Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов Советский патент 1989 года по МПК F04F9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при определении обратного потока паров рабочей жидкости.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

.На фиг. 1 приведен диффузионный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. t, угол смачивания 6 капли рабочей жидкости.

Определение величины обратного потока производят на установке, состоящей из насоса, содержащего корпус 1, ловушку 2, колпак 3 и пластину 4.

Для измерения величины обратного потока пластину 4 промывают и устанавливают в колпак 3. Включают паро- масляный насос 1. Через 0,5-1 ч (из расчета на среднюю величину обратного потока после ловушки 1 -10 ) из условия образования на поверхности пластины нескольких монослоев рабочей жидкости пластину извлекают. Наносят на осажденную поверхность

пленки рабочей жидкости каплю рабочей жидкости, затем по мере ее растекания, методом интерференции определяют краевой угол смачивания, который связан с толщиной пленки осажденной рабочей жидкости. По найденной толщине пленки при известной площади поверхности и времени измерения определяется величина обратного потока. Нахождение зависимости краевого узла от толщины пленки рабочей жидкости на пластине осущестал{|ется следующим образом.

Последовательно задается время осаждения паров рабочей жидкости на пластине (10,20,30 мин и j.д.) и измеряется толщина пленки на эллипсо- метре.

Затем на пластину наносится капля 5 той же рабочей жидкости и измеряется краевой угол капли с поверхностью пластины методом интерференции в отраженном свете.

г л

Величина обратного потока определяется по формуле

-6

ния времени осаждения и последующего смачивания поверхности жидкостью, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, смачивание производят рабочей жидкостью, измеряют краевой угол смачивания , по нему определяют толщину осажденной пленки, а величину обратного Ф о р м у л а и 3 о б р е т е н и я Ю определяют по зависимости

d о Ai:i§:l.d..

Способ измерения величины обрат-f

ного потока паров |эабочей жидкости

вакуумных насосов путем осаждения где d - толщина пленки. Л;

,. -алла::..d.,

где d - толщина пленки, Д; ь . - время осаждения, ч.

паров на чистую поверхность, измере

- .15

Г время осаждения, ч.

Г время осаждения, ч.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить точность измерения. Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов заключается в том, что осаждают пары на чистую поверхность, измеряют время осаждения, причем поверхность смачивают рабочей жидкостью, измеряют краевой угол смачивания, определяют толщину осаждения пленки и по толщине пленки с учетом времени осаждения судят о величине обратного потока. 1 ил.

ч

/V./J

9 f f t

У//

f r f

J-I

фие, 1

0Vt,Z