Криогенный вакуумный насос Советский патент 1985 года по МПК F04B37/08 

со ел

(

со

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен криогенный насос, содержащий корпус и откачивающий элемент, при этом конденсация откачиваемого газа происходит как на его днище, так и на боковой поверхности 1.

Однако криоагент подается в элемент из отдельного изолированного сосуда. В этом случае контрукция насоса становится сложной и ненадежной.

Известен также криогенный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криоагентом, снабженного патрубком для отвода паров. Сосуд разделен по высоте перегородками с образованием карманов для криоагента 2.

Основной недостаток известного насоса состоит в том, что криоагент в карманах выкипает неравномерно, в результате чего отдельные участки, боковой поверхности откачивающего элемента могут перегреваться.

Целью изобретения является повыщение быстроты откачки путем стабилизации температуры откачивающей поверхности сосуда.

Указанная цель достигается тем, что в криогенном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криоагентом, снабженного патрубком для отвода паров, в сосуде с образованием кольцевой полости установлена обечайка, герметично соединенная с сосудом в верхней части и расположенная с зазором относительно его днища, а патрубок снабжен вентилем, при этом в кольцевой полости установлен датчик уровня криоаген та, подключенный к вентилю.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 2 с криоагентом, снабженного патрубком 3 для отвода паров. В сосуде с образованием кольцевой полости 4 установлена обечайка 5, герметично соединенная с сосудом 2 в верхней части и расположенная с зазором относительно его днища, а патрубок 3 снабжен вентилем 6. В кольцевой полости 4 установлен датчик 7 уровня криоагента, подключенный к вентилю 6.

Насос работает следующим образом. На поверхности сосуда 2 откачивающего элемента конденсируется откачиваемый газ. Выделяющаяся теплота конденсации

5 приводит к кипению криоагента, например жидкого гелия. При падении уровня криоагента в полости 4 ниже уровня ус1;ановки датчика 7- последний отепляется и подает сигнал к прикрытию вентиля 6. Прикрытие вентиля б приводит к повыщению давления паров криоагента в сосуде 2, в результате чего часть криоагента передавливается в полость 4. При достижении уровня криоагента в полости 4 датчика 7 последний подает сигнал к открытию вентиля 6 и

5 передавливание криоагента в полость 4 прекращается. Таким образом, в полости 4 поддерживается постоянный уровень криоагента до тех пор, пока не будет израсходован весь криоагент из сосуда 2.

Образование в сосуде 2 откачивающего

элемента с помощью обечайки 5 кольцевой полости и установка на патрубке для отвода паров вентиля 6, управляемого датчиком 7 уровня, размещенным в полости 4, позволяют использовать весь запас криоJ агента для охлаждения с постоянной эффективностью как днища сосуда откачиЬающего элемента, так и его боковых стенок. Таким образом, обеспечивается стабильность температуры боковых стенок откачивающего элемента в течение всего

0 периода работы насоса между дозаправками криоагента.

1. КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криоагентом, снабженного патрубком для отвода паров, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки путем стабилизации температуры откачивающей поверхности сосуда, в последнем с образованием кольцевой полости установлена обечайка, герметично соединенная с сосудом в верхней части и расположенная с зазором относительно его днища, а патрубок снабжен вентилем. 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что в кольцевой полости установлен датчик уровня криоагента, подключенный к вентилю.