Способ регистрации плотности потока паров жидкости Советский патент 1986 года по МПК F04F9/04 G01F1/76 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам регистрации плотности обратного потока паров рабочих жидкостей диффузионных вакуумных насосов.

Цель изобретения - повышение экономичности путем исключения использования светочувствительных пластинок с покрытием, содержащих серебро.

На чертеже представлена схема вакуумного стенда, реализующего предлагае мый способ регистрации плотности потока паров жидкости из диффузионного насоса.

Стенд содержит диффузионный насос 1, соединенный с форвакуумным насосом 2, и вакуумную камеру 3, причем на входе диффузионного насоса 1 установлена пластина 4 с термочувствительной поверхностью, обращенной в сторону насоса 1.

Способ осуществляется следующим образом.

Пластина 4 с термочувствительной по- верхностью выдерживается в течение некоторого времени под воздействием обрат

кого потока паров рабочей жидкости диффузионного насоса 1, включенного в течение всего периода экспозиции.

Пары жидкости осаждаются на термочувствительную поверхность, причем толщина пленки на поверхности в любой ее точке пропорциональна величине потока паров в этой точке и времени экспозиции. После остывания (останова) насоса пластина 4 извлекается и выдерживается над источником тепла в течение нескольких секунд. В результате воздействия тепла на термочувствительную поверхность получается картина распределения плотности потока паров по сечению входного патрубка насоса 1, так как в местах наибольшего скопления сконденсированных паров толщина слоя больше и соответственно воздействие тепла на термочувствительную поверхность меньще.

Таким образом, применение предлагаемого способа исключает необходимость использования дорогостоящих серебросодержа- щих покрытий, что ведет к повышению экономичности.