СП
х ;о
Изобретение относится к технологии стекла, а именно к способам обработки поверхности стекла и може быть использовано в приборостроении радиотехнической, электронной и оптико-механической промышленности, где требуется точное избирательное травление поверхности стекла.
Цель изобретения - повьпаение выхода годных изделий и сокращение времени травления.
Обрабатывают пластины полированного стекла размером мм. На лицевую поверхность пластин методем вакуумного напыления в установке УРМ-3 наносят хром в течение 30-40 мин. Затем покрывают слоем фоторезиста и сущат на центрифуге. Для закрепления фоторёзиста пластины подвергают температурному дублению в термостате при t в течение 15 мин. На поверхность накладывают фотошаблон с требуемым рисунком. Изображение экспонируют от источника актиничного излучения в течение 2-3 мин. Затем фотошаблон поворачивают на 180 и экспонируют повтоно, что позволяет устранить необлученные участки на поверхности пластины, возникающие из-за микродефектов в структуре фотошаблона.
Затем с облученных участков снимают фоторезист в проявителе при нагревании, промьшают дистиллированной водой. С незащищенных участков травят хром в травителе хрома, промывают слабым раствором НС1 (чтобы не образовался белый осадок) и дистиллированной водой. В результате получают изображение на пластине,
Для получения рельефа предварительно поверхность пластины обезжиривают раствором .Oy в HiS04. Это повьшает чистоту вытравливаемой поверхности и тем самым уменьшает возможность образования непротравленных участков на поверхности рельефа. Затем стекло травят в предлагаемом травильном растворе.
Результаты приведены в таблице.
С использованием предлагаемого раствора в пластинах получены углубления 10, 20, 40,60 мкм площадью 66 X28 мм. Поверхность рельефа проверяют с помощью оптического микроскопа. Непротравленных участков, а также выступов более 1 мкм на поверхности рельефа не обнаружено. Следовательно, чистота поверхности удовлетворяет щ едъявляемым требованиям.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР ДЛЯ СЛОЕВ СУЛЬФИДА ИНДИЯ | 1993 |
|
RU2046451C1 |
| Способ формирования изображения | 1980 |
|
SU911749A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА НА ПОВЕРХНОСТИ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ | 2008 |
|
RU2395404C2 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ РЕЛЬЕФОВ | 1985 |
|
SU1340398A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РИСУНКА В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ СТЕКЛА | 2010 |
|
RU2456655C2 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО РИСУНКА В ПЛЕНКЕ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ НА РЕЛЬЕФНОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ | 1993 |
|
RU2111576C1 |
| Способ изготовления цветных фотошаблонов | 1972 |
|
SU441002A1 |
| Способ изготовления фотошаблона на галогенсеребряной фотопластине | 1985 |
|
SU1325396A1 |
| Способ изготовления слайдов для гобо проекторов путем химического травления | 2023 |
|
RU2804601C1 |
| КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ СУХОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ | 2013 |
|
RU2524344C1 |
ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий HF, HiS04., HCI, Htp, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных изделий и сокращения времени травления, он дополнительно содержит HNO} при следующем соотношении компонентов, мас.%: HP20-40. H SO 1-10 нее3-15 НЖ),10-40 Hj,0Остальное
| ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР;iTE-r ;Ю-Т2ХП1Ч,ЗСКАЯ б::б;п1стека ЫБА | 0 |
|
SU300433A1 |
| Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. | 1921 |
|
SU3A1 |
| Способ запрессовки не выдержавших гидравлической пробы отливок | 1923 |
|
SU51A1 |
| Планшайба для точной расточки лекал и выработок | 1922 |
|
SU1976A1 |
