Устройство для испытаний полупроводниковых приборов Советский патент 1984 года по МПК H05K13/00 H01L21/66 

У Изобретение относится к технологическому оборудованию электротехни ческой и электронной промьшшенности и предназначено для проверки электрических параметров силовых полупро водниковых приборов, например, при приемо-сдаточных испытаниях. Известно устройство для испытани полупроводниковых приборов, содержа щее контактное устройство, корпус, снабженный поворотно-фиксйрующим мехэнизмом, и носители полупроводни ковых приборов Ly . Однако это устройство не позволя провести испытания при двух существенно разных температурах. Кроме то го, в устройстве отсутствует узел, осуществляющий коммутацию испытательно-измерительных устройств. Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство для климатических испытаний, содержащее теплоизолированные камеры тепла и холода с размещенным в них транспортирзадщими роторами и механизм перегрузки полупроводниковых приборов между роторами. Камеры тепла и холода разделены полостями, соединенными с окружающей атмосферой 2 . В известном устройстве роторы ра мещены полностью в теплоизолированных камерах друг над другом, а®механизм перегрузки перегружает испытуемые приборы через все роторы с п вого до последнего. Такая конструкция сложна, так как количество рото ров должно быть равно количеству температурных режимов. Кроме того, конструкция этого устройства требуе размещения позиций загрузки и выгру ки на разных концах устройства, что ведет к усложнению эксплуатации уст ройства, так как при испытании силовых полупроводниковых приборов геометрические размеры устройства будут значительными. Цель изобретения - улучшение 3Kfc плуатационных возможностей и упроще ние конструкции. Указанная цель достигается тем, что устройство для испытаний полупр водниковых приборов, содержащее теп изолированные камеры с размещенными в них транспортирующими роторами и механизм перегрузки полупроводниковьк приборов между роторами, снабжено дополнительным механизмом перегрузки полупроводниковых Приборов между роторами, роторы размещены в одной плоскости, а теплоизолированные камеры выполнены в виде кожухов, , охватывающих внешние части окружное-, тей транспортирующих роторов. На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - схема расположения кожухов. Устройство Содержит транспортирующие роторы 1 и 2 с пазами 3 и носителями 4 испытуемых полупроводниковых приборов, механизмы 5 и 6 перегрузки испытуемых приборов, камеру 7 нормальной температуры, теплоизолированную камеру 8 повышенной температуры, теплоизолированную камеру 9 охлаждения, контактные узлы 10 и 11. На фиг. 1 обозначены также позиции загрузки 12 и выгрузки 13. Роторы 1 и 2 расположены в одной плоскости. Камеры 7-9 выполнены в ви де кожухов, охватывающих только внеш нюю часть роторов 1 и 2. Камера 9 охлаждения охватывает ротор 1 час-тично по длине окружности ротора. Для ускорения нагрева приборов камера 8 повышенной температуры продувается интенсивным потоком нагретого воздуха, температура которого равна температуре испытаний. Соответственно камера 9 охлаждения продувается потоком охлажденного воздуха. (Направление потока воздуха на фиг. 1 изображено треугольниками, направление перемещения испытуемых приборов и прерывистое пошаговое вращение роторов на фиг. 1 показано стрелками). Устройство работает следующим образом. Испытуемые приборы загружаются в позицию 12 загрузки и выгружаются из позиции 13 выгрузки. Остальные операции вьтолняются устройством автоматически. Загруженные приборы перемещаются ротором 1 в камеру 7 испытаний при нормальной температуре, в которой они на трех смежных позициях проходят три вида испытаний. Для этого контактные узлы 10 подключают к испытуемым приборам соответствующие испытательно-измерительные устройства (не показаны). После этого приборы перегружаются с ротора 1 на ротор 2 при помощи механизма перегрузки 5 затем попадают в камеру 8 повышен3-11

ной температуры, в которой они в ходе движения к позициям испытаний нагреваются. В позициях испытаний контактные узлы 11 подсоединяют к испытуемым приборам испытательно-измерительные устройства для проведения семи видов испытаний-. После испытаний при повьшенной температуре приборы перегружаются механизмом 6 перегрузки с ротора 2 на ротор 1 и вводятся в камеру 9 охлаждения. Охлажденные приборы поступают в позицию 13 выгрузки.

125944

Управление роторами, механизмами перегрузки, контактными узлами и испытательно-измерительными устройствами, а также устройствами ввода 5 и вывода информации (не показаны) осуществляется с помощью ЭВМ.

Изобретение позволяет улучшить эксплуатационные возможности устрой10 ства при упрощении его конструкции, что повысит производительность проведения испытаний и выход годных изделий.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее теплоизолированные камеры с размещенными в них транспортирующими роторами и механизм перегрузки полупроводниковых приборов между роторами, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей и упрощения конструкции, оно снабжено дополнительным механизмом перегрузки полупроводниковых приборов мезвду роторами, роторы размещены в одной плоскости, а теплоизолированные камеры выполнены в виде кожухов, охватываюпр х внешние части окружностей транспортирующих роторов.

U

Фмг.2