Раствор для избирательного травления меди Советский патент 1985 года по МПК C23F1/00 C09K13/04 

. 1 Изобретение относится к химической обработке, в частности к селективному травлению меди, и может быть использовано в радиотехнической промышленности и в других отраслях. Известен раствор травления, содер жащий персульфат аммония, хлорид ртути, тиомочевину и серную кислоту 1 . Недостатком данного растнора является его относительно высокая скорость травления, что приводит к неравномерности ее. Кроме того, содер жание ртути в растворе требует повы шенных требований к технике безопас ности. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является рас вор для травления печатных плат, со держащий перекись водорода, фосфорную кислоту, каталитическую добавку и воду, причем в качестве каталитической добавки используют марга цевокисльй калий р. Однако известный раствор не обес печивает равномерности стравливаемо го слоя, что при определенных условиях может привести к подтравляванию нижележащего слоя металла, особенно если его толщина значительно меньше толщины слоя меди. Целью изобретения является повышение, качества травления за счет равномерного и селективного удаления меди, Для достижения указанной цели раствор для избирательного травления мед содержащий перекись водорода и фосфор ную кислоту,дополнительно содержит натриевую или калиевую соль оксикис лоты, выбранную из группа, содержащей натрий или калий лимонно-кислый натрий или калий винно-кислый, при следующем соотношении компонентов, г/ Перекись водорода 25-350 Фосфорная кислота 25-350 Натриевая или калиевая соль оксикислоты, выб. , ранная из группы, содержащей натрий или калий лимонно-кисльй, натрий 1ши калий винно-кисльв410-2004.2 На чертеже изображена схема осуществления предложенного способа. В монёлевое кольцо 1 (сплав никеля, железа, марганца и др.) методом запрессовки или развальцовки устанавливают медную пластину 2 толщиной 200-300 мкм. Затем проводят либо алмазное точение, либо полировку, обезжиривание и декапирование общей поверхности в водном растворе едкого натра с -моноэтаноламином при t 60-100C 1-4 мин, промывают 53 проточной воде. Далее на отполированной общей поверхности (R 0,05) создают тонкий слой никеля толщиной 10-12 мкм электролитическим способом путем осагкдения никеля из сернокислого электролита. Затем вновь промывают в проточной воде. Далее путем электрополировки или химической полировки доводят толщину пленки никеля до 6-8 мкм. Мембрану 3 покрывают органическим лаком. Затем проводят удаление медной пластины 2 путем травления 3-4 ч в предлагаемом растворе до полного ее удаления. Для травления приготовлены растворы, содержащие различные количества перекиси водорода, фосфорной кислоты и лимонно-кислого Натрия. Результаты травления в предлагаемом и известных растворах представлены в таблице. Как видно из таблицы,. только предлагаемый раствор для травления обеспечивает улучшение качества травления за счет получения равномерности стравливаемого слоя. Преимущества предлагаемого раствора по сравнению с известньми заключаются в улучшении качества травления за счет исключения подтравливания нижележащих металлических слоев. Данный раствор травления для меди обладает селективностью воздействия, он неактивен ко многим металлам, например Т, V, Сг, Fe, Со. Годовой экономический эффект при изготовлении 10000 шт. мембран конденсаторного микрофона составляет 639600 руб.

Аммиак С

Перекись водорода Фосфорная кислота

Аммоний лимоннокислый

Перекись водорода Фосфорная кислота Лимонно-кислый на

Перекись водорода 30%-ная

Фосфорная кислота

Калий марганцевокислый

Перекись водорода Фосфорная кислота

Лимонно-кислый натрий

Пирофосфат калия Аммиак С

ля с образованием сквозных отверстий

Остатки в отдельных местах меди

Увеличение

шероховатости

6,0 5,2

50

никелевой

пленки,

Rg 0,32-0,16

6,0 5,9

120

Медь удалена полностью

В местах полного страв5,9 2,4

0 ливания меди начинается медленное травление никеля, неравномерностьпо толщине пленки никеля

6,0 5,8

210

То же

6,0

Стравливание пленки никеля с образованием сквозных отверстий диаметром 1 мм

Продолячвние таблицы

РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, содержащий перекись водорода и фосфорную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества травления, раствор дополнительно содержит натриевую или калиевую соль оксикислоты, выбранную из группы, содержащей натрий или, калий лимонно-кислый, натрий или.калий винно-кислый, при следующем соотношении компонентов, г/л: Перекись водорода 25-350 Фосфорная кислота 25-350 Натриевая или калиевая соль оксикислоты, выбранная из группы, содержшцей натрий или калий лимонно-кислый, натрий или калий винноО) кислый10-200