| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ВЧ-ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ С ПЛАНАРНЫМ ИНДУКТОРОМ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ДИАМЕТРОМ ДО 600 мм | 2022 |
|
RU2785367C1 |
| КВАДРУПОЛЬНЫЙ ФИЛЬТР МАСС И СПОСОБ ПИТАНИЯ | 1993 |
|
RU2103764C1 |
| РЕАКТОР ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 1998 |
|
RU2133998C1 |
| РЕАКТОР ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 2020 |
|
RU2753823C1 |
| Устройство для измерения магнитной проницаемости на сверхвысоких частотах | 1982 |
|
SU1095119A1 |
| ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР С МАГНИТНОЙ СИСТЕМОЙ | 2010 |
|
RU2483501C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2003 |
|
RU2249883C1 |
| РЕАКТОР ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 2017 |
|
RU2670249C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО НАГРЕВА ЗЕРНА (ВАРИАНТЫ) | 1998 |
|
RU2170616C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ | 1987 |
|
RU1573896C |
Устройство для плазмохимической индивидуальной обработки пластин, содержащее реакционно-разрядную камеру с плоскопараллельными электродами, один из которых соединен с ВЧ-генератором, а другой с держателем пластины заземлен, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения равномерности обработки, электрод, соединенный с ВЧ-генератором, выполнен в виде плоской спиральной пружины, внешний конец которой жестко закреплен, а внутренний установлен с возможностью вращения вокруг оси, при этом ширина спиральной пружины выбрана из условия
где a - ширина спиральной пружины;
D - диаметр пластины;
n - число витков пружины;
b - расстояние между витками пружины, которое выбрано в соответствии с неравенством
где h - расстояние между электродами.
