галогенсеребряного материала для фотолитографии с использованием противоореольного красителя путем введения в расплавленную аммиачную бромйодсеребряную эмульсию со средним размером микрокристаллов ^-d_ср = 0,06 ± 0,02 мкм, pH 5,95 ± 0,15 и pBr 3,6 ± 0,2 сенсибилизатора - 1-β-оксиэтил-3-н-пропил-5-(3-β-карбоксиэтилбензоксазолинилиден -2-этилиден)имидазолидинтион-(2)-она-(4), стабилизатора - 1-фенил-5-меркаптотетразола, дубителей - 1,3,5-триакрилоилгексагидротриазина-1,3,5 и N, N'-тетраметилен-бис-(N'',N'''-этиленкарбамида), полива эмульсии на стеклянную подслоированную подложку, студенения, сушки и влажного термодубления эмульсионного слоя, отличающийся тем, что, с целью снижения микродефектности и повышения контрастности изображения, а также упрощения процесса изготовления материала, в качестве противоореольного красителя используют 1-окси-2-(фенилазо)-8-(ацетиламино)-нафталин-3,6-дисульфокислоты динатриевую соль, которую вводят в эмульсию после дубителей в количестве 0,07 - 1,0 г/кг эмульсии.