Способ кососимметричных съемок в рентгеновской трансмиссионный топографии Советский патент 1986 года по МПК G01N23/20 

Изобретение относится к исследованию кристаллов с помощью дифракции рентгеновских лучей и может быт использовано в рентгеновской трансмиссионной топографии при изучении дефектов кристаллического строения реальных кристаллов.

Цель изобретения - расширение класса исследуемых кристаллов.

На-чертеже изображена стереогра- фическая проекция кристалла.

Способ осуществляют на гониометре с вертикальной осью и ориентацией штриха фокуса f трубки БСВ-11 Си параллельно экваториальной плоское- ти гониометра. Исследуемую плоскопараллельную пластину монокристалла кремния с плоскостью поверхности (ill) устанавливают в держателе на оси гониометра. Дпя осуществления кососимметричной съемки при отраже- нии от системы плоскостей (202) так что плоскость дифрак1щи (плоскость, содержащая прямой Rg и дифрагирован ньй R лучи) составляет с нормалью к поверхности кристалла угол. производят предварительную ориентировку кристалла, при которой нормаль его поверхности N (ill) и нормаль отражающей плоскости п устанав ливают в плоскость, содержащую ось гониометра и перпендикулярную щтри- ху фокуса (полюсная фигура кристалла с нанесенными на ней положением плоскости дифракции (п; , Ед, Rp) относительно нормаши поверхности кристалла N) и выводят плоскость (202) в брэгговское положение тремя последовательными поворотами кристалла, один из которых А Y осу- ществляют вокруг нормали поверхности кристалла N, при этом п устанавливают параллельно экваториальной плоскости, другой ос 30 - вокруг нормали отражающей плоскости (вокруг оси, лежащей в плоскости образца и перпендикулярной оси гониометра) для расположения плоскости дифракции параллельно экваториально плоскости, третий - вокруг оси гониометра до вывода отражаимцей плоскости в брэгговское положение. Облучают входную поверхность кристалла монохрома гизированным рентге-;

1042

новским пучком и регистрируют прямой и дифрагированный пучки на фотопластинку, параллельную выходной поверхности кристалла.

Предлагаемый способ по сравнению с известным позволяет одновременно регистрировать кососимметричные дифракционные картины прямого и дифрагированного пучков, содержащих взаимодополняющую информацию о дефектах как толстых, так и слабопоглощающих и тонких монокристаллов, что расширяет класс исследуемых Кристаллов. При этом за счет применения монохро- матизироваиного излучения увеличивается разрешение, а следовательно, повышается информативность способа. Способ может найти широкое применение при исследовании реальных монокристаллов, используемых в производстве полупроводниковых приборов.

Ф о р м у л а изобретения

Способ кососимметричных съемок в рентгеновской трансмиссионной топографии, включающий установку кристалла известной ориентации в держателе на оси гониометра, пред- варительн5по его ориентировку, при которой нормаль поверхности кристалла и нормаль отражающей плоскости выводят в плоскость, содержащую ось гониометра, вывод отражающей плоскости в кососимметричное брэгговское положение, облучение входной поверхности кристалла пучком рентгеновских лучей источника со штриховым фокусом, регистрацию дифракционной картины на фотопластинку, параллельную выходной поверхности кристалла, отличающийся тем, что, с целью ра сши- рения класса исследуемых кристаллов, при выводе в кососимметричное брэгговское положение нормаль к отражающей плоскости устанавливают параллельно экваториальной плоскости гониометра, а облучение входной поверхности кристалла осуществляют ,монохроматизированным излучением, поляризованным так, что вектор электрической индукции перпендикулярен экваториальной плоскости гониометра.

Экбаториаль/fa

/fUHUff

Изобретение относится к исследованию кристаллов с помощью дифракции рентгеновских лучей и может быть использовано при изучении дефектов кристаллического строения реальных кристаллов. Исследуемый кристалл известной ориентации устанавливают в держатель образца, устанавливают нормаль к отражающей плоскости параллельно экваториальной плоскости гониометра при выводе кристалла в кососимметричное брэгговское положение. Облучают входную поверхность кристалла монохроматизирован- ным рентгеновским излучением источника со штриховым фокусом, поляризованным так, что вектор электрической индукции перпендикулярен экваториальной плоскости гониометра. Выведение нормали к отражающей плоскости, а следовательно, и дифрагированного луча в экваториальную плоскость гониометра позволяет регистрировать кососимметричные дифракционные картины прямого и дифрагированного пучков, содержащих взаимодополияю1цую информацию о дефектах как толстых, так и слабопоглощающих, и тонких кристаллов, что расширяет класс исследуемых кристаллов, .1 ил. (Л с с

Редактор Н.Бобкова

Составитель .Т.Владимирова

Техред В.КадарКорректор С.Шекмар

Заказ 1704/45 Тираж 778Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д; 4/5

Филиал ШГО Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4