Вертикальный турбомолекулярный насос Советский патент 1980 года по МПК F04D19/04 

(54) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники. Известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и располо-, женный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца 1. При вращении вертикального ротора не совпадает его ось вращения с осью масс ротора, что ведет к биению вала в корпусе. Целью изобретения является уменьщение динамической неуравновешенности ротора. Указанная цель достигается тем, что на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан со стороны, противоположной подщипнику, на неподвижном кольце последнего - втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень, концы которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения с втулкой неподвижного кольца и со стаканом. На чертеже изображен насос, продольный разрез. Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное 3 и неподвижное 4 кольца. На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5 со стороны, противоположной подщипнику, на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощиупругий опор 7 невращаю.щийся стержень 8, концы которого снабжены щаровыми опорами 9 и 10, образующими щарнирные соединения с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5. Ротор 2 приводится во вращение электродвигателем 11. Во время выхода ротора 2 на номинальные обороты, стержень 8 позволяет ротору 2 выбрать свое положение в пространстве таким образом, чтобы совместилась ось вращения с осью массы ротора 2, при этом обеспечивается уравновешивание системы ротор-стержень. Стержень 8 при вращении ротора 2 совершает колебательные движения с частотой, равной частоте вращения ротора 2. Относительное движение ротора 2 и стержня 8, атакже стержня 8 относительно корпуса 1 при каждом обороте ротора 2 вызы