Способ изготовления малоинерционных термобатарей Советский патент 1948 года по МПК H01L35/14 

Известны способы изготовления малоинерционных термобатарей методом распыления материалов в вакууме.

Относительно большая инерция и малая чувствительность существующих термобатарей объясняется невозможностью уменьшить массу батарей без уменьшения механической прочности отдельных термонар.

Описываемый способ, обеспечивающий высокую чувствительность термобатареи при достаточной прочности ее, заключается в том, что на растворимую подкладку, например, из каменной соли методом распыления в вакууме наносятся поочередно слои: одного металла, диэлектрика, другого металла и вновь диэлектрика.

Термопара металл А - металл В может быть заменена парой металл - полупроводник.

Такие чередующиеся слои металлов и диэлектрика, каждый в отдельности чрезвычайно тонкие и хрупкие, а при больщом их числе в термостолбике будут обладать необходимой прочностью при высокой чувствительности.

После того, как термостолбик приобрел необходимую прочность, подкладка, на которую он наносился, удаляется путем ее растворения.

Предмет изобретения

Способ изготовления малоинерционных термобатарей в виде столбика, составленного из наложенных друг на друга в чередующемся порядке весьма тонких слоев двух различных металлов (или металла и. полупроводника) и разделяющего их диэлектрика, наносимых методом распыления материалов в вакууме, о т л и.ч а ю щи йс я тем, чтослои наносят на подкладку, удаляемую в дальнейшем путем растворепия. например на подкладку из каменной соли.