Устройство для изготовления многослойных датчиков Советский патент 1959 года по МПК G01R3/00 G01N25/14 

Для изготовления многослойных датчиков применяют устройства, состоящие из корпуса, металлической плиты, стеклянного колпака, поворотной диафрагмы с фигурными вырезами и органов управления.

Предлагаемое устройство более совершенно, так как оно обеспечивает получение надежного электрического контакта между проводящими слоями датчика при их напылении.

Это достигается тем, что в нем применен диск с фигурными отверстиями, экранирующий часть проводящего слоя датчика при напылении изолирующего слоя.

На фиг. 1 и 2 изображены две проекции предлагаемого устройства.

Устройство состоит из корпуса 1, экрана 2, поворотного диска 5, карусели 4, металлической плиты 5, стеклянного вакуумного колпака 6 и электромагнитов управления (не показаны па чертеже). Подлежащие напылению датчики устанавливаются в обоймах 7, необходимая последовательность операций обеспечивается применением вращающихся деталей: диска 3 и карусели 4.

Диск 3 представляет собою трафарет, через который осуществляется напыление датчиков. В зависимости от конфигурации датчика и способа вывода его электродов расположение и форма отверстий в диске может изменяться, что позволяет простой заменой диска иереходить к напылению датчика другой конфигурации.

Через отверстия 8 диска напыляют металл или полупроводник. Через отверстия 9 осуществляется иапылепие диэлектрика.

В начале процесса папылепия датчиков диск 3 с помощью фиксаторов 10 устанавливается так, чтобы его отверстия 5 и 9 совпадали с огверстиями в экране.

Соответствующим образом устанавливается и карусель. В этом положении осуществляется наныление нолосок металла или полупроводника на диэлектрические подкладки с выводами.

При повороте карусели на 90° подкладки оказываются над печками //, распыляющими диэлектрик. Для частичного напыления диэлектрика на металл отверстия в диске несколько смещены относительно отверстий экрана.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления многослойных датчиков, состоящее из корпуса, металлической плиты, стеклянного колпака, поворотной диафрагмы с фигурными вырезами и органов управления, отличающееся тем, что, с целью получения надежного электрического контакта между проводящими слоями датчика при их напылении, применен диск с фигурными отверстиями, экранирующий часть проводящего слоя датчика при напылении изолирующего слоя.

гиг.1

fM2