Способ изготовления цветных фотошаблонов Советский патент 1976 года по МПК G03F7/12 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦВЕТНЫХ ФОТОШАБЛОНОВ Поверхнеють стекпа окрашивая ионами меди из свинцовой лигатуры дважды. При этом в поверхность стекла диффундафуют и ионы свдада. Толщина окрашенного слоя состсшляет 0,2-0,25 мкм. Затем ведут диффузию ионов меди из оловянистой лигатуры при оптимальной,. плотнс ср тока. Свинен в поверхностном слое снижает температуру плавления стекла. Поэтому ионы меди диф фундируют из оловшшстой лигатуры практически только в менее вязкий слой стекла I. .. . ,с повышенной электропроводностью, толщи ва которого задана процессом окраски свгш иовой лигатурой. Толщина окрашенного слоя составляет в этом случае 0,3-0,32 мкм. Этот способ окраски автоматически соз;дает переменный состав стекла в поверхJHocTHOM слое. С целью получения в процессе травления отвесной стенки OKpameif-raoro рисунка фотошаблона, концентрация, плавиковой кислоты подбирается так, чтобы обес ечить скорость травлетгая чистого стекла в 4-5 раз большей окрашенного повер ностпого слоя. Например, буферный раствор плавиковой кислоты {32 об.ч. насыщенного NH,F и 6 об. ч. HF ) .обеспечивает укаЬазшое соотношение скоростей. Процесс получения Иоображе1-шя на поверхности окрашегшого стекла состоит в Канесеш-га известным слособом позитивного или 1Ю1-атианого фоторезистов, фотопечати. Проявления и сушки. Изображение, фоторезис jra .переносят па охрашетшый слой путем Правления участкоп стзтша, не закрьгтых фоторезистом. При травпенет в буферном фтористоводородном травителе скорость Ьравлегшя окрашенного слоя в 4 раза мель pie травления чистого стекла. При этом соо ношение скоростей при травлении на глубину окрашенног о слоя 0,3-0,35, боковая стенка окрашенного рисунка имеет верш1кальное положение, что и определяет четкость границы получешйого изображения. В результате электродиффузк 1 ионов сви ija и меди стекло окраигявается в красный 1вет типа - рубин. Покрытие приобретает эавномерную оптическую плотность на всей :поверхности. Дефекты ттша прозрачных отЬерстий - проколы - ка покрытии отсутЧ ртвуют. Высокое оптическое качество поверхност определяется дополнительно к выра ротки еще и размягчением окрашенното сло при 55О-6СЮ С. Fpaimga поглощения окраiVftHHoro слоя соответствует длинам Ьолн «О, б мкм. Коэффициент отражения для излучения с длинами волн до 6., 6 мкм 2-3%. П р и м : р. Стекло окрашивают на cne-j|циальной установкес помощью трех устройствь ва уст О тв а Имек)Т медно-свинцовую ли| атуру (1-2% меди), третье - медно-оловягистую П1гатуру {20%медп), Окраску ости стекла пр6водят в восстанГовительной атмосфереДрк тока; Ё 1:О а на каждом (устройстве. Окраску нроводат при 6ОО С. Стекло после окраски охлаждают и разре1зают на под ложки размером 7Ох70 мм. Ша окрашенную сторону подложки наносят фоторезист ФП-358 на центрифуге при 125ОО об/мин. Фоторезист экспонируют чен |рез эмульсионный фотошаблон. Проявляют IB 2%-номрастворе тринатрийфосфата 4Ocei|. После промывки и сушки при 12О С в течение ЗО мин участки покрытия, не защищенные фоторезистом, травят в буферном растворе (32 об.ч. NHijF и 6 об, ч. HF ) IB течение 6О сек. Фоторезист удаляют гфот мывкой фотошаблона в ацетоне. I В результате получают фотошаблон с за- |щитным покрытием из поверхностно окраше ного слоя и прозрачными участками. Толшигна окрашенного слоя 0,3 мкм при необходимой оптической плотности (95%) на длине волны актиничного излучеигш, В результате изображение лопучают с .четкими краями. Рисзшок на окрашенном слое следует с высокой степенью точности pHCjHKy фоторезиста, Различия в размерах рисунка и цветного фотошаблона не превышают 0,2 кмк. Способ отличается высокой производительностью, а процесс получения рисунка на окрашенной поверхности не требует специального оборудования. Ф о р м у л а и 3 о б f е т е н и я 1. Способ изготовления цветных фотошаблонов, включаюший окрашивание приповерхностного слоя стеклянной подпож ;и диффузией ионов металла-красителя из расплава его соединения с последующим восстановлением и формирование рисунка фотошаблона методом фотолитографической обработки приповерхностного слоя, о т л и ч а ю щ и и с я тем, чт-о, с целью пов.ыше7П1я разрешаюшей способности и увеличения выхода годных фотошаблонов, сначзла проводят окрашивание диффузией иоиоз металлакрасителя расплава соединений металлпкрасителя свинца с послед тошим восстановлением, ;.;гтем провода повторс-юе окрашивание диффузией ионов металла-красите: i из расплава соединений металла-кпаст т :ля и металла из грртпм олооо, висмут, с послед т 5пшм гзосс1а1 0 псит;-л.-;.

5.,6

2. Способ по п. 1, о т л и ч а ю шГи и3. Способ по пп, 1 и 2, о т л и ч ,а loся тем, что при окрашивании используют щ и и с я тем, что S качестве металлаэлектродиффуэию ионов металДа красителя.красителя используют медь.

:441О02